[技术]用于光学检测的斐索干涉仪 [复制链接]

摘要 o~aK[   
U)f;*{U  

图片:1-200GG04443114.png

~x!"(  
#><P28m  
斐索干涉仪是工业上常用的一种光学测量仪器，常用于高精度的光学表面质量检测。利用VirtualLab Fusion的非序列追迹技术，我们建立了斐索干涉仪，并将其用于测试不同的光学表面，如柱面和球面，可以发现由此产生的干涉条纹对表面轮廓很敏感。 rx
$B(z(c  
JGJy_.C  
建模任务 D?)^{)49  
![>j`i  

图片:1-200GG04613348.png

_SW_I{fjr  
2"'<Yk9  
观测倾斜平面 ,y>%m;jL  
H*gX90{!2  

图片:1-200GG04635K8.png

*_qW;l7  
rz@FUU:&  
观测柱面 *VbB'u:  
+1te8P*  

图片:1-200GG04F3M1.png

*hk8[  
SY[7<BUZ  
观测球面 )P>}uK;  
_3pME9
l  

图片:1-200GG04I0206.png

VssD  
T3JM8  
走进VirtualLab Fusion 3eg)O34  
dR^7d _!  

图片:1-200GG04K5G7.png

37F&s  
h@^d Vg  
VirtualLab Fusion的工作流程 1+{V^)V?  
 设置输入场 e hgUp =  
- 基本光源模型 [教学视频] mh4<.6>5  
 使用表面构造真实元件 [myIcLp^aP  
]1^F  
 定义元件的位置和方向 &ody[k?'  
- LPD II：位置和方向 [教学视频] q2pq~LI  
 为非序列场追迹设置合适的通道 k|r+/gIV  
- 非序列场追迹的频道设置 [用例] LE'8R~4.<  
$GMva}@G`  

图片:1-200GG04R2T8.png

1 m>x5Dbk!  
;b-d2R  
VirtualLab Fusion技术 RqONVytx  
R)>F*GsR  

图片:1-200GG04T9257.png