时间地点:
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,Yr 主办单位:讯技光电科技(上海)有限公司;苏州黉论教育咨询有限公司
WI4<2u; 授课时间:2023年12月28日(四)-30日(六)共3天 AM 9:00-PM 16:00
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tW5O> 授课地点:上海市嘉定区南翔银翔路819号中暨大厦18楼1805室
CyR`&u 课程讲师:讯技光电高级工程师
:-}K:ucaj 课程费用:5000RMB(课程包含课程材料费、开票税金、午餐费用)
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课程概要:
g}v](Q 本课程从基本衍射原理开始,逐步阐明光的衍射本质以及衍射
光学元件的工作原理。在基础衍射理论基础之上,进一步讨论衍射光学元件的设计方法。在传统衍射光学理论之上,再进一步讨论微纳光学领域中的矢量衍射理论,并以此为基础阐明多种微纳光学元件(如偏振元件)的设计理念。与理论设计相应的,课程中另一个重要方面是加工技术。如何根据需要选择合适的加工技术,是以质量为先还是需要考虑批量加工成本,这些问题也会在课程中讨论。此外,更重要的一点是,衍射和微纳元件的设计与加工技术往往是关联的,甚至是有所制约的。因此,我们会在课程中指明元件加工工艺以及设计方法之间的关系,并且在讲授相关内容的同时辅以VirtualLab Fusion在此方面的设计及建模方法,从而做到真正的学以致用,加速在微纳光学领域的领悟及开拓。
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f~T7?D0u}N 课程大纲:
>9!J?HA 1.波动光学基础 r@3-vLI!u □ 双光束干涉及杨氏干涉
9 Gd6/2 □ 相干及非相干
光源的传播特性
##6\~!P □ 衍射光学与傅里叶变换
3~T ~Bs 2.衍射元件概述 m;~} }~&vQ □ 衍射光学元件概念
>^~^#MT □ 衍射光学元件优点
?4%H(k5A □ 光束分束、整形、扩散
WVRIq' □ 傅里叶变换
kScZP8yw □ 角谱理论
u:f ]|Q □ 工作装置类型
`Y:]&w 3.衍射光学元件理念及设计 (DO'iCxlNh □ 基本理念
OW@%H;b □
透镜和衍射光学元件的作用
_#sy □ 分束、整形和扩散的实质
\1!Q.V □ 衍射光学元件的特征尺寸
]UkH}Pt'3 □ 衍射光学元件
优化设计方法
D+3?p 4.IFTA简介 MvpJ0Y ( □ 基本设计步骤
@v%Kw e1Q □
光学系统结构——1f、2f、Fresnel、Far-field、角谱
`.MZ,Xhqi" □
参数估算——周期和线宽的估算
rNq*z, □ 光学系统分辨率——不同结构的分辨率
^$: w □ 配置设计过程的优化评价函数
vHf)gi}O| 5.衍射元件设计案例 Uw("+[ 5O0 □ 衍射分束器参数选择
LZn'+{\` □ 衍射分束器设计流程:规则和任意形状
LG&BWs! □ 衍射整形器参数选择
TI DgIK □ 衍射整形器设计流程:1D和2D平顶型
Ab ,^y □ 衍射扩散器参数选择
RqTO3Kf □ 衍射扩散器设计流程:平顶型和任意图案
ML_VD*t9 6.光栅模拟分析 m`-);y □ 构建stack
N1ipK9a □ 调整模拟参数——精度因子和衍射级次
"@&TC"YG0 □ 近场分析、衍射效率分析、内部场分析
ekhv.;N~ □ 2D光栅表面镀膜分析
*)Qv;'U=rn □ 3D表面具有减反结构的光栅分析
%*gf_GeM □ 光栅单元阵列及透镜阵列的建模与分析
:cC$1zv@ 7.光栅概述 3 09
pl □ 2D和3D光栅,亚波长光栅,及二元光学元件
PT2;%=f □ 标量衍射和傅里叶变换
0 #8 □ 矢量衍射和傅里叶模态法
'(5GRI< □
纳米光学元件的应用:抗反射、偏振控制、
成像、传感等
KQPu9f9 8.微纳光学元件制作 -'$ob~* □ 多阶器件加工
G]>yk_#/\U □ 连续器件加工
BTkx}KK □ 传统套刻法
3^UdB9j; □
激光直写法
'0D$C},^|8 □ 纳米
光子器件制作概述
E%`J=C} □ 衍射光学元件公差分析
Bz ;r<Kn 9.答疑 W'@|ob 对此课程有兴趣的可以扫码加微咨询
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