[技术]用于光学检测的斐索干涉仪 [复制链接]

摘要 9Rf})$o+  
P5?M"j0/^  

图片:1-200GG04443114.png

!+R_Z#gB  
5vP=Wf cW  
斐索干涉仪是工业上常用的一种光学测量仪器，常用于高精度的光学表面质量检测。利用VirtualLab Fusion的非序列追迹技术，我们建立了斐索干涉仪，并将其用于测试不同的光学表面，如柱面和球面，可以发现由此产生的干涉条纹对表面轮廓很敏感。 YRU1^=v  
PiL[&_8g  
建模任务 PxAUsY  
Nbyc,a[o  

图片:1-200GG04613348.png

v35!? 5{  
:o37 V!  
观测倾斜平面 yb/v?q?Fk  
!3*:
6  

图片:1-200GG04635K8.png

z5tOsU  
;rvZ!/  
观测柱面 tKP zM  
;o#wK>pk%M  

图片:1-200GG04F3M1.png

=NNA7E7c  
g&]n:qx  
观测球面 KtMD?  
(R{|*:KP  

图片:1-200GG04I0206.png

6s<w}O  
y+aL5$x6  
走进VirtualLab Fusion _~}n(?>  
iJaA&z5sr  

图片:1-200GG04K5G7.png

^`*p;&(K\^  
35}]U=  
VirtualLab Fusion的工作流程 (?ofL|Cg(  
 设置输入场 Z*Lv!6WS  
- 基本光源模型 [教学视频] yN/
Uyhq  
 使用表面构造真实元件 dN)@/R^E;  
zNh$d;(O$^  
 定义元件的位置和方向 H_&z-g`  
- LPD II：位置和方向 [教学视频] UmNh0nS  
 为非序列场追迹设置合适的通道 "k>;K,:  
- 非序列场追迹的频道设置 [用例] 1cdX0[sN
 
#Zq[.9!q{  

图片:1-200GG04R2T8.png

_/pdZM,V  
6Gj69Lr  
VirtualLab Fusion技术 GiS{=+=5  
^`f( Pg!  

图片:1-200GG04T9257.png