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\!^=~` X- 内容简介 ~0PzRS^o Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 wkp2A18n 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 v`|]57?A 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 +xYu@r%R OJe!K: 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 2y`h'z 目录 x1 |/ Preface 1 0|AgmW_7
. 内容简介 2 JBpV'_"] 目录 i c,1 G+. 1 引言 1 M(C">L]8 2 光学薄膜基础 2 "1a;);S=*) 2.1 一般规则 2 HYdM1s6vo 2.2 正交入射规则 3 9Q9{>d#" 2.3 斜入射规则 6 T_*inPf 2.4 精确计算 7 D\Ez~.H 2.5 相干性 8 i9ySD 2.6 参考文献 10 'l'3&.{Yfk 3 Essential Macleod的快速预览 10 }TTghE! 4 Essential Macleod的特点 32 x;?8Zr 4.1 容量和局限性 33 FJ0I&FyWs 4.2 程序在哪里? 33 zmhc\M?z 4.3 数据文件 35 (2b${ Q@V 4.4 设计规则 35 &2W"4SE]6 4.5 材料数据库和资料库 37 B{/og*xd*1 4.5.1材料损失 38 )c11_1; 4.5.1材料数据库和导入材料 39 Zn9u&!T& 4.5.2 材料库 41 GQ1/pys 4.5.3导出材料数据 43 ;.4y@?B 4.6 常用单位 43 iy~h|YK; 4.7 插值和外推法 46 PMsb"=Ds 4.8 材料数据的平滑 50 $`lWW6>P 4.9 更多光学常数模型 54 *EuX7LEu_ 4.10 文档的一般编辑规则 55 GFFwk4n1 4.11 撤销和重做 56 rO#w(] 4.12 设计文档 57 {Zc8,jm 4.10.1 公式 58 y]Nk^ga:U6 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 JMB#KzvN[ 4.10.3 沉积密度 59 y`oj\ 4.10.4 平行和楔形介质 60 bUcp8 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 T`e`nQ0nn 4.10.4 性能 61 RI*n]HNgy+ 4.10.5 保存设计和性能 64 6/<Hx@r ( 4.10.6 默认设计 64 C+'-TLeu 4.11 图表 64 aL:|Dr3SX 4.11.1 合并曲线图 67 1%_RXQVG 4.11.2 自适应绘制 68 $.D)Llcq 4.11.3 动态绘图 68 cAN!5?D\ 4.11.4 3D绘图 69 4`8s]X 4.12 导入和导出 73 "mQp#d/' 4.12.1 剪贴板 73 }-fHS;/ 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 /0\g!29l< 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 uzHMQp 4.13 背景 77 B .y}S 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 L(|K{vH h] 4.15 生成Rugate 84 S
TWH2_` 4.16 参考文献 91 pFH.beY 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 \a+Q5g 5.1 Jobs 92 ,\i*vJ#f 5.2 创建一个新Job(工作) 93 {^1O 5.3 输入材料 94 #TNjQNg@O 5.4 设计数据文件夹 95 v]M:HzP 5.5 默认设计 95 g7! LX[ 6 细化和合成 97 w1I07 ( 6.1 优化介绍 97 0U7Gl9~ 6.2 细化 (Refinement) 98 ;~0q23{+;U 6.3 合成 (Synthesis) 100 XncX2E4E 6.4 目标和评价函数 101 AO8 #l
YP? 6.4.1 目标输入 102 :;_}Gxx 6.4.2 目标 103 z-MQGqxR 6.4.3 特殊的评价函数 104 H5 z1_O_+ 6.5 层锁定和连接 104 BI%^7\HZ 6.6 细化技术 104 (2eS:1+'8 6.6.1 单纯形 105 ,marNG 6.6.1.1 单纯形参数 106 s'yR2JYv 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 [y8(v ~H 6.6.2.1 Optimac参数 108 E#_/#J]UQn 6.6.3 模拟退火算法 109 |fKT@2( 6.6.3.1 模拟退火参数 109 4^r6RS@z 6.6.4 共轭梯度 111 /Pextj< 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 "m {i`<, 6.6.5 拟牛顿法 112 ,Vq$>T@z 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 ]){ZL 6.6.6 针合成 113 ;=n}61 6.6.6.1 针合成参数 114 GZi`jp 6.6.7 差分进化 114 +\ftSm> 6.6.8非局部细化 115 w)ki<Dudg 6.6.8.1非局部细化参数 115 _FOIMjh%N 6.7 我应该使用哪种技术? 116 ?;oJ=.T 6.7.1 细化 116 __eB 7]#E 6.7.2 合成 117 `^Ll@Cx" 6.8 参考文献 117 FaCW +9B 7 导纳图及其他工具 118 I=dn]}b#P 7.1 简介 118 z00X
?F 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 v'
t'{g% 7.2.1 四分之一波长规则 119 >>$L
