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_%]H}N Q 内容简介 Zl)|x%z Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 iu .{L(m 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 %j,Ny}a 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 shB(kb{{ <~3 aaO 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 S^u!/ =& 目录 h;6@-\6 Preface 1 )Jc>l;G(M 内容简介 2 E9i WGSE 目录 i q%"nk 1 引言 1 <}=D ?bXw 2 光学薄膜基础 2 1NTe@r!y 2.1 一般规则 2 fjb2-K 2.2 正交入射规则 3 +2?[=g4;} 2.3 斜入射规则 6 LLE~V~j 2.4 精确计算 7 U6Qeode 2.5 相干性 8 tv0xfAV 2.6 参考文献 10 v7-'H/d. 3 Essential Macleod的快速预览 10 K;95M^C\O* 4 Essential Macleod的特点 32 jy?^an}#h 4.1 容量和局限性 33 x[X.// : 4.2 程序在哪里? 33 $#!~K2$ 4.3 数据文件 35 CY:pYke= 4.4 设计规则 35 WXM_H0K 4.5 材料数据库和资料库 37 &
2bf 4.5.1材料损失 38 !\m.&lk'^ 4.5.1材料数据库和导入材料 39 H`P ) 4.5.2 材料库 41 5IepVS(>?v 4.5.3导出材料数据 43 9T]]T Ev4 4.6 常用单位 43 3"".kf,O5e 4.7 插值和外推法 46 {*2A%}S 4.8 材料数据的平滑 50 JsC0^A;fM 4.9 更多光学常数模型 54 H\^^p!^) 4.10 文档的一般编辑规则 55 KQqlM 4.11 撤销和重做 56 ;(sb^O 4.12 设计文档 57 ]8^2(^3ct 4.10.1 公式 58 yU\|dL 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 AIeYy-f 4.10.3 沉积密度 59 0K!9MDT}* 4.10.4 平行和楔形介质 60 sOJ~PRA 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 myo/}58Nv 4.10.4 性能 61 9.R_= 4.10.5 保存设计和性能 64 Mf
*qr9* 4.10.6 默认设计 64 $$4% .J26Z 4.11 图表 64 aZ'p:9e 4.11.1 合并曲线图 67 #Ky0` n 4.11.2 自适应绘制 68 (X8N?tJ 4.11.3 动态绘图 68 Eg9502Bl~8 4.11.4 3D绘图 69 RHxd6Gs" 4.12 导入和导出 73 dug RO[ 4.12.1 剪贴板 73 G$Dg*< 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 ~q/`Z)(yc 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 3lJK[V{'#' 4.13 背景 77 q<1@ut 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 H$;\TG@, 4.15 生成Rugate 84 /oI''O%M 4.16 参考文献 91 CI,-qi 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 ua{eri[ 5.1 Jobs 92 C$5v:Fk 5.2 创建一个新Job(工作) 93 ^'h~#7s 5.3 输入材料 94 %8ul}}d9 5.4 设计数据文件夹 95 [:o#d`^ 5.5 默认设计 95 C?|gf?1p 6 细化和合成 97 ^,X+
n5q;m 6.1 优化介绍 97 qj|GAGrQ2 6.2 细化 (Refinement) 98 +V) (,f1 6.3 合成 (Synthesis) 100 Yc
%eTh 6.4 目标和评价函数 101 B!<I[fvK 6.4.1 目标输入 102 qjWgyhL 6.4.2 目标 103 DJbj@ 2W[ 6.4.3 特殊的评价函数 104 Y}Ov`ZM!r 6.5 层锁定和连接 104 T7,tJk,( 6.6 细化技术 104 g5cR.]oz 6.6.1 单纯形 105 n_!&Wr^CX 6.6.1.1 单纯形参数 106 U3Q'ZT 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 X0lIeGwrQ 6.6.2.1 Optimac参数 108 ZpZ~[BtQ 6.6.3 模拟退火算法 109 X:dj5v 6.6.3.1 模拟退火参数 109 (d ( whlF 6.6.4 共轭梯度 111 NO<myN+N 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 9uq|
VU5 6.6.5 拟牛顿法 112 | zA ey\ 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 )TWf/Lcp 6.6.6 针合成 113 )j$Bo{ 6.6.6.1 针合成参数 114 \/5 8# 6.6.7 差分进化 114 0
cQf_o 6.6.8非局部细化 115 (R0 6.6.8.1非局部细化参数 115 Ug9o/I@}C 6.7 我应该使用哪种技术? 116 O`2%@%?I 6.7.1 细化 116 eBP
