简介 9\y\{DHd
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本文提出并演示了一种以二维光栅耦出的光瞳扩展(EPE)系统优化和公差分析的仿真方法。 dz_~_|
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在这个工作流程中,我们将使用3个软件进行不同的工作 ,以实现优化系统的大目标。首先,我们使用 Lumerical 构建光栅模型并使用 RCWA 进行仿真。其次,我们在 OpticStudio 中构建完整的出瞳扩展系统,并动态链接到 Lumerical 以集成精确的光栅模型。最后,optiSLang 用于通过修改光栅模型来全面控制系统级优化,以实现整个出瞳扩展系统所需的光学性能。 a*/%EP3
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本篇文章将分为上下两个部分。(联系我们获取文章附件) kzozjh%`9h
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概述 NpqK+GO
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我们将首先在 Lumerical 和 OpticStudio 中构建仿真系统,它们是动态链接的。 },#@q_E
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然后,OpticStudio 通过 Python 节点链接到 optiSLang 进行优化,如图1所示。 NFsj
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