摘要
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<'f+nC=2 VG'M=O{)3 斐索
干涉仪是工业上常用的一种
光学测量
仪器,常用于高
精度的光学表面质量检测。利用
VirtualLab Fusion的非
序列追迹技术,我们建立了斐索
干涉仪,并将其用于测试不同的光学表面,如柱面和球面,可以发现由此产生的干涉条纹对表面轮廓很敏感。
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hV_bm@f/y 建模任务
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R<}UT hj[&.w 观测倾斜平面
G&,F-|` Z#+lwZD
_P,3~ ; 4Qwv:4La 观测柱面
F/}(FG<'>I DC+p
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:%!`R72 P3Ocfpf Bp 观测球面
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O(pa;&" 2z#gn9Wb 走进VirtualLab Fusion
re[v}cB FK
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`,~8(rIM x`9IQQ VirtualLab Fusion的工作流程
H+lBb$ 设置输入场
rW),xfo0 - 基本
光源模型 [教学视频]
D6z*J?3^#& 使用表面构造真实元件
*{TB<^ * 'qoDFR\v 定义元件的位置和方向
M4rI]^lJ - LPD II:位置和方向 [教学视频]
~IQ3B$4H& 为非序列场追迹设置合适的通道
KF!?;q0J - 非序列场追迹的频道设置 [用例]
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ZF@T,i9 Ynxzkm S VirtualLab Fusion技术
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