时间地点： , j y<o+!
主办单位：讯技光电科技（上海）有限公司；苏州黉论教育咨询有限公司 SSE3tcRRl
授课时间：2023年12月28日（四）-30日(六）共3天 AM 9:00-PM 16:00 P+h6!=nD7
授课地点：上海市嘉定区南翔银翔路819号中暨大厦18楼1805室 gmY/STN
课程讲师：讯技光电高级工程师 Go 1 (@
课程费用：5000RMB(课程包含课程材料费、开票税金、午餐费用) ~\$=w10
课程概要： SB TPTb
本课程从基本衍射原理开始，逐步阐明光的衍射本质以及衍射光学元件的工作原理。在基础衍射理论基础之上，进一步讨论衍射光学元件的设计方法。在传统衍射光学理论之上，再进一步讨论微纳光学领域中的矢量衍射理论，并以此为基础阐明多种微纳光学元件（如偏振元件）的设计理念。与理论设计相应的，课程中另一个重要方面是加工技术。如何根据需要选择合适的加工技术，是以质量为先还是需要考虑批量加工成本，这些问题也会在课程中讨论。此外，更重要的一点是，衍射和微纳元件的设计与加工技术往往是关联的，甚至是有所制约的。因此，我们会在课程中指明元件加工工艺以及设计方法之间的关系，并且在讲授相关内容的同时辅以VirtualLab Fusion在此方面的设计及建模方法，从而做到真正的学以致用，加速在微纳光学领域的领悟及开拓。 D9.` h s0
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课程大纲： 7{ pIPmJ
1.波动光学基础 Gzw@w{JBL
□ 双光束干涉及杨氏干涉 ;o[rQ6 +
□ 相干及非相干光源的传播特性 FEF"\O|Q
□ 衍射光学与傅里叶变换 o~#f1$|Xn
2.衍射元件概述 n#BvW, 6J
□ 衍射光学元件概念 O~ 27/
□ 衍射光学元件优点 ;WD,x:>blO
□ 光束分束、整形、扩散 1AF%-<`?s
□ 傅里叶变换 xYI; V7
□ 角谱理论 D+sQP ymI
□ 工作装置类型 l& L,7BX
3.衍射光学元件理念及设计 ZqQ*}l5
□ 基本理念 GRT] aw
□ 透镜和衍射光学元件的作用 @ 4drjT
□ 分束、整形和扩散的实质 ydQ!4
□ 衍射光学元件的特征尺寸 J!hFN]M<<
□ 衍射光学元件优化设计方法 qbiK^g R
4.IFTA简介 U]hF
□ 基本设计步骤 ,[isib3
□ 光学系统结构——1f、2f、Fresnel、Far-field、角谱 H_w%'v &
□ 参数估算——周期和线宽的估算 {~N3D4n^
□ 光学系统分辨率——不同结构的分辨率 nA_%2F'W }
□ 配置设计过程的优化评价函数 o0ZBi|U\4
5.衍射元件设计案例 dU]/$7
□ 衍射分束器参数选择
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□ 衍射分束器设计流程：规则和任意形状 |0sPka/u16
□ 衍射整形器参数选择 r\2vl8X~
□ 衍射整形器设计流程：1D和2D平顶型 S2K#[mDG
□ 衍射扩散器参数选择 u5Up&QE!>q
□ 衍射扩散器设计流程：平顶型和任意图案 Vr=OYI'A
6.光栅模拟分析 `G!M>h@
□ 构建stack 19c@ `?
□ 调整模拟参数——精度因子和衍射级次 $dQIs:
□ 近场分析、衍射效率分析、内部场分析 ^m! _ 2_q
□ 2D光栅表面镀膜分析 <*(^{a. O
□ 3D表面具有减反结构的光栅分析 5\ hd4
□ 光栅单元阵列及透镜阵列的建模与分析 BT,b-=
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7.光栅概述 yNCEz/4
□ 2D和3D光栅,亚波长光栅,及二元光学元件 8(f:U@BS
□ 标量衍射和傅里叶变换 PFrfd_s{>\
□ 矢量衍射和傅里叶模态法 8Pmdk1 ~
□ 纳米光学元件的应用：抗反射、偏振控制、成像、传感等 IP3E9z_ L
8.微纳光学元件制作 ''H" ^oS
□ 多阶器件加工 $,fy$
Qk,S
□ 连续器件加工 %m&@ o~+
□ 传统套刻法 V'G Ju
□ 激光直写法 K j3?ve~
□ 纳米光子器件制作概述 9U f j
□ 衍射光学元件公差分析 DM{ 4@*]
9.答疑 <a( }kk}
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