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4.8nY\_WF 内容简介 Ox^:)ii Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 ?4 qkDtm 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 LP9)zi 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 ~b Rd)1 1Y#HcW& 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 u_LY\'n 目录 r'p =`2= Preface 1 c`
,
2h# 内容简介 2 FPF6H puV 目录 i Y9u;H^^G 1 引言 1 bg}+\/78# 2 光学薄膜基础 2 sK&,):"]R 2.1 一般规则 2 yyP'Z~0 2.2 正交入射规则 3 Rn-G
@}f 2.3 斜入射规则 6 0z7L+2#b^ 2.4 精确计算 7 FQROK4x%" 2.5 相干性 8 &Yf",KcL*I 2.6 参考文献 10 k9mi5Oc 3 Essential Macleod的快速预览 10 KXf<$\+zO 4 Essential Macleod的特点 32 V@% 4.1 容量和局限性 33 !,Nwts>m 4.2 程序在哪里? 33 WS:5MI,OL 4.3 数据文件 35 mibpG9+d 4.4 设计规则 35 DK6?E\< 4.5 材料数据库和资料库 37 =1Z;Ma<; 4.5.1材料损失 38 ` H
XEZ| 4.5.1材料数据库和导入材料 39 OP%?dh] 4.5.2 材料库 41 C#;@y|Rw 4.5.3导出材料数据 43 wzh]97b 4.6 常用单位 43 J
R$r!hX 4.7 插值和外推法 46 R^%e1KO] 4.8 材料数据的平滑 50 _6MdF<Xb/ 4.9 更多光学常数模型 54 SdJ/4&{ ! 4.10 文档的一般编辑规则 55 g$FEEDF 4.11 撤销和重做 56 Gr: 3{o` 4.12 设计文档 57 x6;j<m5Mjx 4.10.1 公式 58 )\ZzTS 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 Cqxv"NN 4.10.3 沉积密度 59 .<#ATFmY 4.10.4 平行和楔形介质 60 >$H|:{D 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 9S1)U$ 4.10.4 性能 61 DG[%Nhle 4.10.5 保存设计和性能 64 l?8)6z#Zl 4.10.6 默认设计 64 vfw A$7N 4.11 图表 64 hO#t:WxFI 4.11.1 合并曲线图 67 A\AT0th 4.11.2 自适应绘制 68 r?A|d.Tl 4.11.3 动态绘图 68 Puh$%;x 4.11.4 3D绘图 69 )R?;M 4.12 导入和导出 73 ECcZz. 4.12.1 剪贴板 73 tmJgm5v 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 $bsH$N#6T 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 A6{b?aQ 4.13 背景 77 909md|9K3 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 T9syo/( 4.15 生成Rugate 84 AIRr{Y 4.16 参考文献 91 1A<,TFg 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 * R d#{Io7 5.1 Jobs 92 U#
JIs 5.2 创建一个新Job(工作) 93 c</1 5.3 输入材料 94 +fNvNbtA 5.4 设计数据文件夹 95 o.7{O,v 5.5 默认设计 95 F$MX,,4U 6 细化和合成 97 3yA2WW 6.1 优化介绍 97 bZ 443SG 6.2 细化 (Refinement) 98 6!q#x[A 6.3 合成 (Synthesis) 100 iv&v8;B 6.4 目标和评价函数 101 =f1B,%7G+5 6.4.1 目标输入 102 \or G63T: 6.4.2 目标 103 jrMe G.e=D 6.4.3 特殊的评价函数 104 LF*&(NC 6.5 层锁定和连接 104 )ev<7g9*q 6.6 细化技术 104 }
JiSmi6o 6.6.1 单纯形 105 JC#>Td 6.6.1.1 单纯形参数 106 e]Fp=*# 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 Kw5Lhc1V 6.6.2.1 Optimac参数 108 &miexSNeF 6.6.3 模拟退火算法 109 'h1b1,b~
6.6.3.1 模拟退火参数 109 v2+!1r7@ 6.6.4 共轭梯度 111 +q<B.XxkA 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 ]J7Qgp)i 6.6.5 拟牛顿法 112 )C%N]9FvY 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 d3;qsUh$yv 6.6.6 针合成 113 \qh*E#j 6.6.6.1 针合成参数 114 sEc;!L 6.6.7 差分进化 114 Vz=auM1xZ 6.6.8非局部细化 115 h8e757z 6.6.8.1非局部细化参数 115
#^#HuDH 6.7 我应该使用哪种技术? 116 8,"yNq 6.7.1 细化 116 vZj`| 6.7.2 合成 117 @Xp~2@I=ls 6.8 参考文献 117 U/l?>lOD\ 7 导纳图及其他工具 118 1O/
g&u 7.1 简介 118 V5f9]D 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 tw=oH9c80 7.2.1 四分之一波长规则 119 PU<PhuMd
