iBXS 内容简介
2Wx~+@1y Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了
软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前
薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的
光学薄膜设计技术》。
ML!>tCT 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。
w/oXFs&FK 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。
(nDen5Q| sZDxTP+ 讯技科技股份有限公司
P\rA>ZY 2015年9月3日
:Z R5<Y> 目录
XU*4MU^' Preface 1
v =]!Po&Q- 内容简介 2
Puq 目录 i
:z^,>So : 1 引言 1
z+5%.^Re 2 光学薄膜基础 2
-;Ij , 2.1 一般规则 2
/>X"'G 2.2 正交入射规则 3
AxAbU7m 2.3 斜入射规则 6
E4cPCQyeH 2.4 精确计算 7
U)JwoO 2.5 相干性 8
+HSKFp 2.6 参考文献 10
bH Nf> 3 Essential Macleod的快速预览 10
]r(&hqdR 4 Essential Macleod的特点 32
\c\z 6;j 4.1 容量和局限性 33
(7 O?NS 4.2 程序在哪里? 33
0%
zy 6{ 4.3 数据文件 35
OnND(YiX 4.4 设计规则 35
\sEH)$R' 4.5 材料数据库和
资料库 37
(`js/7[`H[ 4.5.1材料损失 38
hQ80R B 4.5.1材料数据库和导入材料 39
?3yrX_Qm{ 4.5.2 材料库 41
)qeed-{ 4.5.3导出材料数据 43
IIY3/ 4.6 常用单位 43
^JY,K 4.7 插值和外推法 46
M`49ydh& 4.8 材料数据的平滑 50
RQ;}+S 4.9 更多光学常数模型 54
/4YxB, 4.10 文档的一般编辑规则 55
7m.>2U 4.11 撤销和重做 56
L(q~% 4.12 设计文档 57
[;pL15-}4 4.10.1 公式 58
^u+#x2$Mg 4.10.2 更多关于膜层厚度 59
~F.kgX 4.10.3 沉积密度 59
.!)i 4.10.4 平行和楔形介质 60
X<<FS%:+ 4.10.5 渐变折射率和散射层 60
`6\u!# 4.10.4 性能 61
?_j]w%Hz 4.10.5 保存设计和性能 64
D$fWeG{f 4.10.6 默认设计 64
:I(d-,C 4.11 图表 64
)W^$7Em 4.11.1 合并曲线图 67
zI$'D|A 4.11.2 自适应绘制 68
s-Qq#T 4.11.3 动态绘图 68
%cl{J_}{& 4.11.4 3D绘图 69
vEc<|t 4.12 导入和导出 73
6B!v;93U 4.12.1 剪贴板 73
B4eV $~< 4.12.2 不通过剪贴板导入 76
$Ned1@%[ 4.12.3 不通过剪贴板导出 76
OV/
&'rC 4.13 背景 77
>)edha*W] 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80
gv7@4G 4.15 生成Rugate 84
dYZB>
OS 4.16 参考文献 91
W.^R/s8O%5 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92
E]0Qz?
W 5.1 Jobs 92
PM3fJhx 5.2 创建一个新Job(工作) 93
nP+jkNn3 5.3 输入材料 94
UG=],\E2 5.4 设计数据文件夹 95
,*Z/3at}5M 5.5 默认设计 95
Sr>5V 6 细化和合成 97
Y'Yu1mH) 6.1 优化介绍 97
OU[ FiW-E 6.2 细化 (Refinement) 98
xm0(U0
> 6.3 合成 (Synthesis) 100
w3FEX$`_ 6.4 目标和评价函数 101
d0 mfqP= 6.4.1 目标输入 102
b!T-{Ns6 6.4.2 目标 103
L}VQc9"gc 6.4.3 特殊的评价函数 104
w"q^8"j! 6.5 层锁定和连接 104
KT0Pmpp5 6.6 细化技术 104
C1x(4&h 6.6.1 单纯形 105
~_|CXPiQ8 6.6.1.1 单纯形
参数 106
T\ [CQO 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107
AWDy_11Nm 6.6.2.1 Optimac参数 108
7X8n|NZRH7 6.6.3 模拟退火算法 109
+wcif- 6.6.3.1
模拟退火参数 109
+J3Y}A4W3X 6.6.4 共轭梯度 111
wg^'oy 6.6.4.1 共轭梯度参数 111
-/R?D1kOq 6.6.5 拟牛顿法 112
3Qd%`k 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112
>M7(<V 6.6.6 针合成 113
f@ .s(i=z 6.6.6.1 针合成参数 114
&%4A3.qE 6.6.7 差分进化 114
zKQXmyO 6.6.8非局部细化 115
[bjP-pX 6.6.8.1非局部细化参数 115
l%#z 6.7 我应该使用哪种技术? 116
{-51rAyi 6.7.1 细化 116
K1t>5zm 6.7.2 合成 117
X<d`!,bn@
6.8 参考文献 117
^TT_BAI 7 导纳图及其他工具 118
}'4aW_ta 7.1 简介 118
3-gy)5.xe 7.2 薄膜作为导纳的变换 118
F6Qnz8| 7.2.1 四分之一
波长规则 119
)PvB^n 7.2.2 导纳图 120
GriFb]ml" 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124
Muok">#3. 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125