N[V 6.7.2 合成 117 {c$W-t):U| 6.8 参考文献 117 KL xg 7 导纳图及其他工具 118 ^c2 8Q.<w( 7.1 简介 118 3:C *'@ 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 9|go`^*. 7.2.1 四分之一波长规则 119 -wO`o< 7.2.2 导纳图 120 j;'NJ~NZ$ 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 ,7'l$-r l 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 G1D(-X4ALZ 7.5 斜入射导纳图 141 F'"-4YV>& 7.6 对称周期 141 m{1By/U 7.7 参考文献 142 ]s u\[?l 8 典型的镀膜实例 143 ve>8vw2 8.1 单层抗反射薄膜 145 |GMK@Q'0: 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 ^RY_j>i 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 h\yYg' CC 8.4 W-膜层 148 yXkgGY5 8.5 V-膜层 149 0w c+<CUW 8.6 V-膜层高折射基底 150 DZ EA*E > 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 !?KY;3L: 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 >- :U 8.9 四层抗反射薄膜 153 = 7jkW (Q 8.10 Reichert抗反射薄膜 154
:&Ul 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 5Po.&eS 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 DO0["O74 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 Z,!Rj7wZ 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 T\]z0M 8.15十五层宽带抗反射膜 159 amPQU 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 Kr9 @ 8.17 1/4波长堆栈 162 4u /?..L. 8.18 陷波滤波器 163 9zX\ioT 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 9m#`56G` 8.20 褶皱 165 [@/G?sAQm\ 8.21 消偏振分光器1 169 JiRW|+`pe 8.22 消偏振分光器2 171 Hiw{1E:rW 8.23 消偏振立体分光器 172 G;tIhq[$Vb 8.24 消偏振截止滤光片 173 DB?[h<^m 8.25 立体偏振分束器1 174 x*_c'\F| 8.26 立方偏振分束器2 177 V57^0^Zp` 8.27 相位延迟器 178 8I@_X~R 8.28 红外截止器 179 XX/cJp 8.29 21层长波带通滤波器 180 )[/+j"F 8.30 49层长波带通滤波器 181 '&UX'Dd~Q 8.31 55层短波带通滤波器 182 YWm:#{n. 8.32 47 红外截止器 183 KC 8.33 宽带通滤波器 184 ^*Ca+22xO 8.34 诱导透射滤波器 186 ;8UNM 8.35 诱导透射滤波器2 188 zRu}lJ1#W$ 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 d/|@"z^? 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 i8dv|oa 8.35 增益平坦滤波器 193 Q~`]0R159e 8.38 啁啾反射镜 1 196 M34*$>bk 8.39 啁啾反射镜2 198 _7 n+j 8.40 啁啾反射镜3 199 YRB,jwne 8.41 带保护层的铝膜层 200 R|Ykez!D 8.42 增加铝反射率膜 201 .lqo>Ta
y 8.43 参考文献 202 sYeZ.MacU 9 多层膜 204 f^ nogw<z! 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 h v9s 9.2 内部透过率 204 1z*] MYU 9.3 内部透射率数据 205 TlM ]d;9G 9.4 实例 206 @1rF9<
4g 9.5 实例2 210 _<xU"8b"5 9.6 圆锥和带宽计算 212 =7Nm=5@ 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 U|iSJ%K 10 光学薄膜的颜色 216 Rg'1 F 10.1 导言 216 ?-*_v//g 10.2 色彩 216 J#bEAK^L,l 10.3 主波长和纯度 220 Ib]{rmaP 10.4 色相和纯度 221 tz2`X V{ 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 wxF9lZz 10.6 色差 226 1 aIJ0#nE 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 :0V <
10.8 颜色渲染指数 234 @|r*yi 10.9 色差计算 235 $UKV2c 10.10 参考文献 236 HZ]'?&0 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 Pgb<;c:4 11.1 短脉冲 238 z[V|W 11.2 群速度 239 :Iw)xd1d}\ 11.3 群速度色散 241 <+C]^*j 11.4 啁啾(chirped) 245 NNS n]LP 11.5 光学薄膜—相变 245 ~[l2"@ 11.6 群延迟和延迟色散 246 / [:@j+n\ 11.7 色度色散 246 +d]} 11.8 色散补偿 249 irpO(>LK 11.9 空间光线偏移 256 `[7&tOvSk 11.10 参考文献 258 <?QY\wyikz 12 公差与误差 260 G+=&\+{#4 12.1 蒙特卡罗模型 260 7w YSP&$ 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 ;,4 Z5+ 12.2.1 误差工具 267 hG; NJx-=R 12.2.2 灵敏度工具 271 <#LHL
