摘要
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Z~}* y#Mc4? 光栅的
衍射效率分析是光栅的典型建模任务。效率可由瑞利系数计算得到,对于光栅的每个衍射阶次都给出了这两个量。
VirtualLab Fusion可通过全矢量的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)来计算效率和瑞利系数。借助光栅阶次分析器,可以以各种方式显示不同阶次的效率和瑞利系数。
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P$9GR 光栅详细说明
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+ 9\:$wMN NoJnchiU •为了演示一维光栅的光栅分析器,我们使用带HR涂层的正弦光栅。
C`NBHRa> •可以在堆栈中指定光栅
参数,并且在光栅组件的编辑对话框中访问该参数。
W(&Go'9e" >}<29Ii 光栅阶次分析器设置
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9{40_ :jk)(=^ •定义光栅
结构后,可以配置光栅阶次分析器。
3@PUg(M •可以指定各种输出选项。
3R<ME c •可以在
光学设置视图中双击它的元件打开分析器的编辑对话框。
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;#Jq$v)D 60hNCVq% 常规设置
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$@[dm)M DA+A >5/ •在“常规”选项卡中,可以选择是否分析透射率和/或反射率。
[Krm .) •另外,可以指定是否要评估透射、吸收和反射的总和,以及是否要显示极坐标图。
HF&h pBSq%Hy: 单个阶次设置
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w8 ?Pb$Fe hFsA_x+L; •在“单个阶次”选项卡中,可以选择是否记录单个阶次的信息。
j>$=SMc •如果想使用VirtualLab Fusion的参数运行或参数
优化来分析和优化特定阶次的光栅,则此选项非常有用。
TJHN/Z/ :`+|'*b(A 单个阶次设置
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