7.2.2 导纳图 120 ^P'{U26 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 {a(&J6$VE 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 _+l1b"^s1 7.5 斜入射导纳图 141 tWeFEVg 7.6 对称周期 141 =
u[#2! 7.7 参考文献 142 .Dg*\ h 8 典型的镀膜实例 143 5N[9
vW 8.1 单层抗反射薄膜 145 e4>"92hX 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 M<PIeKIEB 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 ``VW;l{ 8.4 W-膜层 148 RDqFL.-S 8.5 V-膜层 149 cvd\/pG) 8.6 V-膜层高折射基底 150 -_C#wtC 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 1BHG'y 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 `Z"Q^ 8.9 四层抗反射薄膜 153 ?p<.Fv8. 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 <
0M:"^f 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 "XgmuSQ! 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 !~]<$WZV 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 Sq\(pfvo 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 l:#-d.z# 8.15十五层宽带抗反射膜 159 sZ,Y60s8a 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 w;UqEC V 8.17 1/4波长堆栈 162 0|&\'{ 8.18 陷波滤波器 163 0& >H^ 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 94skkEj 8.20 褶皱 165 o2z]dTJ}o 8.21 消偏振分光器1 169 G;NF5`*4mc 8.22 消偏振分光器2 171 PO:"B6 8.23 消偏振立体分光器 172 (;Y8pKl1e 8.24 消偏振截止滤光片 173 )a@k]#)Skm 8.25 立体偏振分束器1 174
@fv}G>t 8.26 立方偏振分束器2 177 j>Iaq" 8.27 相位延迟器 178 hpTDxh'?$C 8.28 红外截止器 179 css64WX^0c 8.29 21层长波带通滤波器 180 ;9o;r)9~ 8.30 49层长波带通滤波器 181 !`1'2BC 8.31 55层短波带通滤波器 182 3pf[M{dG 8.32 47 红外截止器 183 o8e?J\? 8.33 宽带通滤波器 184 qd3Q}Lk 8.34 诱导透射滤波器 186 Twn4lG4~ 8.35 诱导透射滤波器2 188 =K'cM=WM6 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 Lip4)Y [ 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 q9w~A-Oh`1 8.35 增益平坦滤波器 193 ^7zu<lX 8.38 啁啾反射镜 1 196 z#BR5jF 8.39 啁啾反射镜2 198 s,#>m*Rh 8.40 啁啾反射镜3 199 kKC9{^%) 8.41 带保护层的铝膜层 200 (=D&A<YX 8.42 增加铝反射率膜 201 sf&]u;^DY 8.43 参考文献 202 Zo1,1O 9 多层膜 204 I>L-1o|^ 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 0TpK#OlI|c 9.2 内部透过率 204 uqz]J$ 9.3 内部透射率数据 205 R.=}@oPb 9.4 实例 206 Eu"_MgD 9.5 实例2 210 N?Lb 9.6 圆锥和带宽计算 212 rZ8`sIWQt 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 |rm g#;/D 10 光学薄膜的颜色 216 V#VN%{ 10.1 导言 216 Xpzfm7CB/ 10.2 色彩 216 ca+5=+X7 10.3 主波长和纯度 220 ;M"9$M' 10.4 色相和纯度 221 y;/VB,4V 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 w]N!S;<N 10.6 色差 226 H":oNpfb 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 (#+^&1 10.8 颜色渲染指数 234 boDt`2= 10.9 色差计算 235 x _c[B4Tw 10.10 参考文献 236 cnTaJ/o 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 oudxm[/U 11.1 短脉冲 238 )GHq/:1W 11.2 群速度 239 U&O:
_>~ 11.3 群速度色散 241 )1X#*mCxk 11.4 啁啾(chirped) 245 &b:1I7Cp* 11.5 光学薄膜—相变 245 .W js~0c 11.6 群延迟和延迟色散 246 13taFVdU 11.7 色度色散 246 kc0E%odF.v 11.8 色散补偿 249 #%DE; 11.9 空间光线偏移 256 x.-+[l[1
! 11.10 参考文献 258 (o`{uj{! 12 公差与误差 260 ;*MLRXq 12.1 蒙特卡罗模型 260 eM8}X[ 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 oq}'}`lw" 12.2.1 误差工具 267 X&kp;W 12.2.2 灵敏度工具 271 Bve.C
