摘要
1co;U PhUG}94 光栅的
衍射效率分析是光栅的典型建模任务。效率可由瑞利系数计算得到,对于光栅的每个衍射阶次都给出了这两个量。
VirtualLab Fusion可通过全矢量的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)来计算效率和瑞利系数。借助光栅阶次分析器,可以以各种方式显示不同阶次的效率和瑞利系数。
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[N@t/^gRC ^nO0/nqz] 光栅详细说明
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Q:L^DZkGV C0f<xhp?j •为了演示一维光栅的光栅分析器,我们使用带HR涂层的正弦光栅。
9_=0:GHk •可以在堆栈中指定光栅
参数,并且在光栅组件的编辑对话框中访问该参数。
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bP 光栅阶次分析器设置
9\dpJ\ kjj4%0" •定义光栅
结构后,可以配置光栅阶次分析器。
J\@ r~x5G •可以指定各种输出选项。
mB\)Q J.% •可以在
光学设置视图中双击它的元件打开分析器的编辑对话框。
Gt4/ax:A@ |2L|Zp&
%>];F~z ~nP~6Q'wSH 常规设置
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"=0(a)01p: c*m7'\ •在“常规”选项卡中,可以选择是否分析透射率和/或反射率。
LL0Y$pHV •另外,可以指定是否要评估透射、吸收和反射的总和,以及是否要显示极坐标图。
CI#6r8u TmS-w 单个阶次设置
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f]_{4Olk ?DGe}?pX •在“单个阶次”选项卡中,可以选择是否记录单个阶次的信息。
'!hA!eo>J •如果想使用VirtualLab Fusion的参数运行或参数
优化来分析和优化特定阶次的光栅,则此选项非常有用。
x>]14bLz gTM*td(~^ 单个阶次设置
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5V $H?MW> %#jW
M1mx {<]A OGR2Y 探测器标签页中的输出
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A# E f0|wN\
%&5PZmnW ;],Js1m •如果在光学设置中处理了光栅阶次分析器,则单阶次输出值将记录到检测器结果选项卡中。
s+-V^{Ht •这些值在参数运行和参数优化中也可用。
QomihQnc u\AL`'v 极坐标图中的输出
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