-
UID：317649
-
- 注册时间2020-06-19
- 最后登录2024-05-23
- 在线时间1266小时
-
-
访问TA的空间加好友用道具
|
即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅（General Grating 2D）元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 wiI@DJ>E
.w4| $.H 关键词：光栅，光栅工具箱，粗糙表面，可编程光学界面，光栅元件 le5@WG/x
}d5]N 要求工具箱：光栅工具箱 s`x2Go
Jl SqTfA 相关应用案例：案例090.01，案例246.01 bm;iX*~ 2[B bdg[O 一、模拟任务： =)bOteWM 二、光栅的描述 *$7^.eHfdd
7b1
yF,N 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓，其周期为5μm，调制深度为468nm（使得最内侧三个级次的效率相同）。 }zA|M9%E
}<G
a e5 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化，由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 6`9QGi,)
6ud?US( 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和总高度调制（Total Height Modulation）。使用种子（Seed）变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 _U}|Le@ e
bN?*p($/ 4. 变量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” azmeJpC
YEV;GFI1 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图，其“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为不同的值。 /;_$:`|/
oxFd@WV5 1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为0 BSS4} qyS i8<5|du&? h(2{+Y+ ~R LjL" 2) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为100nm Wr Wz+5M8 heF'7ezv# '1!%yKc0 3) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为500nm )cN=/i ~i-n_ 7 + b0f6?s 4) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1000nm O0^Y1l /L,iF?7 3Mh_ &%!O 5) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1500nm 'o]}vyz; Mn\L55?E( bN*zx)f 5. 参数运行 '&/Y}]
<y-2o vw* 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50nm时，随“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”变化的结果。 ^-# :T
Gd&G*x 2) 相反，文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1.5um时，将“总的高度调制（Total Height Modulation）”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 :)_P7k`>e/ a;7gy419<p 6. 具有不同的“总的高度调制（Total Height Modulation）”的结果 ZCuh^ hEF n> U,/9fzg d +Y~,1ai 5^ 7. 总结 $<wU>X
%]DJ-7 xE 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 5 PHAd4=bJ
9hwn,=Vh) 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 JENq?$S
l$p"%5 ]_ 3) 大的调制（在x-和y-方向）会造成原始衍射结果强烈的偏差。 ~f2-%~
|
