h9t$Uz^N 内容简介
pR*VdC _mY Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了
软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前
薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的
光学薄膜设计技术》。
k0OYJ/ 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。
<wk!hTmW 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。
+%+tr*04O ;,hwZZA 讯技科技股份有限公司
F|'>NL-= 2015年9月3日
kjTduZ/3" 目录
Yxr>"KH6a Preface 1
8r*E-akuyr 内容简介 2
%6|nb:Oa 目录 i
52@C9Q, 1 引言 1
|UkR'Ma 2 光学薄膜基础 2
EEEh~6?-e 2.1 一般规则 2
{ }:#G 2.2 正交入射规则 3
.<->C?# 2.3 斜入射规则 6
F6|TP.VY_. 2.4 精确计算 7
$.Qkb@} 2.5 相干性 8
p2hB8zL 2.6 参考文献 10
UE8kpa)cQ 3 Essential Macleod的快速预览 10
%v=*Wb\3| 4 Essential Macleod的特点 32
2":pE U{E 4.1 容量和局限性 33
Ansk,$
4.2 程序在哪里? 33
2]z8:a 4.3 数据文件 35
>@U*~Nz 4.4 设计规则 35
@3>u@ 4.5 材料数据库和
资料库 37
!]"@kl% 4.5.1材料损失 38
/MIe(,>Uh 4.5.1材料数据库和导入材料 39
>BV^H.SO|1 4.5.2 材料库 41
.N,bIQnj 4.5.3导出材料数据 43
AuvkecuIh 4.6 常用单位 43
+KF^Z$I 4.7 插值和外推法 46
:">!r.Q 4.8 材料数据的平滑 50
Z_LFIz*c 4.9 更多光学常数模型 54
n7zm>& 4.10 文档的一般编辑规则 55
IB(6+n,6s 4.11 撤销和重做 56
RFi
S@.7 4.12 设计文档 57
lS"T4 5 4.10.1 公式 58
5[8xV%>; 4.10.2 更多关于膜层厚度 59
us1Hu) 4.10.3 沉积密度 59
ZJnYIK 4.10.4 平行和楔形介质 60
zN[hkmh 4.10.5 渐变折射率和散射层 60
JYMiLph< 4.10.4 性能 61
DEBB()6, 4.10.5 保存设计和性能 64
I&fozO
4.10.6 默认设计 64
OTvPU kp* 4.11 图表 64
)cX*I gO 4.11.1 合并曲线图 67
IQAZuN"< 4.11.2 自适应绘制 68
.8 2P(}h 4.11.3 动态绘图 68
]{sU&GqBLe 4.11.4 3D绘图 69
y8d]9sX{ 4.12 导入和导出 73
^-TE([ bW 4.12.1 剪贴板 73
r7RIRg_ 4.12.2 不通过剪贴板导入 76
;@0;pY 4.12.3 不通过剪贴板导出 76
/}((l%U E. 4.13 背景 77
E:,/!9n 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80
?so=;gh 4.15 生成Rugate 84
4(#'_jS 4.16 参考文献 91
kVuUjP6(c 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92
^+*N%yr 5.1 Jobs 92
e+=y*OmQ 5.2 创建一个新Job(工作) 93
jrCfWa}z 5.3 输入材料 94
jSJqE_ 1 5.4 设计数据文件夹 95
^\hG"5# 5.5 默认设计 95
wVvF^VHV^ 6 细化和合成 97
I
)~GZ 6.1 优化介绍 97
lz/8 6.2 细化 (Refinement) 98
,dv+p&Tz2 6.3 合成 (Synthesis) 100
I:E`PZ 6.4 目标和评价函数 101
B*eC3ok3z 6.4.1 目标输入 102
$r^GE 6.4.2 目标 103
cF\;_0u 6.4.3 特殊的评价函数 104
Ozw.siD 6.5 层锁定和连接 104
^gN6/>]qrY 6.6 细化技术 104
xI{)6t$` 6.6.1 单纯形 105
W6^5YH% 6.6.1.1 单纯形
参数 106
0B[="rTS7# 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107
<KJ/<0l 6.6.2.1 Optimac参数 108
`A,-@`p 6.6.3 模拟退火算法 109
-5)H<dAQZ 6.6.3.1
模拟退火参数 109
S:u:z=:r 6.6.4 共轭梯度 111
Z@yW bjE7Z 6.6.4.1 共轭梯度参数 111
$1SPy|y 6.6.5 拟牛顿法 112
|sa]F5 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112
.zr-:L5{ 6.6.6 针合成 113
kc2PoJ 6.6.6.1 针合成参数 114
_H9 MwJ 6.6.7 差分进化 114
.fn\]rUv 6.6.8非局部细化 115
;p.v]0]is 6.6.8.1非局部细化参数 115
d}Xr} 6.7 我应该使用哪种技术? 116
Av$]|b 6.7.1 细化 116
OP;v bZ 6.7.2 合成 117
b
k~(^!R 6.8 参考文献 117
+*\u :n 7 导纳图及其他工具 118
|e=,oV" 7.1 简介 118
c\/=iVw, 7.2 薄膜作为导纳的变换 118
y>S.?H:P 7.2.1 四分之一
波长规则 119
Juo^ , 7.2.2 导纳图 120
[Hx0`Nc K 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124