12.2.2.1 独立灵敏度 271 .V,@k7U,V 12.2.2.2 灵敏度分布 275 ](hE^\SC 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 =>-Rnc@ 12.3 参考文献 276 =?!wXOg_ 13 Runsheet 与Simulator 277 #\=F O> 13.1 原理介绍 277 nr<4M0tIp 13.2 截止滤光片设计 277 `nu''B
H 14 光学常数提取 289 u?C#4 14.1 介绍 289 E>K!Vrh-L 14.2 电介质薄膜 289 ov, hI>0!D 14.3 n 和k 的提取工具 295 q<M2,YrbAI 14.4 基底的参数提取 302 kGl~GOB
a 14.5 金属的参数提取 306 v?geCe=ng 14.6 不正确的模型 306 &v@a5 L 14.7 参考文献 311 vam;4vyu 15 反演工程 313 \kZ? 15.1 随机性和系统性 313 !z>6Uf!{ 15.2 常见的系统性问题 314 *WuID2cOI 15.3 单层膜 314
+U3DG$ 15.4 多层膜 314 }~L.qG 15.5 含义 319 x7Yu I 15.6 反演工程实例 319 ,y#Kv|R 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 > ;*b|Ik 15.6.2 反演工程提取折射率 327 HAa;hb 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 1eF3` 16.1 光学性质的热致偏移 329 ln6d<;
M5 16.2 应力工具 335 a^I\ /&aw' 16.3 均匀性误差 339 )P
sY($ & 16.3.1 圆锥工具 339 lNYt`xp 16.3.2 波前问题 341 M<v%CawS 16.4 参考文献 343 :/nj@X6 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 Y^wW2-,m 17.1 引言 345 JxM]9<a=4 17.2 操作数 345 J| w>a 18 如何在Function中编写脚本 351 ds<2I,t 18.1 简介 351 |IzPgC 18.2 什么是脚本? 351 |Y,b?*UF 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 .(cw>7e3D 18.4 基础 352 Fww :$^_ k 18.4.1 Classes(类别) 352 b0Ps5G\ u 18.4.2 对象 352 e w$B)W 18.4.3 信息(Messages) 352 k5'Vy8q 18.4.4 属性 352 sYI-5D] 18.4.5 方法 353 V2wb%;q 18.4.6 变量声明 353 iP7(tnlW$ 18.5 创建对象 354 zBzZxK>$ 18.5.1 创建对象函数 355 "ut39si 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 I 7{T 18.5.3 丢弃对象 356 Pd_U7&w,5 18.5.4 总结 356 L 0TFo_ 18.6 脚本中的表格 357 ivJ@=pd)B 18.6.1 方法1 357 8;JWK3Gv 18.6.2 方法2 357 n{argI8wF 18.7 2D Plots in Scripts 358 k_rt&}e+Gi 18.8 3D Plots in Scripts 359 | ATvS2 18.9 注释 360 D2Kp|F; 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 g}1B;zGf 18.11 一个更高级的脚本 362 Z 2V.3 18.12 <esc>键 364 2K/4Rf0; 18.13 包含文件 365 .YAT:;L 18.14 脚本被优化调用 366
iu=7O 18.15 脚本中的对话框 368 KJ)k =mJ 18.15.1 介绍 368 K0|FY=#2y 18.15.2 消息框-MsgBox 368 "*e$aTZB\ 18.15.3 输入框函数 370 2} /aFR 18.15.4 自定义对话框 371 0z6R'Kjy A 18.15.5 对话框编辑器 371 V^bwXr4f 18.15.6 控制对话框 377 u}macKJmp\ 18.15.7 更高级的对话框 380 7x|9n 18.16 Types语句 384 g}k`o!q 18.17 打开文件 385 E Nhl&J 18.18 Bags 387 f@wquG' 18.13 进一步研究 388 B"1c 19 vStack 389 SJn;{X>)q 19.1 vStack基本原理 389 /T0F"e)Ci 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 IL#"~D? 19.3 五棱镜 393 m$>H u@Va 19.4 光束距离 396 P~ >OS5^ 19.5 误差 399 3Ei#q+7 19.6 二向分色棱镜 399 7rc0yB
19.7 偏振泄漏 404 _)3|f<E_t) 19.8 波前误差—相位 405 pP&7rRhw 19.9 其它计算参数 405 KOk4^#h@ 20 报表生成器 406 '}53f2%gKa 20.1 入门 406 'uSn}hm 20.2 指令(Instructions) 406 -A^ _{4X 20.3 页面布局指令 406 c <B/V0] 20.4 常见的参数图和三维图 407 dVtG/0 20.5 表格中的常见参数 408 NRs13M<ftf 20.6 迭代指令 408 g[' ^L+hd 20.7 报表模版 408 5}l[>lF 20.8 开始设计一个报表模版 409 24 ' J 21 一个新的project 413 XPXIg 21.1 创建一个新Job 414 r=
`Jn6@ 21.2 默认设计 415 _Eo[7V{NY 21.3 薄膜设计 416 \h/H#jZJ 21.4 误差的灵敏度计算 420 )0]'QLH 21.5 显色指数计算 422 MS~(D.@ZS 21.6 电场分布 424 RLjc&WhzXu 后记 426 yW=::=
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