vQ 7.2.2 导纳图 120 }>M\iPO.]* 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 rmggP( 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 |Ogh-<|< 7.5 斜入射导纳图 141 @U!&XZ]h 7.6 对称周期 141 C!:Lk,Z 7.7 参考文献 142 :
jkO 8 典型的镀膜实例 143 qeFaY74S 8.1 单层抗反射薄膜 145 :rM2G@{ 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 FS5iUH+5 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 rrz([2E2 8.4 W-膜层 148 a>l,H#w*vW 8.5 V-膜层 149 wlP3 XF? 8.6 V-膜层高折射基底 150 zgz!"knVx 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 7 q!==P= 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 O[= L#wi 8.9 四层抗反射薄膜 153 +%j27~R>D 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 AmC9qk8Q 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 c/ImK`:)4a 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 c$,1j%[) 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 e|:\Ps `8 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158
QDW,e]A 8.15十五层宽带抗反射膜 159 8H-yT1
8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 Ms +ekY) 8.17 1/4波长堆栈 162 #/ePpSyD 8.18 陷波滤波器 163 @p~scE.#\ 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 EUs9BJFP 8.20 褶皱 165 3#'8S_ 8.21 消偏振分光器1 169 N
{{MMIq 8.22 消偏振分光器2 171 i7-i!`< 8.23 消偏振立体分光器 172 05{}@tW- 8.24 消偏振截止滤光片 173 wbJBGT{sm 8.25 立体偏振分束器1 174 QxG^oxU} 8.26 立方偏振分束器2 177 I4%kYp] 8.27 相位延迟器 178 EpO2%|@ 8.28 红外截止器 179 JwxKWVpWv 8.29 21层长波带通滤波器 180 2~\SUGW- 8.30 49层长波带通滤波器 181 E oixw8hz 8.31 55层短波带通滤波器 182 )#z{P[X^ 8.32 47 红外截止器 183 X+sKG5nS 8.33 宽带通滤波器 184 UapU:>!"` 8.34 诱导透射滤波器 186 %y9sC1T 8.35 诱导透射滤波器2 188 N@tKgx 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 7omHorU+ 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 M.,DXEZT 8.35 增益平坦滤波器 193 Wcc4/:`Hu 8.38 啁啾反射镜 1 196 5-GS@fY 8.39 啁啾反射镜2 198 @Ol(:{< 8.40 啁啾反射镜3 199 ,v mn{gz 8.41 带保护层的铝膜层 200 WPsfl8@D 8.42 增加铝反射率膜 201 ~5N
oR 8.43 参考文献 202 p~3x=X4 9 多层膜 204 o}G`t
Bz 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 bwhH2 ^ ! 9.2 内部透过率 204 nK03x YA 9.3 内部透射率数据 205 q/zU'7%@ 9.4 实例 206 >U`G3(#7S 9.5 实例2 210 L!*+:L
DL 9.6 圆锥和带宽计算 212 w!H(zjv&( 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 B(1-u!pz 10 光学薄膜的颜色 216 \~A qA!)6 10.1 导言 216 rxX4Cw]\"y 10.2 色彩 216 ;PC! 10.3 主波长和纯度 220 ssLswb 10.4 色相和纯度 221 vVSDPlN; 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 -t S\ 10.6 色差 226 gIz!~I_U 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 )aGSZ1`/ 10.8 颜色渲染指数 234 tnnGM,"ol 10.9 色差计算 235 o$</At 10.10 参考文献 236 ?-:2f#bC 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 >Y8\f:KQ 11.1 短脉冲 238 FHU6o910 11.2 群速度 239 P~{8L.w!>W 11.3 群速度色散 241 gZ^Qt.6Z 11.4 啁啾(chirped) 245 (o IGp 11.5 光学薄膜—相变 245 V6P-?Nd 11.6 群延迟和延迟色散 246 ^D+^~>f 11.7 色度色散 246 G`n