xv46r=> 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125
y3vdUauOn 7.5 斜入射导纳图 141
K>
%Tq 7.6 对称周期 141
+<'Ev~ 7.7 参考文献 142
LmRy1T,act 8 典型的镀膜实例 143
jY&k 8.1 单层抗反射薄膜 145
oph}5Krd) 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146
Ih@61>X.o* 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147
!zBhbmlKt 8.4 W-膜层 148
R1PkTZP& 8.5 V-膜层 149
GmK^}=frj 8.6 V-膜层高折射基底 150
|O3q@ 8.7 V-膜层高折射率基底b 151
"x%Htq@ 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152
} FE>|1 8.9 四层抗反射薄膜 153
Qo>b*Ku; 8.10 Reichert抗反射薄膜 154
3\AU 72- 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155
Fzm*Pz3 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156
evenq$
H 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157
} j<)L, 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158
,yC-+VL 8.15十五层宽带抗反射膜 159
N>Xo_-QCY 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161
G3txj 8.17 1/4波长堆栈 162
XWnVgY s 8.18 陷波滤波器 163
'|ad_M 8.19 厚度调制陷波滤波器 164
qjc8fP2 8.20 褶皱 165
e4-@f%5 8.21 消偏振分光器1 169
FW.7'7G@n 8.22 消偏振分光器2 171
vjLJinJ/ 8.23 消偏振立体分光器 172
eJ,/:=QQ{ 8.24 消偏振截止滤光片 173
'Jiw@t<o3` 8.25 立体偏振分束器1 174
\Bz_p'[G 8.26 立方偏振分束器2 177
}I2wjO 8.27 相位延迟器 178
w}L]X1#sF 8.28 红外截止器 179
>u>5{4 8.29 21层长波带通滤波器 180
j 7fL7:,T 8.30 49层长波带通滤波器 181
;
a/X< 8.31 55层短波带通滤波器 182
w2Us!<x 8.32 47 红外截止器 183
:1 ^LsLr5 8.33 宽带通滤波器 184
5]~'_V 8.34 诱导透射滤波器 186
{SOr#{1z* 8.35 诱导透射滤波器2 188
``V"
D 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190
!]42^?GH 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192
svsq g{9z 8.35 增益平坦滤波器 193
LU
\i0|i| 8.38 啁啾反射镜 1 196
d^@ dzNv 8.39 啁啾反射镜2 198
j_/>A=OD 8.40 啁啾反射镜3 199
Q`~jw>x 8.41 带保护层的铝膜层 200
Amp#GR1CA 8.42 增加铝反射率膜 201
v5/~-uRL% 8.43 参考文献 202
,%6P0#- 9 多层膜 204
;m0~L=w 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204
-O1>|y2rU 9.2 内部透过率 204
ng[Ar` 9.3 内部透射率数据 205
u$h
4lIl 9.4 实例 206
.RE:;<|w 9.5 实例2 210
XywE1}3 9.6 圆锥和带宽计算 212
67VL@ ] 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214
V n7*JS 10 光学薄膜的颜色 216
z[LNf.)} 10.1 导言 216
?TM,Q 10.2 色彩 216
Jk&3%^P{m 10.3 主波长和纯度 220
UXeN 8 10.4 色相和纯度 221
f6EZ(
v 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222
B%"
d~5Y 10.6 色差 226
Bu#E9hJFvA 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227
2 X.r%&!1M 10.8 颜色渲染指数 234
{^
qcx 8 10.9 色差计算 235
+:8fC$vVfC 10.10 参考文献 236
*e<[SZzYZ 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238
NYyh|X:m 11.1 短脉冲 238
wZG\>9~ 11.2 群速度 239
bT\1> 11.3 群速度色散 241
2I%MAb&1@ 11.4 啁啾(chirped) 245
pSoiH<33 11.5 光学薄膜—相变 245
7OC#8, 11.6 群延迟和延迟色散 246
dOa+(fMe 11.7 色度色散 246
'ZT^PV\ 11.8 色散补偿 249
46$._h
P 11.9 空间
光线偏移 256
-jW.TT h] 11.10 参考文献 258
]@dZ{H| 12 公差与误差 260
mi
ik%7>W 12.1 蒙特卡罗模型 260
:a^t3s 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267
]|!OP 12.2.1 误差工具 267
uvMy^_}L 12.2.2 灵敏度工具 271
:imW\@u 12.2.2.1 独立灵敏度 271
