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    [技术]镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 [复制链接]

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    离线infotek
    技术专家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-06-08
    案例246.01：镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟  h%E25in  
     %[B &JhT  
    这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟，它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 ,Uc\ Ajx  
     4TG g`$e;  
    关键词：严格分析，FMM，正弦光栅，镀膜 4Q z  
     wAVO%8u  
    所需工具箱子：光栅工具箱 pE^LQi  
     5u~Ik c~  
    相关案例：G.001a,Scenario 104.01 t1n'Ecm(  
     "P&|e|7  
    建模任务 x1|5q/I  
    x*}(l%[  
    加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅，使用光栅效率分析器分析光栅。 6i9m!YQV  
    s,]6Lri`\  
    P`-(08t  
    双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面，打开编辑对话框，添加光栅。 HqcXP2  
     cd) <t8^KE  
    ]m=* =LLC  
    为了在严格模拟时添加镀膜，必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 -x:Wp*,  
     DS=kSkW^&5  
    wI#rAx7f-  
    选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。     4w*F!E2H\}  
    E{wVf_K  
    IN , @  
    选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 f$*M;|c1c/  
    f*NtnD=rJ  
    a_x$I? ,  
    堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 K{x<zv&,  
    ~Xh(JK]  
    "h2;65@  
    X线偏振光模拟结果：
    'gI58#v  
    [|ky~sRr  
    探测器主窗口中可以看到结果信息，镀膜后的反射率显著加强。 >|.jG_s  
    在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 3|/ ;`KfQ  
    qAivsYN*  
    o! sxfJKl  
    Y线偏光模拟结果 #y-OkGS ^  
    Z !wDh_  
    UF D_  
    对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 UF,T  
    结论： Y0&w;P  
    严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小，这是加工过程中经常出现的问题。     Q]{DhDz ?+  
     
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    离线二牛26
    实习生
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    只看该作者 1楼 发表于: 2023-07-04
    入射角没有要求吗？y方向的偏振对所有的镀膜的衍射效率都有提高吗？
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