`R\aNgCS} 内容简介
jS_fwuM Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了
软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前
薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的
光学薄膜设计技术》。
L?[NXLn+ 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。
AHa%?wb 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。
~96fyk| ey icMy`7{ 讯技科技股份有限公司
99xs5!4s 2015年9月3日
?<_yW#x6 目录
`TugtzRU Preface 1
{\HEUIa]w 内容简介 2
2>bTcud> 目录 i
gmF Cjs 1 引言 1
H83Gx; 2 光学薄膜基础 2
nDiy[Y-4Wp 2.1 一般规则 2
&nJH23h^ 2.2 正交入射规则 3
Etv!:\\[ 2.3 斜入射规则 6
6p;G~,bd~ 2.4 精确计算 7
xbZx&`( 2.5 相干性 8
M|HW$8V3_2 2.6 参考文献 10
&Nzq/~uqP 3 Essential Macleod的快速预览 10
U/9i'D[|{ 4 Essential Macleod的特点 32
l y!vbpE_ 4.1 容量和局限性 33
4V2}'/|[ 4.2 程序在哪里? 33
H]^hEQ3DT 4.3 数据文件 35
I-L52%E] 4.4 设计规则 35
%s|`1`c 4.5 材料数据库和
资料库 37
{=Z xF 4.5.1材料损失 38
U04TVQn` 4.5.1材料数据库和导入材料 39
c/K:`XP~ 4.5.2 材料库 41
Rw
j4 4.5.3导出材料数据 43
Nft~UggK 4.6 常用单位 43
r4X0.
mPY* 4.7 插值和外推法 46
O
%x<
4.8 材料数据的平滑 50
-'q#u C 4.9 更多光学常数模型 54
F_<n8U:Y 4.10 文档的一般编辑规则 55
u
ZzO$e 4.11 撤销和重做 56
MKl`9 Y3Ge 4.12 设计文档 57
Z%rMX} 4.10.1 公式 58
"L?h@8sa 4.10.2 更多关于膜层厚度 59
/Qa'\X,f3 4.10.3 沉积密度 59
m'j]T/WF 4.10.4 平行和楔形介质 60
~2HlAU))<& 4.10.5 渐变折射率和散射层 60
IjshxNk 4.10.4 性能 61
?2RDd|# 4.10.5 保存设计和性能 64
N9SC\ 4.10.6 默认设计 64
]U4)2s 4.11 图表 64
=sp5.-r 4.11.1 合并曲线图 67
9)y7K%b0 4.11.2 自适应绘制 68
Fl{@B*3@w 4.11.3 动态绘图 68
w<qn @f 4.11.4 3D绘图 69
rAv)k&l 4.12 导入和导出 73
+n'-%?LD& 4.12.1 剪贴板 73
\sSt _|+ 4.12.2 不通过剪贴板导入 76
x/<eY<Vgm? 4.12.3 不通过剪贴板导出 76
[Yi;k,F: 4.13 背景 77
u0o}rA 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80
-za+Wa`vH 4.15 生成Rugate 84
80'!XKSP 4.16 参考文献 91
Ba8 s 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92
?KB+2]7m6 5.1 Jobs 92
?Q?=I,2bP 5.2 创建一个新Job(工作) 93
3QD+&9{D 5.3 输入材料 94
k=^~\$e 5.4 设计数据文件夹 95
D
,U#z 5.5 默认设计 95
qk+RZ>T<o 6 细化和合成 97
.kl.awT 6.1 优化介绍 97
VB}4#-dG? 6.2 细化 (Refinement) 98
$;J:kd;< 6.3 合成 (Synthesis) 100
g"KH~bN 6.4 目标和评价函数 101
l KdY!j" 6.4.1 目标输入 102
_nn\O3TB 6.4.2 目标 103
z1AYXW6F 6.4.3 特殊的评价函数 104
u&E$( 6.5 层锁定和连接 104
ZUA%ZkX=F 6.6 细化技术 104
ji&%'h 6.6.1 单纯形 105
u/ Gk>F 6.6.1.1 单纯形
参数 106
MsD@pa 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107
X2PyFe 6.6.2.1 Optimac参数 108
crDm2oA~t 6.6.3 模拟退火算法 109
[(O*W 6.6.3.1
模拟退火参数 109
%v"qFYVX" 6.6.4 共轭梯度 111
`mt x+C 6.6.4.1 共轭梯度参数 111
H\PY\O&cP 6.6.5 拟牛顿法 112
~d9@m#_T#~ 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112
LQo>wl 6.6.6 针合成 113
&{R]v/{p] 6.6.6.1 针合成参数 114
([#4H3uO- 6.6.7 差分进化 114
\F; S 6.6.8非局部细化 115
{F'~1qf 6.6.8.1非局部细化参数 115
us,~<e0 6.7 我应该使用哪种技术? 116
Qt~QJJN?oF 6.7.1 细化 116
=qNZ7>Qw 6.7.2 合成 117
9 aacW 6.8 参考文献 117
B/^1uPTZ71 7 导纳图及其他工具 118
&Sr7?u`k 7.1 简介 118
b\.l!v n0 7.2 薄膜作为导纳的变换 118
-*nd5(lY& 7.2.1 四分之一
波长规则 119
9*ek5vPB 7.2.2 导纳图 120
o-ee3j. 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124
dBeZx1Dy 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125
%"gV>E_u 7.5 斜入射导纳图 141
&2Q0ii#Aa 7.6 对称周期 141
C]f` 7.7 参考文献 142
a*N<gId 8 典型的镀膜实例 143
V|q`KOF 8.1 单层抗反射薄膜 145
,UA-Pq3} 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146
uJ:SN; 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147
(oG-h"^/ 8.4 W-膜层 148
$j"TPkW{M 8.5 V-膜层 149
7,!$lT# 8.6 V-膜层高折射基底 150
92";?Xk 8.7 V-膜层高折射率基底b 151
Mv 1V
Vk 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152
RHj<t"); 8.9 四层抗反射薄膜 153
([Da*Tk* 8.10 Reichert抗反射薄膜 154
OGGuV Y 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155
CW .
