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摘要 D-FT3Culw p:V1VHT, 当用近轴光照明时,亚波长光栅仅产生一个衍射级,因此在这种情况下无法成图像。为了克服这一问题,可以使用非傍轴照明。如在此示例中,采用高NA聚光透镜来为具有不同周期的光栅提供高度聚焦的照明,并且该衍射场将由另一个高NA物镜采集。VirtualLab可以模拟这样的成像过程,包括使用傅立叶模态法对亚波长光栅进行严格模拟。 8<Pi}RH Rl&nR$#
zZ,"HY=jN CG;+Z-"X 1. 建模任务 7g$*K0m` =h xyR;
U1 `pY:P W_6gV 2. 结果 =ld!=II nDcH;_<;9a
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