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摘要 z3clUtC+ Ys-^7
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组件内部光场分析器： FMM使用户能够研究微观和纳米结构内的电磁场分布。为此，通过应用傅里叶模态法/严格耦合波分析（FMM/RCWA）计算任意周期结构，包括透射和反射光栅、介电或金属光栅。也可以指定领域的哪一部分应该可视化：正向模式，反向模式，或两者结合。 aUA cR W
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 CdZnD#F2 ?fB5 t;~E 寻找组件内部光场分析器： FMM =`J W1dM
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 AHq M7+r9 tp@*=*^I 组件内部光场分析器： FMM是光栅光学设置的专用功能，它提供了光栅结构内部电磁场的可视化。 C B6A}m
?gU }[] N=q#y@ L 评估模式 2.ew^D# k j-=xhJ{=  *u}'}jC1X , }KwP *:Z 评估区域 I ,]J= xi 7"#f!. E  -'j7SOGk @`6 }`k 光栅类型 ubi~% +N7"EROc  3EI]bmi~
r 5[4h'f 光栅表面的采样 Z0 aUHWms nX )f'[ 7  ;>8kPG )J&|\m(e 光栅表面的采样 lirN YJ]tO
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