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Fmu R(f=
均匀化的概念 d2Y5'A0X Qi% A/~ VirtualLab光学仿真和设计软件能够设计用于LED和准分子激光均匀化和整形的照明系统。可以通过微型光学元件来实现光束的均匀化和整形，例如： rcK*",> • 微透镜阵列 [{ pc1U- • 衍射扩散器 ,-b9:]{L • 计算机生成的全息图 zehF/HBzE • 相位板 "@n$(-. • 单元阵列 "hvw2lyp3
o8,K1ic5# 红色LED照射衍射扩散器产生的天际线图案 0 kkiS 3T
光学仿真和设计包括: sxqX R6p{ • 衍射 A1C@'9R*
• 干涉 K( p1+ GHC • 空间和时间相干度 * <@ • 像差 * +IUGR • 偏振 l|K8+5L • 光强 Z-Uq89[HZ
?`vb\K<5H; 应用 mVkn~LD:0
v/.2Z(sZ 用于LED和准分子激光均匀化的微光学照明系统可以用在各个领域，包括： TwH(47|?Nt • 信息显示 xv2;h4{< • 测量系统 }PXWRv.gW • 室内照明 MMf6QxYf • 汽车 H)p{T@ • 军事 8P *n|]B.' • 光刻 h {m]n!
52"/Zr }j 用于白光LED消色差整形的微透镜阵列的3D表面 LD NpEX~ 优点Benefits ]D%[GO//!
r*g _ 微光学元件的照明系统有以下几大优点： kA3kh`l • 可实现LED 和准分子激光的均匀化和整形. }'{(rU • 产生任意的二维图案. #?/.LMn{ • 对光源辐射特性变化的低灵敏度. x:2_FoQ • 非常紧凑的照明系统. sq^,l6es>  Bj2rA.M 包含一个光栅元胞阵列的照明系统 光线追迹模拟
?SpI^Wn)[
微透镜阵列，也叫做“蝇眼聚光器”可以被用在LED和准分子激光器均质化的各种光学装置中，微透镜阵列有以下光学特性： }} ]Y mf
• 光分布整形取决于透镜口径和透镜表面. 48DsRy
• 常被用来产生圆形、矩形和六角形光分布. %cv%u6 b
• 可以产生一般的二维图案. H!A^ MI
• 单色光和白光的整形. T> z@;5C
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六角形透镜阵列可以用来产生六角形光分布. V jnSi
衍射扩散器 WP>O7[|
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衍射扩散器，如相位板和计算机生成全息图，是经过计算机优化的表面轮廓散射元件，衍射扩散器有以下光学性质： 1Zecl);O{
• Diffuser在一目标平面上产生大量的重叠斑点（衍射级次）. CV6H~t'1
• 生成任意的二维图案. L`!sV-.
• 仅用于单色LED或准分子激光. 0uvL,hF
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4个高度水平的衍射扩散器的表面轮廓 E,X,RM~
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单元阵列 VMHY.Rf
~) Z`Q
光栅，棱镜和反射镜单元阵列由小矩形单元组成，将光偏转到目标平面上的特定位置。单元阵列具有以下光学特性： xq{4i|d)
• 通过控制光栅，微棱镜或微反射镜的倾角和周期来将光偏转到目标面上. \<8!b {F
• 光学分辨率取决于单元孔径的衍射. r
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• 产生任意的二维图案. hi=U
• 用于单色光和白光. l{R)y TO
 N X; &V7
由LightTrans.设计的光栅单元阵列的SEM成像 n5 i}J/Sa2
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