简介 /w|YNDA]j
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本文提出并演示了一种以二维光栅耦出的光瞳扩展(EPE)系统优化和公差分析的仿真方法。 :F_U^pyG
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在这个工作流程中,我们将使用3个软件进行不同的工作 ,以实现优化系统的大目标。首先,我们使用 Lumerical 构建光栅模型并使用 RCWA 进行仿真。其次,我们在 OpticStudio 中构建完整的出瞳扩展系统,并动态链接到 Lumerical 以集成精确的光栅模型。最后,optiSLang 用于通过修改光栅模型来全面控制系统级优化,以实现整个出瞳扩展系统所需的光学性能。 hk~s1"
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本篇文章将分为上下两个部分。(联系我们获取文章附件) N7NK1<vw2
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概述 |i|O9^*%
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我们将首先在 Lumerical 和 OpticStudio 中构建仿真系统,它们是动态链接的。 ^Tl|v'
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然后,OpticStudio 通过 Python 节点链接到 optiSLang 进行优化,如图1所示。 ;;2s{{(R
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图1 Lumerical 通过动态链接到 OpticStudio,OpticStudio 通过 Python 节点链接到 optiSLang,优化由 optiSLang 控制。 7 `|- K
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如图 2 所示,EPE 系统包括两个用于耦入和耦出的光栅。耦出光栅分为几个区,如左侧所示。每个区都将经过优化,以具有不同的光栅形状。右图显示了光在 k 空间中的传播的变化情况。 8r~4iVwg
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图 2 光栅布局图以及光线在K空间的传播 *@D.=i>
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第 1 步:系统设置 (Lumerical) $:>K-4X\}
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打开附件中的 ZAR 文件时,两个光栅文件会被提取到设置的路径中。第一个光栅如图 3 所示,它是耦入光栅中使用的二元光栅。该光栅是固定的,在优化过程中不会改变。 x]F:~(P
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图 3 耦入光栅结构为二元光栅。 0(]C$*~mk
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第二个 .fsp 文件如图 4 所示,它是一个具有 7 个变量的平行四边形柱体。在优化期间,耦出中的每个区都将使用不同的变量组合集进行优化 。有关优化设置的更多信息将在优化设置部分中进行说明。 iZ&