时间地点: |E^|X!+9
主办单位:讯技光电科技(上海)有限公司;苏州黉论教育咨询有限公司 =*MR(b>
授课时间:2023年12月28日(四)-30日(六)共3天 AM 9:00-PM 16:00 ZKdh%8C
授课地点:上海市嘉定区南翔银翔路819号中暨大厦18楼1805室 ; B$*)X9
课程讲师:讯技光电高级工程师 5h^[^*A?
课程费用:5000RMB(课程包含课程材料费、开票税金、午餐费用) 2C/%gcN >
课程概要: ]+%=@mWYs
本课程从基本衍射原理开始,逐步阐明光的衍射本质以及衍射光学元件的工作原理。在基础衍射理论基础之上,进一步讨论衍射光学元件的设计方法。在传统衍射光学理论之上,再进一步讨论微纳光学领域中的矢量衍射理论,并以此为基础阐明多种微纳光学元件(如偏振元件)的设计理念。与理论设计相应的,课程中另一个重要方面是加工技术。如何根据需要选择合适的加工技术,是以质量为先还是需要考虑批量加工成本,这些问题也会在课程中讨论。此外,更重要的一点是,衍射和微纳元件的设计与加工技术往往是关联的,甚至是有所制约的。因此,我们会在课程中指明元件加工工艺以及设计方法之间的关系,并且在讲授相关内容的同时辅以VirtualLab Fusion在此方面的设计及建模方法,从而做到真正的学以致用,加速在微纳光学领域的领悟及开拓。 k0ItG?Cv
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课程大纲: _z"o1`{w
1.波动光学基础 P. V\ov7m2
□ 双光束干涉及杨氏干涉 %z)EO9vtr
□ 相干及非相干光源的传播特性 uMiyq<
□ 衍射光学与傅里叶变换 {bkGYx5.C
2.衍射元件概述 F(4yS2h(
□ 衍射光学元件概念 3M
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□ 衍射光学元件优点 }76.6=~
□ 光束分束、整形、扩散 JvJ;bFXD
□ 傅里叶变换 v33T @
□ 角谱理论 LDQ
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□ 工作装置类型 "c
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3.衍射光学元件理念及设计 r{ @ `o@q
□ 基本理念 KH}t:m+h
□ 透镜和衍射光学元件的作用 YFvgz.>QE
□ 分束、整形和扩散的实质 vLn> 4SK
□ 衍射光学元件的特征尺寸 ScJu_Af
□ 衍射光学元件优化设计方法 v5 Y)al@
4.IFTA简介 $u5.!{Wq?
□ 基本设计步骤 'Y)/~\FI
□ 光学系统结构——1f、2f、Fresnel、Far-field、角谱 g
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□ 参数估算——周期和线宽的估算 ;=p;v .l
□ 光学系统分辨率——不同结构的分辨率 k3yxx]Rk/
□ 配置设计过程的优化评价函数 ^!uO(B&
5.衍射元件设计案例 }x0Z(
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□ 衍射分束器参数选择 `|,tCM&-
□ 衍射分束器设计流程:规则和任意形状 'j#a%j@{
□ 衍射整形器参数选择 78w4IICk
□ 衍射整形器设计流程:1D和2D平顶型 P"Rk?lL
□ 衍射扩散器参数选择 ~@fanR =
□ 衍射扩散器设计流程:平顶型和任意图案 (Y;'[.
6.光栅模拟分析 eT\p-4b
□ 构建stack
N|N/)
□ 调整模拟参数——精度因子和衍射级次 X[{\3Av
□ 近场分析、衍射效率分析、内部场分析 Pz
{Ig
□ 2D光栅表面镀膜分析 \e0x,2
□ 3D表面具有减反结构的光栅分析 =,E'~P
□ 光栅单元阵列及透镜阵列的建模与分析 H%T3Pc
7.光栅概述 V8v,jS$l4
□ 2D和3D光栅,亚波长光栅,及二元光学元件 OR~G Ov|
□ 标量衍射和傅里叶变换 k4mTZ}6E
□ 矢量衍射和傅里叶模态法 ]+,nA R
□ 纳米光学元件的应用:抗反射、偏振控制、成像、传感等 G>j"cj
8.微纳光学元件制作 W_D%|Ub2X
□ 多阶器件加工 ,O9`X6rh'
□ 连续器件加工 STRyW Ml
□ 传统套刻法 c#x7N9;"!
□ 激光直写法 ~ i'C/[P
□ 纳米光子器件制作概述 5j1 IH,yW
□ 衍射光学元件公差分析 U]mO7 HK
9.答疑 2w7@u/OC'
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