5UvqE_ 7.5 斜入射导纳图 141
;O {"\H6 7.6 对称周期 141
v\R-G 7.7 参考文献 142
Qb@i_SX(fs 8 典型的镀膜实例 143
V eLGxc 8.1 单层抗反射薄膜 145
#0c;2}D 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146
]~9YRVeC 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147
hs<OzM
8.4 W-膜层 148
eV\VR
!!i 8.5 V-膜层 149
R0T{9,;[` 8.6 V-膜层高折射基底 150
Hu"TEhW(2 8.7 V-膜层高折射率基底b 151
uE'Kk8 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152
R T/)<RT9 8.9 四层抗反射薄膜 153
lbC9^~T+ 8.10 Reichert抗反射薄膜 154
_*n
4W^8 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155
(f
8.12 六层宽带抗反射薄膜 156
sfs2ki H 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157
HAAU2A9B2 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158
y>] Yq- 8.15十五层宽带抗反射膜 159
"B0I$`~wu 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161
c:2LG_mQ 8.17 1/4波长堆栈 162
0?=a$0_C 8.18 陷波滤波器 163
m:c .dei5 8.19 厚度调制陷波滤波器 164
t>eeOWk3 8.20 褶皱 165
0lS=-am 8.21 消偏振分光器1 169
40%<E 8.22 消偏振分光器2 171
EU.!/'< 8.23 消偏振立体分光器 172
n W:Bo# 8.24 消偏振截止滤光片 173
H4uHCkj 8.25 立体偏振分束器1 174
y0,>_MS 8.26 立方偏振分束器2 177
!_>o2 8.27 相位延迟器 178
e,T^8_> 8.28 红外截止器 179
y':65NMda 8.29 21层长波带通滤波器 180
/.Jq]" 8.30 49层长波带通滤波器 181
; - 8] 8.31 55层短波带通滤波器 182
C'a#.LM 8.32 47 红外截止器 183
nTr{D&JS 8.33 宽带通滤波器 184
KB8_yo{y 8.34 诱导透射滤波器 186
D/puK 8.35 诱导透射滤波器2 188
[m(n-MuF 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190
9z7rv, 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192
L4v26*P 8.35 增益平坦滤波器 193
ov,[F<GT 8.38 啁啾反射镜 1 196
apWv+A 8.39 啁啾反射镜2 198
f*Yr*yC 8.40 啁啾反射镜3 199
~;0W
+ 8.41 带保护层的铝膜层 200
O8/r-?4. 8.42 增加铝反射率膜 201
h}= 8.43 参考文献 202
=L*-2cE6# 9 多层膜 204
:\~YbA 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204
f s2}a 9.2 内部透过率 204
bkiMF$K,K 9.3 内部透射率数据 205
%Q zk aXJ 9.4 实例 206
rtz ]PH 9.5 实例2 210
jz,Gj}3; 9.6 圆锥和带宽计算 212
Pp`[E/
qj4 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214
a2B9
.;F 10 光学薄膜的颜色 216
ex8}./mjJ 10.1 导言 216
GB}!7W" 10.2 色彩 216
pV/5w<_x? 10.3 主波长和纯度 220
l4\ !J/df 10.4 色相和纯度 221
,e;_
Vb 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222
VbX$\Cs: 10.6 色差 226
Qb' Q4@. 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227
;OSEMgB1 10.8 颜色渲染指数 234
d^I:{Ii' 10.9 色差计算 235
na_Wp^; 10.10 参考文献 236
[FeN(8hGS 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238
[@/s! i @ 11.1 短脉冲 238
Yduj3Ht:w 11.2 群速度 239
R/l/GNm 11.3 群速度色散 241
/}nq?Vf 11.4 啁啾(chirped) 245
9!s)52qt 11.5 光学薄膜—相变 245
?gG%FzfQ/ 11.6 群延迟和延迟色散 246
q>[}JtXK 11.7 色度色散 246
9b)'vr*Hy7 11.8 色散补偿 249
D;6C2>U~L 11.9 空间
光线偏移 256
N'YQ6U 11.10 参考文献 258
F{laA YE 12 公差与误差 260
cQ(,M 12.1 蒙特卡罗模型 260
bpdluWS+ ) 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267
LknV47vd 12.2.1 误差工具 267
SbH} cu8 12.2.2 灵敏度工具 271
-gpHg 12.2.2.1 独立灵敏度 271
iJr(;Bq 12.2.2.2 灵敏度分布 275
M4E== 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276