12.2.2.1 独立灵敏度 271 %<:?{<~wH9 12.2.2.2 灵敏度分布 275 J7_'@zU 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 if
r!ha+8! 12.3 参考文献 276 1z0&+ C3z 13 Runsheet 与Simulator 277 hAKyT~[n0 13.1 原理介绍 277 V_(lZDjh* 13.2 截止滤光片设计 277 QV7K~qi 14 光学常数提取 289 wE;??'O'l 14.1 介绍 289 [Kx_ %Le
14.2 电介质薄膜 289 "\]kK@, 14.3 n 和k 的提取工具 295 d8/lEmv[ 14.4 基底的参数提取 302 !uy?]l 14.5 金属的参数提取 306 H>a3\M 14.6 不正确的模型 306 +u:8#!X$RD 14.7 参考文献 311 >J|I 15 反演工程 313 'BcxKqC 15.1 随机性和系统性 313 !G Z2|~f9 15.2 常见的系统性问题 314 p~DlZk" 15.3 单层膜 314 X Oc0j9Oa 15.4 多层膜 314 ,m9Nd "6\ 15.5 含义 319 tbl!{Qwx 15.6 反演工程实例 319 TdG[b1xN
15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 ycIT=AFYqd 15.6.2 反演工程提取折射率 327 _|x%M}O}, 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 _)ZAf%f? 16.1 光学性质的热致偏移 329 0A/GWSmF 16.2 应力工具 335 j"yL6Q9P 16.3 均匀性误差 339 3@\vU~=P: 16.3.1 圆锥工具 339 7f~DD8 R 16.3.2 波前问题 341 -|:7<$2#I 16.4 参考文献 343 C5*j0} 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 UdT~h 17.1 引言 345 ko>SnE|w# 17.2 操作数 345 rM/*_0[`d 18 如何在Function中编写脚本 351 \/. Of]YQ 18.1 简介 351 rKP"|+^ 18.2 什么是脚本? 351 #$e~o}(r 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 Z#3wMK~ 18.4 基础 352 #sq -V,8 18.4.1 Classes(类别) 352 p$0;~1vH 18.4.2 对象 352 gXE'3 18.4.3 信息(Messages) 352 ^4`q%_vm 18.4.4 属性 352 ig7)VKr 18.4.5 方法 353 UW. F1) 18.4.6 变量声明 353 hm&{l|u{RU 18.5 创建对象 354 [="moh2*f
18.5.1 创建对象函数 355 7Z93`A-= 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 x\3tSP7Vp 18.5.3 丢弃对象 356 hJrxb<9@Y0 18.5.4 总结 356 ph<Z/wlz 18.6 脚本中的表格 357 >OBuHqC 18.6.1 方法1 357 f)vD2_E 18.6.2 方法2 357 s[SzE6eQ`l 18.7 2D Plots in Scripts 358 *;1 G+Q# 18.8 3D Plots in Scripts 359 1e _V@Vy 18.9 注释 360 eN,s#/ip] 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 acRPKTs
H 18.11 一个更高级的脚本 362 ?k<wI)JR 18.12 <esc>键 364 ghx8dX} 18.13 包含文件 365 s@'};E^]@r 18.14 脚本被优化调用 366 #Z"N\49 18.15 脚本中的对话框 368 K/,
B 18.15.1 介绍 368 fu?>O/Gn/ 18.15.2 消息框-MsgBox 368 ^>72<1U% 18.15.3 输入框函数 370 [64K?l0& 18.15.4 自定义对话框 371 wGBQ.Ve[ 18.15.5 对话框编辑器 371 M+ ^]j 18.15.6 控制对话框 377 d9R0P2 18.15.7 更高级的对话框 380 T=ox;r 18.16 Types语句 384 ;^=eiurv 18.17 打开文件 385 {t;Q#Ou. 18.18 Bags 387 %Jq(,u 18.13 进一步研究 388 KJ.ra\F 19 vStack 389 AA^3P?iD
19.1 vStack基本原理 389 q@8Rlc& 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 %$:js4 19.3 五棱镜 393 wpb6F ' 19.4 光束距离 396 / d0LD 19.5 误差 399 H*A)U'` 19.6 二向分色棱镜 399 49
fs$wr@ 19.7 偏振泄漏 404 ^pKC0E[% 19.8 波前误差—相位 405 0d9rJv}~ 19.9 其它计算参数 405 +VAfT\G2 20 报表生成器 406 R
=mawmQ2 20.1 入门 406 c_kxjzA# 20.2 指令(Instructions) 406 Y=vA;BE]R 20.3 页面布局指令 406 Z@t).$ 20.4 常见的参数图和三维图 407 s><RL]+{G+ 20.5 表格中的常见参数 408 Zdr
+{- 20.6 迭代指令 408 [A
yq%MA 20.7 报表模版 408 h}g _;k5R 20.8 开始设计一个报表模版 409 ?F(t`0= 21 一个新的project 413 ,Uc\
Ajx 21.1 创建一个新Job 414 <$Q&n{ 21.2 默认设计 415 V.1sb
pI
21.3 薄膜设计 416 &rq7;X 21.4 误差的灵敏度计算 420 #v89`$#`2 21.5 显色指数计算 422 Ts}5Nk8% 21.6 电场分布 424 n)sK#C-VA 后记 426 "P&|e|7 有兴趣可以扫码加微联系 -XPGl
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