时间地点: H@Ot77(*
主办单位:讯技光电科技(上海)有限公司;苏州黉论教育咨询有限公司 vdAd@Z~\
授课时间:2023年12月28日(四)-30日(六)共3天 AM 9:00-PM 16:00 #IZh}*$
授课地点:上海市嘉定区南翔银翔路819号中暨大厦18楼1805室 lFnYQab
课程讲师:讯技光电高级工程师 !5C"`@}q>
课程费用:5000RMB(课程包含课程材料费、开票税金、午餐费用) }O>1tauI
课程概要: <j>;5!4!}
本课程从基本衍射原理开始,逐步阐明光的衍射本质以及衍射光学元件的工作原理。在基础衍射理论基础之上,进一步讨论衍射光学元件的设计方法。在传统衍射光学理论之上,再进一步讨论微纳光学领域中的矢量衍射理论,并以此为基础阐明多种微纳光学元件(如偏振元件)的设计理念。与理论设计相应的,课程中另一个重要方面是加工技术。如何根据需要选择合适的加工技术,是以质量为先还是需要考虑批量加工成本,这些问题也会在课程中讨论。此外,更重要的一点是,衍射和微纳元件的设计与加工技术往往是关联的,甚至是有所制约的。因此,我们会在课程中指明元件加工工艺以及设计方法之间的关系,并且在讲授相关内容的同时辅以VirtualLab Fusion在此方面的设计及建模方法,从而做到真正的学以致用,加速在微纳光学领域的领悟及开拓。 X,_K
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课程大纲: R"V90b Cf
1.波动光学基础 rMi\#[oB
□ 双光束干涉及杨氏干涉 Ycspdl+(S$
□ 相干及非相干光源的传播特性 ]6[+tpx
□ 衍射光学与傅里叶变换 `dG;SM$T,
2.衍射元件概述 D@gC(&U/6
□ 衍射光学元件概念 uJ
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□ 衍射光学元件优点 i79$D:PcLa
□ 光束分束、整形、扩散 *oz#YGNm
□ 傅里叶变换 [B+F}Q^;
□ 角谱理论 R|M]mwa^w
□ 工作装置类型 Ca5#'3Eh
3.衍射光学元件理念及设计 T@U,<[,
□ 基本理念 ~M{/cv
□ 透镜和衍射光学元件的作用 a;Y:UwD9*
□ 分束、整形和扩散的实质 v$Fz^<Na
□ 衍射光学元件的特征尺寸 aH?Ygzw
□ 衍射光学元件优化设计方法 qi7C.w;
4.IFTA简介 jaodcT0
□ 基本设计步骤 v0oVbHO5<
□ 光学系统结构——1f、2f、Fresnel、Far-field、角谱 } SWp~3P
□ 参数估算——周期和线宽的估算 D^6iQW+.P
□ 光学系统分辨率——不同结构的分辨率 BLt58LYGX
□ 配置设计过程的优化评价函数 UtTlJb{-j
5.衍射元件设计案例 1L4-;HYJm
□ 衍射分束器参数选择 b)Da6fp
□ 衍射分束器设计流程:规则和任意形状 #<b\B qYG
□ 衍射整形器参数选择 g:)iEw>a
□ 衍射整形器设计流程:1D和2D平顶型 */aQ+%>jf
□ 衍射扩散器参数选择 G&^8)S@1
□ 衍射扩散器设计流程:平顶型和任意图案 (9I(e^@]
6.光栅模拟分析 u1 M8nb
□ 构建stack fEXFnQ#
□ 调整模拟参数——精度因子和衍射级次 jDb\4QyC
□ 近场分析、衍射效率分析、内部场分析 zgEN2d
□ 2D光栅表面镀膜分析 2I_ yUt-
□ 3D表面具有减反结构的光栅分析 <ytzGDx
□ 光栅单元阵列及透镜阵列的建模与分析 BYEZ[cM
7.光栅概述 2K};-}eW
□ 2D和3D光栅,亚波长光栅,及二元光学元件 &lSNI5l
□ 标量衍射和傅里叶变换 >P~*@>e
□ 矢量衍射和傅里叶模态法 ?8H{AuLB
□ 纳米光学元件的应用:抗反射、偏振控制、成像、传感等 UzaAL9k
8.微纳光学元件制作 k-=lt\?
□ 多阶器件加工 cWx`y><
□ 连续器件加工 \XV8t|*
□ 传统套刻法 iko>G
□ 激光直写法 :Q=y'<
□ 纳米光子器件制作概述 ZN$%\,<
□ 衍射光学元件公差分析 L}rZ1wV6
9.答疑 HP]5"ziA
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