摘要 o':K4r;
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斐索干涉仪是工业中常见的光学计量设备,它们通常用于光学表面质量的高精度测试。 借助VirtualLab Fusion中的非顺序追迹,我们构建了一个菲索干涉仪,并利用它测试了不同的光学表面,例如圆柱形和球形。 可以看出,产生的干涉条纹对表面轮廓具有敏感性。 Q; BD|95nl
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设置入射场 Z._%T$8aJv
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定义元件的位置和方向 bM"d$tl$?'
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正确设置通道的非序列追迹 wPaMYxO/
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VirtualLab Fusion 技术 wSG!.Ejc7
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