摘要 Z; A`oKd
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斐索干涉仪是工业上常用的一种光学测量仪器,常用于高精度的光学表面质量检测。利用VirtualLab Fusion的非序列追迹技术,我们建立了斐索干涉仪,并将其用于测试不同的光学表面,如柱面和球面,可以发现由此产生的干涉条纹对表面轮廓很敏感。 bpKZ3}U
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建模任务 `eIenA
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观测倾斜平面 QrYpZZ;
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观测柱面 S%yd5<%_
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观测球面 mw='dFt
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走进VirtualLab Fusion K9OYri^TQ
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VirtualLab Fusion的工作流程 H
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设置输入场 72oF ,42y
- 基本光源模型 [教学视频] IaT$6\>
使用表面构造真实元件
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定义元件的位置和方向 aEWWFN
- LPD II:位置和方向 [教学视频] CC@.MA@9N
为非序列场追迹设置合适的通道 H<}^'#"p
- 非序列场追迹的频道设置 [用例] yb/%?DNQT
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VirtualLab Fusion技术 @)-$kk*
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