CIAKXYM 12.3 参考文献 276
lVgin54Q 13 Runsheet 与Simulator 277
)u]1j@Id 13.1 原理介绍 277
ZV$!dHW/ 13.2 截止滤光片设计 277
C^*}*hYk$ 14 光学常数提取 289
c!] yT0v&s 14.1 介绍 289
[9\Mf4lh# 14.2 电介质薄膜 289
C5=m~ 14.3 n 和k 的提取工具 295
RSIhZYA 14.4 基底的参数提取 302
Su*Pd; 14.5 金属的参数提取 306
kcE86Y=|x! 14.6 不正确的模型 306
0r]-Ltvl?} 14.7 参考文献 311
##'uekSJ 15 反演工程 313
jV(b?r)eT{ 15.1 随机性和
系统性 313
fcw/l,k9 15.2 常见的系统性问题 314
[>|6qY$D 15.3 单层膜 314
Xvxj-\ - 15.4 多层膜 314
p?sFX$S 15.5 含义 319
ai;- _M+$ 15.6 反演工程实例 319
_m3#g1m{ 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320
RU\MT'E>( 15.6.2 反演工程提取折射率 327
nBzju?X)I 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329
_7,4C? 16.1 光学性质的热致偏移 329
ogG:Ai)90 16.2 应力工具 335
*yN#q>1 16.3 均匀性误差 339
+d=8 /3O% 16.3.1 圆锥工具 339
_A6e|(.ll 16.3.2 波前问题 341
XRXQ
7\n 16.4 参考文献 343
A4Tjfc,rx9 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345
pI}6AAs}Z 17.1 引言 345
Z=^~]Mfa 17.2 操作数 345
LNF|mS\+D 18 如何在Function中编写脚本 351
lD,;xuQ 18.1 简介 351
7kmd.< 18.2 什么是脚本? 351
AP0z~e 18.3 Function中脚本和操作数对比 351
(4C_Ft*~j 18.4 基础 352
L+.-aB2!d 18.4.1 Classes(类别) 352
W.?EjEx 18.4.2 对象 352
|yi#6!}^ 18.4.3 信息(Messages) 352
M~5Ja0N~ 18.4.4 属性 352
"(vm0@8>< 18.4.5 方法 353
h:4F?'W 18.4.6 变量声明 353
s \q
m 18.5 创建对象 354
U^&y*gX1 18.5.1 创建对象函数 355
Nj+gSa9 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355
hf5+$^RZ 18.5.3 丢弃对象 356
y@Ak_]{b 18.5.4 总结 356
T:S[[#f{5 18.6 脚本中的表格 357
~-#8j3 J; 18.6.1 方法1 357
B0m2SUC,H 18.6.2 方法2 357
/v7o!D1G 18.7 2D Plots in Scripts 358
.r \g] 18.8 3D Plots in Scripts 359
}=s64O9j 18.9 注释 360
E6clVa 18.10 脚本管理器调用Scripts 360
8WLBq-]G 18.11 一个更高级的脚本 362
uw{K&Hxw 18.12 <esc>键 364
0E/16@6= 18.13 包含文件 365
5wa!pR\c 18.14 脚本被
优化调用 366
3EA`]&d> 18.15 脚本中的对话框 368
YkI_i( 18.15.1 介绍 368
jGtu>|Gj 18.15.2 消息框-MsgBox 368
rl:D>t(:. 18.15.3 输入框函数 370
HA3d9` 18.15.4 自定义对话框 371
\
6 :7 18.15.5 对话框编辑器 371
u*8x.UE8C0 18.15.6 控制对话框 377
h&<>nK
18.15.7 更高级的对话框 380
yu$xQ~ o 18.16 Types语句 384
\Z$MH`_nu 18.17 打开文件 385
TH? wXd\ 18.18 Bags 387
}PxPJ$o 18.13 进一步研究 388
KdLj1T 19 vStack 389
H1hADn 19.1 vStack基本原理 389
9&'HhJm 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391
RpU.v
` 19.3 五棱镜 393
l vfplA 19.4 光束距离 396
)q>q]eHz 19.5 误差 399
4/Xu,pT 19.6 二向分色棱镜 399
*&$2us0%% 19.7 偏振泄漏 404
0;2ApYks 19.8 波前误差—相位 405
BH2JH>'X 19.9 其它计算参数 405
[Ee <SB{ 20 报表生成器 406
rz.`$ 20.1 入门 406
5@`dKFB5 20.2 指令(Instructions) 406
)X'ln 20.3 页面布局指令 406
3(=QY) 20.4 常见的参数图和三维图 407
pu
Z0_1uN 20.5 表格中的常见参数 408
&6\f;T4 20.6 迭代指令 408
K'S\$ 20.7 报表模版 408
ant#bDb/ 20.8 开始设计一个报表模版 409
fU^5Dl 21 一个新的project 413
].3@ Dk 21.1 创建一个新Job 414
Gw?ueui< 21.2 默认设计 415
F3&:KZ!V&m 21.3 薄膜设计 416
0hCUr]cZ, 21.4 误差的灵敏度计算 420
~otV'= /my 21.5 显色指数计算 422
_t@9WA;+\ 21.6 电场分布 424
:\"g}AX 后记 426
(n4Uc308 有兴趣可以扫码加微咨询
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