时间地点:
= +MF@ 4 主办单位:讯技光电科技(上海)有限公司;苏州黉论教育咨询有限公司
<1*.:CL"s 授课时间:2023年12月28日(四)-30日(六)共3天 AM 9:00-PM 16:00
20|_wAA5 授课地点:上海市嘉定区南翔银翔路819号中暨大厦18楼1805室
7CH&n4v 课程讲师:讯技光电高级工程师
'sUOi7U 课程费用:5000RMB(课程包含课程材料费、开票税金、午餐费用)
#C&';HB;y 课程概要:
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G>F 本课程从基本衍射原理开始,逐步阐明光的衍射本质以及衍射
光学元件的工作原理。在基础衍射理论基础之上,进一步讨论衍射光学元件的设计方法。在传统衍射光学理论之上,再进一步讨论微纳光学领域中的矢量衍射理论,并以此为基础阐明多种微纳光学元件(如偏振元件)的设计理念。与理论设计相应的,课程中另一个重要方面是加工技术。如何根据需要选择合适的加工技术,是以质量为先还是需要考虑批量加工成本,这些问题也会在课程中讨论。此外,更重要的一点是,衍射和微纳元件的设计与加工技术往往是关联的,甚至是有所制约的。因此,我们会在课程中指明元件加工工艺以及设计方法之间的关系,并且在讲授相关内容的同时辅以VirtualLab Fusion在此方面的设计及建模方法,从而做到真正的学以致用,加速在微纳光学领域的领悟及开拓。
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7wh4~ 课程大纲:
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i 1.波动光学基础 94#,dA,M □ 双光束干涉及杨氏干涉
yO%^[c? □ 相干及非相干
光源的传播特性
u'l4=e □ 衍射光学与傅里叶变换
Az:~|P 2.衍射元件概述 %eDSo9Y □ 衍射光学元件概念
7gf(5p5ZV □ 衍射光学元件优点
'fU #v`i □ 光束分束、整形、扩散
k37?NoT □ 傅里叶变换
_D{A`z □ 角谱理论
Gkuqe3 □ 工作装置类型
>o1dc* 3.衍射光学元件理念及设计 j;`Q82V\ □ 基本理念
l}L81t7f □
透镜和衍射光学元件的作用
3(V0,L'1 □ 分束、整形和扩散的实质
y7F
|v8bq □ 衍射光学元件的特征尺寸
K^fs#7 □ 衍射光学元件
优化设计方法
(_e[CqFu 4.IFTA简介 JyE-c}I □ 基本设计步骤
g]vB\5uA: □
光学系统结构——1f、2f、Fresnel、Far-field、角谱
&wK:R,~x6 □
参数估算——周期和线宽的估算
BC.3U.
□ 光学系统分辨率——不同结构的分辨率
~@c<5 -`{ □ 配置设计过程的优化评价函数
hE(R[hc 5.衍射元件设计案例 u:p OP □ 衍射分束器参数选择
<WIIurp □ 衍射分束器设计流程:规则和任意形状
&!/>B . □ 衍射整形器参数选择
%oa@2qJ^ □ 衍射整形器设计流程:1D和2D平顶型
&f.|MNz; □ 衍射扩散器参数选择
)v;O2z □ 衍射扩散器设计流程:平顶型和任意图案
p\=T#lb 6.光栅模拟分析 h<%$?h+} □ 构建stack
V>QyiB □ 调整模拟参数——精度因子和衍射级次
n3~axRPO □ 近场分析、衍射效率分析、内部场分析
bp9RF
d{ □ 2D光栅表面镀膜分析
DW7E ]o
□ 3D表面具有减反结构的光栅分析
h-ii-c?R@0 □ 光栅单元阵列及透镜阵列的建模与分析
T)I)r239h 7.光栅概述 L&kCI`Tb □ 2D和3D光栅,亚波长光栅,及二元光学元件
>S:(BJMo □ 标量衍射和傅里叶变换
}2;P`s □ 矢量衍射和傅里叶模态法
{4 Yxh8 □
纳米光学元件的应用:抗反射、偏振控制、
成像、传感等
cQt&%SVT]E 8.微纳光学元件制作 FM6{%}4 □ 多阶器件加工
z<5 5[~3 □ 连续器件加工
!j'LZ7 □ 传统套刻法
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b`N(] □
激光直写法
0C :8X
□ 纳米
光子器件制作概述
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