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    [技术]用于光学检测的斐索干涉仪 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-10-11
    摘要 ,nGZ( EBD  
    iXD=_^^o .  
    *zl-R*bM$  
    !I+F8p   
    斐索干涉仪是工业上常用的一种光学测量仪器,常用于高精度的光学表面质量检测。利用VirtualLab Fusion的非序列追迹技术,我们建立了斐索干涉仪,并将其用于测试不同的光学表面,如柱面和球面,可以发现由此产生的干涉条纹对表面轮廓很敏感。 UdK+,k~m/  
    t`G<}t  
    建模任务 @jT=SFf  
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    观测倾斜平面 ,'a[1RN  
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    观测柱面 M6:$ 0(r  
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    观测球面 0khAi|PY  
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    走进VirtualLab Fusion mExJ--}  
    pL`)^BJ  
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    =:(<lKf,<F  
    VirtualLab Fusion的工作流程 (F'?c1  
     设置输入场 .( X!*J]G  
    - 基本光源模型 [教学视频] -|( q 9B  
     使用表面构造真实元件 Qo])A6$IU  
    9}#9i^%}  
     定义元件的位置和方向 .y2np  
    - LPD II:位置和方向 [教学视频] BBHoD:l  
     为非序列场追迹设置合适的通道 C)|#z/"  
    - 非序列场追迹的频道设置 [用例] ,Laz515  
    ;-d2~1$  
    YfJQ]tt 1  
    7YQ689"J6B  
    VirtualLab Fusion技术 !Tu4V\^~A  
    LT6VZ,S  
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