摘要
ZZ{c 9 4H')( 斐索
干涉仪是工业中常见的
光学计量设备,它们通常用于光学表面质量的高
精度测试。 借助
VirtualLab Fusion中的非顺序追迹,我们构建了一个菲索
干涉仪,并利用它测试了不同的光学表面,例如圆柱形和球形。 可以看出,产生的干涉条纹对表面轮廓具有敏感性。
12L`Gi |uz<)
#r"|%nOfY Ap?,y? 建模任务
'{~[e** Kv1~,j6
k ?6d\Q Hc<@T_h+2 倾斜平面下的观测条纹
EpR n,[ mE{QT ZS
6~ y' \WnTpl>B 圆柱面下的观测条纹
S]%,g%6i SX'NFdY
R#ZJLT ]D5Maid+ 球面下的观测条纹
>Ho=L)u Y~I>mc]
|[5;dt_U/ >oyf i: VirtualLab Fusion 视窗
S}h
d, "I 3SbZD
D9P,[:" VirtualLab Fusion 流程
,KM%/;1Dm b@4UR< 设置入射场
19(x$=: E Lq1 - 基本
光源模型[教程视频]
iJ*Wsp 定义元件的位置和方向
3k>#z%// :epB:r - LPD II: 位置和方向[教程视频]
e~)4v 正确设置通道的非
序列追迹
5QXU"kWH QaEiP n~ - 非序列追迹的通道设置[用户案例]
jCtk3No
h"8[1
; ND?"1/s VirtualLab Fusion 技术
D2D+S 9'~qA(=.?