O"_ 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156
hAvX{] 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157
?E|be
) 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158
sI% =G3o= 8.15十五层宽带抗反射膜 159
%AV[vr, 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161
_c@k>"_{S 8.17 1/4波长堆栈 162
\1H~u,a 8.18 陷波滤波器 163
>=VtL4K^ 8.19 厚度调制陷波滤波器 164
.8~zgpK 8.20 褶皱 165
dp=#|!jc 8.21 消偏振分光器1 169
qCUn.
mI 8.22 消偏振分光器2 171
Dxx`<=&g 8.23 消偏振立体分光器 172
<ZwmXD.VD 8.24 消偏振截止滤光片 173
t$k$Hd'; 8.25 立体偏振分束器1 174
w"/RI#7. 8.26 立方偏振分束器2 177
c)Ep<W<r1 8.27 相位延迟器 178
E==vk~cz 8.28 红外截止器 179
](tv`1A,Wd 8.29 21层长波带通滤波器 180
a]%>7yr4 8.30 49层长波带通滤波器 181
\|< 5zL 8.31 55层短波带通滤波器 182
"<^]d~a_ 8.32 47 红外截止器 183
8^U+P% 8.33 宽带通滤波器 184
Ip&Q'"HYj 8.34 诱导透射滤波器 186
jC3)^E@:" 8.35 诱导透射滤波器2 188
kM o7mkV 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190
r_EuLFM A 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192
.`5BgX7W 8.35 增益平坦滤波器 193
o?]g 8.38 啁啾反射镜 1 196
fd&=\~1_$ 8.39 啁啾反射镜2 198
k,M%"FLQ 8.40 啁啾反射镜3 199
+^tw@b 8.41 带保护层的铝膜层 200
G&f~A;'7k 8.42 增加铝反射率膜 201
#->#mshd4 8.43 参考文献 202
-'F? | 9 多层膜 204
E2xcd#ZD 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204
j ?gscQ3 9.2 内部透过率 204
8Z1pQx-P2C 9.3 内部透射率数据 205
48t_?2> 9.4 实例 206
\UR/tlw+/ 9.5 实例2 210
D$$,T.'u 9.6 圆锥和带宽计算 212
Q?7:XbN 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214
.V'=z| 10 光学薄膜的颜色 216
iTpU4Qsj 10.1 导言 216
pQ/
bIuq 10.2 色彩 216
C?47v4n-' 10.3 主波长和纯度 220
}+3IM1VTW{ 10.4 色相和纯度 221
[7|j:! 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222
}ki}J >j|f 10.6 色差 226
qL1d-nH 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227
/'uFX, 10.8 颜色渲染指数 234
Qin;{8I0 10.9 色差计算 235
7Ew.6!s#n1 10.10 参考文献 236
tM&;b?bJ[ 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238
-0R;C` (! 11.1 短脉冲 238
'D1Sm&M2%e 11.2 群速度 239
&8^ch,+pD 11.3 群速度色散 241
[tEHr 11.4 啁啾(chirped) 245
Xj+oV 11.5 光学薄膜—相变 245
YnLwBJ 2i 11.6 群延迟和延迟色散 246
f:6%DT~a&C 11.7 色度色散 246
I'$}n$UvZ 11.8 色散补偿 249
H.R7,'9 11.9 空间
光线偏移 256
A;g{H| 11.10 参考文献 258
$,v[<T` 12 公差与误差 260
YLO/J2[' 12.1 蒙特卡罗模型 260
leMcY6 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267
QTKN6P 12.2.1 误差工具 267
eo~>|0A*V 12.2.2 灵敏度工具 271
;{e=Iz}/ 12.2.2.1 独立灵敏度 271
|fTWf}Jx 12.2.2.2 灵敏度分布 275
#{]Yw}m 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276
YR$)yl 12.3 参考文献 276
7HkQ|~zGT 13 Runsheet 与Simulator 277
WI+ 5x 13.1 原理介绍 277
8fI&-uP{g 13.2 截止滤光片设计 277
HGJfj*JH 14 光学常数提取 289
4X^{aIlshk 14.1 介绍 289
MlBw=Nr 14.2 电介质薄膜 289
v!b
8_0~u6 14.3 n 和k 的提取工具 295
