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    [技术]F-Theta扫描透镜的性能评估 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-06
    摘要 d#tUG~jc  
                                             O9yQ9sl  
    F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜，聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而，不存在完美的F-Theta系统，因此在任何给定的系统中，偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源，通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差，分析了给定F-Theta透镜的性能。 O&s6blD11  
    k1H0hDE  
    建模任务 ZF/KV\Ag)  
    qpeK><o  
    系统构建块-扫描源                                                     -&A[{m<,>  
    nJya1AH;  
    How to Set Up a Scanning Source YBO53S]=  
                                                                                   2yZ6:U~  
    系统构建块-透镜系统组件                                                                 N9ufTlq s  
    Ttj5% ~  
    系统构建块-参数耦合 R)C+wTG;  
       `+o.w#cl  
    Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion ;hvXFU  
                                                                                       31C]TdJ  
    系统构建块-失真分析仪 {EUH#':  
                                                                               :qp"Ao{M  
    实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 `IoX'|C[h  
     !%X`c94  
    虽然实际焦点点位置将由模拟计算，但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               |Q;o538  
    ]>L]?Rm  
    通用探测器和探测器附加组件                                                         ;Z_C3/b  
    ]`XuE-Uh  
    {ybuHC  
     !q/lgpEi  
    Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场，并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即，它们可以嵌套);在我们的例子中，我们使用场数据来计算辐射能密度，然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: -!cAr <  
    KIFx &A  
    Universal Detector [VW;L l  
                                                                                   0)]1)z(P  
    总结-组件… 2~DPq p[  
    uLM_KZ  
     3>" h*U#  
    系统观感   @;}H<&"  
     1znV>PO!  
    通过系统:三维可视化，不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外，可以检查场的轨迹，以便将探测器放置在正确的位置。 (O2HB-<rY  
    U08?*{  
     @RIEO%S  
    性能评估-点位偏差 YMTA`T(+  
    NR&9:?  
                                       =.hDf<U  
    性能评估-光斑直径测量                                                       61/zrMPn  
    uFWgq::\  
    %},G(>  
    k#JG  
    N{t :%[  
    此外，该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如，对光斑大小的检查显示，对于更高的输入角度，单个焦点变得越来越椭圆形。 @t8kN6.  
    ] <3?=$  
    VirtualLab Fusion技术 q'U5QyuC  
             b H_pNx81  
     
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