N|1M1EBOu> 12.2.2.2 灵敏度分布 275
e_#._Pi 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276
9Kpa>< 12.3 参考文献 276
,eOB(?Ku 13 Runsheet 与Simulator 277
hq%?=2'9? 13.1 原理介绍 277
ks"|}9\%< 13.2 截止滤光片设计 277
?<V?wsp 14 光学常数提取 289
YHkn2]^#A 14.1 介绍 289
B&\IGWG( 14.2 电介质薄膜 289
~kQA7;`j$ 14.3 n 和k 的提取工具 295
Vc_'hz]Z 14.4 基底的参数提取 302
ao%NK<Lt 14.5 金属的参数提取 306
5pj22 s 14.6 不正确的模型 306
Hx#;Z 14.7 参考文献 311
4\y/'`xm)6 15 反演工程 313
;LcVr13J/ 15.1 随机性和
系统性 313
?a8^1: 15.2 常见的系统性问题 314
(gy#js# 15.3 单层膜 314
,.rs(5.z8/ 15.4 多层膜 314
Z9:-rcr 15.5 含义 319
z,Medw6[ 15.6 反演工程实例 319
qo p^;~ 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320
e]`[yf 15.6.2 反演工程提取折射率 327
d_CKP"TA 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329
?h.wK 16.1 光学性质的热致偏移 329
h^?\xm| 16.2 应力工具 335
cimp/n" 16.3 均匀性误差 339
\!>3SKs(e 16.3.1 圆锥工具 339
Q(lo{AFc 16.3.2 波前问题 341
YwteZSbp6M 16.4 参考文献 343
~T9/#-e>BF 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345
/h+8A', 17.1 引言 345
OTy.VT| 17.2 操作数 345
'{E@*T/<. 18 如何在Function中编写脚本 351
XaCX!Lr, 18.1 简介 351
m=?KZ?U` 18.2 什么是脚本? 351
DKne'3pH 18.3 Function中脚本和操作数对比 351
1>*#%R?W 18.4 基础 352
:axRoRg 18.4.1 Classes(类别) 352
|k+8<\ 18.4.2 对象 352
]4~lYuI4 18.4.3 信息(Messages) 352
!;0U,!WI 18.4.4 属性 352
RMK"o? 18.4.5 方法 353
"^4_@ oo 18.4.6 变量声明 353
qC}-_u7s 18.5 创建对象 354
87Oad@FOr 18.5.1 创建对象函数 355
V"*O=h 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355
Z9MdD>uwi 18.5.3 丢弃对象 356
f%Ns[S~ r 18.5.4 总结 356
} ~h3c| 18.6 脚本中的表格 357
o}W%I/s 18.6.1 方法1 357
/]=C{)8 18.6.2 方法2 357
\Z]UA&v_ 18.7 2D Plots in Scripts 358
NPCs('cd>? 18.8 3D Plots in Scripts 359
}2<r, 18.9 注释 360
/`f^Y>4gD 18.10 脚本管理器调用Scripts 360
!_`&Wks 18.11 一个更高级的脚本 362
2Or'c`| 18.12 <esc>键 364
<Fi%iA 18.13 包含文件 365
E}Y!O"CAV 18.14 脚本被
优化调用 366
fBalTk;G{U 18.15 脚本中的对话框 368
9;_sC 18.15.1 介绍 368
?3%`bY+3; 18.15.2 消息框-MsgBox 368
33#0J$j7 18.15.3 输入框函数 370
i
7_ _ 18.15.4 自定义对话框 371
[onGNq?# 18.15.5 对话框编辑器 371
(5R?#vj 18.15.6 控制对话框 377
WOQP$D9 18.15.7 更高级的对话框 380
*RXbc~
H 18.16 Types语句 384
LJ*q 1
;<E 18.17 打开文件 385
JQV%fTH S 18.18 Bags 387
vWRju*Z& 18.13 进一步研究 388
IIg^FZ*]_ 19 vStack 389
O$IEn/%+ 19.1 vStack基本原理 389
[21=5S 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391
CZ(/=3,3n 19.3 五棱镜 393
0/!dUWdKH 19.4 光束距离 396
? i( % 19.5 误差 399
l7W 6qNB 19.6 二向分色棱镜 399
7bk%mQk 19.7 偏振泄漏 404
0}$Hi 19.8 波前误差—相位 405
5!l0zLQPo 19.9 其它计算参数 405
CPP`
qt%f 20 报表生成器 406
<z]cyXv/ 20.1 入门 406
}RmU%IYc 20.2 指令(Instructions) 406
:Qumb 20.3 页面布局指令 406
Rn{iaM2Y< 20.4 常见的参数图和三维图 407
_acE:H 20.5 表格中的常见参数 408
}*lUah,@ 20.6 迭代指令 408
;k7xMZs 20.7 报表模版 408
Rniq(FAx 20.8 开始设计一个报表模版 409
#tZ4N7 21 一个新的project 413
>)spqu] 21.1 创建一个新Job 414
jJuW-(/4[ 21.2 默认设计 415
g{8,Wx,, 21.3 薄膜设计 416
"Jt.lL ]5 21.4 误差的灵敏度计算 420
O>^C4c! 21.5 显色指数计算 422
sB^<6W!`( 21.6 电场分布 424
e
' 2F# 后记 426
4d8B`Fa9 有兴趣可以扫码加微咨询
cgm81+[%r