简介 %J!+f-:=
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本文提出并演示了一种以二维光栅耦出的光瞳扩展(EPE)系统优化和公差分析的仿真方法。 ~B'K_#
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在这个工作流程中,我们将使用3个软件进行不同的工作 ,以实现优化系统的大目标。首先,我们使用 Lumerical 构建光栅模型并使用 RCWA 进行仿真。其次,我们在 OpticStudio 中构建完整的出瞳扩展系统,并动态链接到 Lumerical 以集成精确的光栅模型。最后,optiSLang 用于通过修改光栅模型来全面控制系统级优化,以实现整个出瞳扩展系统所需的光学性能。 b?hdWQSW7
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本篇文章将分为上下两个部分。(联系我们获取文章附件) *Sm$FMWQ
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概述 s +gZnne
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我们将首先在 Lumerical 和 OpticStudio 中构建仿真系统,它们是动态链接的。 #(mm6dj
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然后,OpticStudio 通过 Python 节点链接到 optiSLang 进行优化,如图1所示。 ==F[5]?
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图1 Lumerical 通过动态链接到 OpticStudio,OpticStudio 通过 Python 节点链接到 optiSLang,优化由 optiSLang 控制。 ]rO`eN[~U
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如图 2 所示,EPE 系统包括两个用于耦入和耦出的光栅。耦出光栅分为几个区,如左侧所示。每个区都将经过优化,以具有不同的光栅形状。右图显示了光在 k 空间中的传播的变化情况。 <.s=)}'`P
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图 2 光栅布局图以及光线在K空间的传播 gk >-h,>"
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第 1 步:系统设置 (Lumerical) lpQsmd#
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打开附件中的 ZAR 文件时,两个光栅文件会被提取到设置的路径中。第一个光栅如图 3 所示,它是耦入光栅中使用的二元光栅。该光栅是固定的,在优化过程中不会改变。 u>Z;/kr
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图 3 耦入光栅结构为二元光栅。 aL$m
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第二个 .fsp 文件如图 4 所示,它是一个具有 7 个变量的平行四边形柱体。在优化期间,耦出中的每个区都将使用不同的变量组合集进行优化 。有关优化设置的更多信息将在优化设置部分中进行说明。 <i``#"/
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图 4 耦出光栅中的结构为平行四边形支柱。 W2G`K+p
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这两个.fsp文件都是用动态链接的形式在 OpticStudio 中用于模拟完整的EPE系统。 55)!cw4
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第 2 步:系统设置(OpticStudio) <"Z]S^>$
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如图5所示,在该系统中,准直光束入射到耦入光栅上,通过波导传播,并与第二个光栅耦合。眼盒位于第二个光栅的较远部分。优化的目标是优化眼盒接收的均匀性和总功率。 `d2}>
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图 5 初始EPE系统和眼盒辐照度。 |q"WJQ
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在附件中有一个 OpticStudio 中建立的整个EPE系统的 zar 文件。如图 6 所示,仅构建了第二个光栅一半的区域。这是因为系统具有对称性。从图 7 可以看出,探测器的参数镜像设置为 1,这意味着在光线追迹期间,将始终对-x和+x部分进行镜像。这样一来,我们可以只用一半的光线获得相同的模拟结果。 z1XFc*5
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图 6 OpticStudio 中的 EPE 系统设置。 u POmiF
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图7 探测器的镜像参数设置为 1,这意味着该探测器在 x 方向上镜像。 fz#e4+oH
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可以看出, 系统中的所有光栅物体都已使用动态链接 DLL 进行设置,如图 8所示。 3CK4a,]Dm
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图 8 为 EPE 系统中的光栅加载动态链接 DLL。 kKFmTo
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第3步:优化设置(optiSLang) Fn.wd`'0
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3-1.Python 用于评估系统 Cy-q9uTm
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附件中包含了一个 python 文件 EPE_2D_for_optiSLang.py,用于将 optiSLang 链接到OpticStudio。使用python代码将 Ansys optiSLang 附带的优化器与求解器Ansys Zemax OpticStudio + Ansys Lumerical 链接非常有用。优势在于可以在每个优化周期中进行数据的预处理跟后处理,灵活性非常高。本章节会对代码结构进行解释。 hn\<'|n
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代码的基本结构首先由 OpticStudio 中的按钮生成,如图 9 所示。 fYU/Jn#
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图 9 生成 Python 交互式扩展代码的样板。 <