摘要
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-Pt']07E dRGgiQO 斐索
干涉仪是工业上常用的一种
光学测量
仪器,常用于高
精度的光学表面质量检测。利用
VirtualLab Fusion的非
序列追迹技术,我们建立了斐索
干涉仪,并将其用于测试不同的光学表面,如柱面和球面,可以发现由此产生的干涉条纹对表面轮廓很敏感。
X+%5q =N JFOXrRR=d 建模任务
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xgQ&'&7l \2^_v'
>K 观测倾斜平面
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8h '~* KB5<)[bs 观测柱面
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XIRvIwO c?t,,\o(} 观测球面
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L3J .Oh tPz!C&.= 走进VirtualLab Fusion
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A>B_~= "~,3gNTzV VirtualLab Fusion的工作流程
6!A+$" 设置输入场
%4I13|<A` - 基本
光源模型 [教学视频]
GS qt:<Qs 使用表面构造真实元件
ZQN%!2 qgkC) 定义元件的位置和方向
;a9`z+ K - LPD II:位置和方向 [教学视频]
mIYM+2p 为非序列场追迹设置合适的通道
%|o2d&i - 非序列场追迹的频道设置 [用例]
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aTi,gJ;* @A1Ohl VirtualLab Fusion技术
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