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摘要 og!Uq]U/y :W 8DgL>l 当用近轴光照明时,亚波长光栅仅产生一个衍射级,因此在这种情况下无法成图像。为了克服这一问题,可以使用非傍轴照明。如在此示例中,采用高NA聚光透镜来为具有不同周期的光栅提供高度聚焦的照明,并且该衍射场将由另一个高NA物镜采集。VirtualLab可以模拟这样的成像过程,包括使用傅立叶模态法对亚波长光栅进行严格模拟。 67')nEQ9 sf@g $
IgQW 5E# [gQ*y~N 1. 建模任务 &3'II:x( :1s6h%evrT
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