tm[e?+Iq 14.4 基底的参数提取 302
RXDPT 14.5 金属的参数提取 306
=Lyo]8>,X 14.6 不正确的模型 306
acdWU"< 14.7 参考文献 311
!o k6*m 15 反演工程 313
jj&4Sv#> 15.1 随机性和
系统性 313
kk*:S* , 15.2 常见的系统性问题 314
i8Y$cac! 15.3 单层膜 314
buv*qPO 15.4 多层膜 314
EDkxRfY2/ 15.5 含义 319
=cN!h"C[ 15.6 反演工程实例 319
Es~|:$(N]| 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320
~.,h12 15.6.2 反演工程提取折射率 327
N1Pm4joH% 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329
:?}U Z# 16.1 光学性质的热致偏移 329
B,Gt6cUq 16.2 应力工具 335
J/o$\8tiMw 16.3 均匀性误差 339
D" 4*& 16.3.1 圆锥工具 339
(3;dtp>Xx 16.3.2 波前问题 341
^ew<|J2,B 16.4 参考文献 343
S
;; Z 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345
mGK-&|gq 17.1 引言 345
$)fybnY 17.2 操作数 345
U.[?1:v 18 如何在Function中编写脚本 351
+[sZE
X 18.1 简介 351
U=G^wL 18.2 什么是脚本? 351
;Q0WCm\5 18.3 Function中脚本和操作数对比 351
Qf}^x9' 18.4 基础 352
S_B $-H| 18.4.1 Classes(类别) 352
^S'#)H-8C3 18.4.2 对象 352
W"@FRWcd 18.4.3 信息(Messages) 352
xq2
,S 18.4.4 属性 352
/
hl:p 18.4.5 方法 353
|=Mn~`9p 18.4.6 变量声明 353
Q.8)_w 18.5 创建对象 354
jr9/ 18.5.1 创建对象函数 355
X@[)jWs 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355
rkW2_UTZE 18.5.3 丢弃对象 356
qPc"A!-i 18.5.4 总结 356
4&+;n[ D 18.6 脚本中的表格 357
aB(6yBBoxj 18.6.1 方法1 357
+[DL]e]@U 18.6.2 方法2 357
y<<:6OBj 18.7 2D Plots in Scripts 358
%qM3IVPK)q 18.8 3D Plots in Scripts 359
v.ftfL! 18.9 注释 360
+cw;a]o^> 18.10 脚本管理器调用Scripts 360
JBsHr%!i 18.11 一个更高级的脚本 362
mu(EmAoenQ 18.12 <esc>键 364
o~*5FN}%+l 18.13 包含文件 365
{[&_)AW6m% 18.14 脚本被
优化调用 366
/
xfg4 18.15 脚本中的对话框 368
BK_x5mGu3 18.15.1 介绍 368
cN{-&\
6L 18.15.2 消息框-MsgBox 368
*1Lkde@|{ 18.15.3 输入框函数 370
Uv-xP(X 18.15.4 自定义对话框 371
-cjwa-9
~ 18.15.5 对话框编辑器 371
#\[((y:q 18.15.6 控制对话框 377
.i7bI2^ 18.15.7 更高级的对话框 380
_l`s}yC 18.16 Types语句 384
@Ik@1 18.17 打开文件 385
LZCziW 18.18 Bags 387
u,d@oF(= 18.13 进一步研究 388
qGE?[\t[6 19 vStack 389
;!CYp;_ 19.1 vStack基本原理 389
t^=6czk 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391
bIP'(B#1K 19.3 五棱镜 393
;plzJ6> 19.4 光束距离 396
[S}o[v\ 19.5 误差 399
B@,L83 19.6 二向分色棱镜 399
>?$+hZz< 19.7 偏振泄漏 404
[>'P 19.8 波前误差—相位 405
=Of!1TR( 19.9 其它计算参数 405
cNW [i" 20 报表生成器 406
0aMw 20.1 入门 406
sW":~=H 20.2 指令(Instructions) 406
*S).@j\{W 20.3 页面布局指令 406
By
t{3$ 20.4 常见的参数图和三维图 407
ccW z,[ 20.5 表格中的常见参数 408
u"%i3%Yjh 20.6 迭代指令 408
E47U &xL 20.7 报表模版 408
rmCrP( 20.8 开始设计一个报表模版 409
N{]|!# 21 一个新的project 413
w,\#)<boyb 21.1 创建一个新Job 414
yTDlDOmV! 21.2 默认设计 415
<uugT9By 21.3 薄膜设计 416
|]5g+sd 21.4 误差的灵敏度计算 420
,3k"J4|d 21.5 显色指数计算 422
*q8L$D 21.6 电场分布 424
x,\PV> 后记 426
hCX}* 有兴趣可以扫码加微咨询
y[*Bw)F\N