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摘要 EY$Dtb+g8 dh9Qo4-{ =*0KH##%$ fL xGaOT 干涉测量法是一项用于 光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、 机械和热变形的高 精度测量。作为一个典型示例,在非 序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干 激光源的马赫-泽德 干涉仪。该例证明了 光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 QR+xPY~ ;2#9q9( 建模任务 _ MsO2A -FOn%7r#Y n8pvzlj1 'iY~F 0U 由于组件倾斜引起的干涉条纹 %rFR:w`{ )2z<5 ` DB~3(r?K >-&B#Z^, 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 V8w7U:K 5taR[ukM
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