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摘要 LB0=V0| B*Xh$R 当用近轴光照明时,亚波长光栅仅产生一个衍射级,因此在这种情况下无法成图像。为了克服这一问题,可以使用非傍轴照明。如在此示例中,采用高NA聚光透镜来为具有不同周期的光栅提供高度聚焦的照明,并且该衍射场将由另一个高NA物镜采集。VirtualLab可以模拟这样的成像过程,包括使用傅立叶模态法对亚波长光栅进行严格模拟。 k82LCV+6 bm|8Jbsb&
%gB0D8,vo !9Ni[8&Fg0 1. 建模任务 [#H8Mb+7 9a,CiH%@
.w"O/6." cE?J]5#^ 2. 结果 *GnO&&m'B ,bg#pG!x Q
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