$A/9Q 11.8 色散补偿 249 -!_8>r;Q4 11.9 空间光线偏移 256 w -o#=R_ 11.10 参考文献 258 \X&8EW 12 公差与误差 260 T 'c39 12.1 蒙特卡罗模型 260 wjl )yo$z 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 M\4`S& 12.2.1 误差工具 267 cg3}33Z;6 12.2.2 灵敏度工具 271 l[:Aq&[o3 12.2.2.1 独立灵敏度 271 $4xSI"+M% 12.2.2.2 灵敏度分布 275 Bz_'>6w 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 t}_ #N'` 12.3 参考文献 276 v5'`iO0o 13 Runsheet 与Simulator 277 seEo)m`d 13.1 原理介绍 277 ) %Fwfb 13.2 截止滤光片设计 277 _xv3UzD 14 光学常数提取 289 \fTQNF 14.1 介绍 289 )L:e0u 14.2 电介质薄膜 289 wxvi)|) 14.3 n 和k 的提取工具 295 j~{cT/5Y_ 14.4 基底的参数提取 302 B ktRA 14.5 金属的参数提取 306 -&Xv,:'? 14.6 不正确的模型 306 -%"PqA/1zj 14.7 参考文献 311 edo )W
mn 15 反演工程 313 ?p@J7{a 15.1 随机性和系统性 313 %a~/q0o> 15.2 常见的系统性问题 314 =^u;uS[IW 15.3 单层膜 314 "QdK
Md 15.4 多层膜 314 cp(qaa 15.5 含义 319 9(TGkz(NA 15.6 反演工程实例 319 i$E [@ 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 Q"qI'*Kgt 15.6.2 反演工程提取折射率 327 #_35bg4h{ 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 W#<1504ip 16.1 光学性质的热致偏移 329 oVy{~D= 16.2 应力工具 335 0mSP 16.3 均匀性误差 339 /jGBQ-X 16.3.1 圆锥工具 339 swF{}S" 16.3.2 波前问题 341 0h@FHw2d 16.4 参考文献 343 V,_m>$Mo 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 tsc`u> 17.1 引言 345 p?Azn>qBa 17.2 操作数 345 "9s_[e 18 如何在Function中编写脚本 351 'vBZh1`p 18.1 简介 351 2HFn\kjj.s 18.2 什么是脚本? 351 (*$bTI/~ 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 Y}c/wF7o 18.4 基础 352 +\Vm t[v 18.4.1 Classes(类别) 352 \A[l(aB 18.4.2 对象 352 v3-'
GgM 18.4.3 信息(Messages) 352 b4_0XmL 18.4.4 属性 352 &+2l#3} 18.4.5 方法 353 : ZrJL& 18.4.6 变量声明 353 %rptI$^*X 18.5 创建对象 354 0ae8Xm3J@R 18.5.1 创建对象函数 355 R7bG!1SHl 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 lDYgtUKG 18.5.3 丢弃对象 356 ~(d
{j}M> 18.5.4 总结 356 _!',%+ 18.6 脚本中的表格 357 -)}s{[]d6m 18.6.1 方法1 357 nzflUR{`- 18.6.2 方法2 357 )Zr9
`3[ 18.7 2D Plots in Scripts 358 '}_r/l]K 18.8 3D Plots in Scripts 359 -x//@8" 18.9 注释 360 }sXTZX 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 1]7gYNzV" 18.11 一个更高级的脚本 362 _B^zm-}8|B 18.12 <esc>键 364 n"EKVw7Y 18.13 包含文件 365 $6"(t= %{ 18.14 脚本被优化调用 366 F^O83[S 18.15 脚本中的对话框 368 ~gfR1SE 18.15.1 介绍 368 D!&(#Vl
_ 18.15.2 消息框-MsgBox 368 ]Btkoad 18.15.3 输入框函数 370 KMRPleF 18.15.4 自定义对话框 371 Nwi|>'\C 18.15.5 对话框编辑器 371 /\8Il+0 18.15.6 控制对话框 377 "313eeIt%i 18.15.7 更高级的对话框 380 Urr%SIakvM 18.16 Types语句 384 I/f\m}}ba 18.17 打开文件 385 )dT@0Ys% 18.18 Bags 387 !a@)6or 18.13 进一步研究 388 OBWWcL- 19 vStack 389 #V!a<w4_ 19.1 vStack基本原理 389 dVQ[@u1, 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 bKo %Ak, 19.3 五棱镜 393 YQ+hQ:4- 19.4 光束距离 396 .;?!I_` 19.5 误差 399 xl\Kj2^ 19.6 二向分色棱镜 399 /v R>.' 19.7 偏振泄漏 404 0*$w(* 19.8 波前误差—相位 405 c2npma]DZ 19.9 其它计算参数 405 Mkz_.;3 20 报表生成器 406 5f-b>=02 20.1 入门 406 ~ nsb 20.2 指令(Instructions) 406 Gnkar[oa& 20.3 页面布局指令 406 Kw
-SOFE 20.4 常见的参数图和三维图 407 5> x_G#W 20.5 表格中的常见参数 408 k +-w% 20.6 迭代指令 408 .hl_zc# 20.7 报表模版 408 ~G!JqdKJ0 20.8 开始设计一个报表模版 409 |YJ83nSO~ 21 一个新的project 413 I~GF%$-G 21.1 创建一个新Job 414 ZwmucY%3 21.2 默认设计 415 <S@jf4 21.3 薄膜设计 416 Wc3z7xK1@ 21.4 误差的灵敏度计算 420 H9cPtP~a) 21.5 显色指数计算 422 P$)g=/td1 21.6 电场分布 424 ^ Bx[% 后记 426 $T'!??|IF
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