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X?5M)MP+I 内容简介 lgp-/O"T Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 ~9#[\/;" 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 GGHe{l 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 l%]S7|PKx J8w#J 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 y1P KoN|K 目录 +4U ?*:n Preface 1 HVG9 C$ 内容简介 2 #MYhKySku 目录 i t.B%7e 1 引言 1 ]0<T,m Z 2 光学薄膜基础 2 A\J|eSG'$ 2.1 一般规则 2 qD:3;85 2.2 正交入射规则 3 vB >7W 2.3 斜入射规则 6 m/l#hp+ 2.4 精确计算 7 7kapa59 2.5 相干性 8 EJ&[I%jU 2.6 参考文献 10 E?san;Ku 3 Essential Macleod的快速预览 10 XUeBK/aQ{ 4 Essential Macleod的特点 32 R /J@XP 4.1 容量和局限性 33 T^YdAQeE 4.2 程序在哪里? 33 0X =Yly*m@ 4.3 数据文件 35 +:@HJXwK 4.4 设计规则 35 :/'2@M 4.5 材料数据库和资料库 37 tM3eB= .* 4.5.1材料损失 38 @MMk=/WDw 4.5.1材料数据库和导入材料 39 Yg@k+ 4.5.2 材料库 41 xu[6h?u(h8 4.5.3导出材料数据 43 4kZX$ct} 4.6 常用单位 43 mk#xbvvG 4.7 插值和外推法 46 u'}SaX]0 4.8 材料数据的平滑 50 #`R`!4 4.9 更多光学常数模型 54 /*=1hF 4.10 文档的一般编辑规则 55 o>lk+Q#L @ 4.11 撤销和重做 56 `0a=A#]1o 4.12 设计文档 57 Ng=XH"ce~ 4.10.1 公式 58 J
WaI[n} 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 %7WQb]y 4.10.3 沉积密度 59 '?Fw]z1$ 4.10.4 平行和楔形介质 60 (izGF;N+ 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 YB{hQ<W 4.10.4 性能 61 eZ+pZ q 4.10.5 保存设计和性能 64 2t'^ 4.10.6 默认设计 64 s"5f5Cn/Wh 4.11 图表 64 T0L h"_X3 4.11.1 合并曲线图 67 Dj!v+<b 4.11.2 自适应绘制 68 NUH;\*]8s 4.11.3 动态绘图 68 <:=}1t.Z 4.11.4 3D绘图 69 4E[ 9)n+YV 4.12 导入和导出 73 p&'oJy.P 4.12.1 剪贴板 73 ge*(w{|x 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 Z9rmlVU6! 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 y>}dKbCN 4.13 背景 77 RK%N:!fq= 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 /.!ytHw8 4.15 生成Rugate 84 #P[d?pY 4.16 参考文献 91 hxcRFqX" 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92
[7d>c 5.1 Jobs 92 os/_ObPiX 5.2 创建一个新Job(工作) 93 a(>oQG8F 5.3 输入材料 94 20glz( 5.4 设计数据文件夹 95 Nm;(M= 5.5 默认设计 95 nlv8HC 6 细化和合成 97 )+
}\NCFh 6.1 优化介绍 97 ^id9_RU 6.2 细化 (Refinement) 98 q)S70M_1 6.3 合成 (Synthesis) 100 KI&+Zw4VL 6.4 目标和评价函数 101 .Y!]{c 6.4.1 目标输入 102 Kgev*xg 6.4.2 目标 103 dN'2;X 6.4.3 特殊的评价函数 104 iDp'M`(6h 6.5 层锁定和连接 104 yU"pU>fV@ 6.6 细化技术 104 (.6~t<DRv 6.6.1 单纯形 105 cs0;:H*N* 6.6.1.1 单纯形参数 106 b[}f]pB@n 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 ;2lKo =" 6.6.2.1 Optimac参数 108 C(o]3):? 6.6.3 模拟退火算法 109 Y`$dtg { 6.6.3.1 模拟退火参数 109 ]&l.-0jt 6.6.4 共轭梯度 111 ID+o6/V8 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 NCm>iEeY 6.6.5 拟牛顿法 112 Rw8l"` 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 b5r.N1ms 6.6.6 针合成 113
ySC;;k' 6.6.6.1 针合成参数 114 d4'*K1m 6.6.7 差分进化 114 34k}7k~n 6.6.8非局部细化 115 4x8e~/ 6.6.8.1非局部细化参数 115 zMZP3
xir 6.7 我应该使用哪种技术? 116 \^=Wp'5R 6.7.1 细化 116 =*K~U# uoC 6.7.2 合成 117 jSLC L' 6.8 参考文献 117 "Me)' 7 导纳图及其他工具 118 []opPQ
1 7.1 简介 118 O3H~|R+^
7.2 薄膜作为导纳的变换 118 v]`}T/n 7.2.1 四分之一波长规则 119 :)/%*<vq, 7.2.2 导纳图 120 Vn:BasS% 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 H"~]|@g-p 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 879x(JII 7.5 斜入射导纳图 141 5v1f?btc 7.6 对称周期 141 lHg&|S&J 7.7 参考文献 142 )C
\ %R 8 典型的镀膜实例 143
cM9z b6m 8.1 单层抗反射薄膜 145 !Db0r/_:G 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 J$Huzs# 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 JPeZZ13sS 8.4 W-膜层 148 9wR-0E
) 8.5 V-膜层 149 3_%lN4sz 8.6 V-膜层高折射基底 150 EVovx7dr 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 {z":hmt 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 ZHA6BVVT 8.9 四层抗反射薄膜 153 T(<
[k:` 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 #.
mc+n:I 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 D%PrwfR 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 sY @S
8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 jlhyn0 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 CYIp 3D'k 8.15十五层宽带抗反射膜 159 irqNnnMGEa 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 j/I^\Ms 8.17 1/4波长堆栈 162 ;QMRm<CLV 8.18 陷波滤波器 163 FbvwzZ 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 3Thb0\<" 8.20 褶皱 165 () l#}H`m 8.21 消偏振分光器1 169 &``dI,NC 8.22 消偏振分光器2 171 '%JIc~LJ 8.23 消偏振立体分光器 172 /^#8z(@B 8.24 消偏振截止滤光片 173 .=y-T=} 8.25 立体偏振分束器1 174 ;
E Nhy 8.26 立方偏振分束器2 177 *k&yD3br-V 8.27 相位延迟器 178 H
l'za 8.28 红外截止器 179 N$Pi4 8.29 21层长波带通滤波器 180 ifo^
M]v 8.30 49层长波带通滤波器 181 u!NY@$Wc 8.31 55层短波带通滤波器 182 ~d+.w%Z` 8.32 47 红外截止器 183 yrp;G_ 8.33 宽带通滤波器 184 1e Wl:S} 8.34 诱导透射滤波器 186 AsBep 8.35 诱导透射滤波器2 188 SV-M8Im73z 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 6fP"I_c 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 PS*=MyNa 8.35 增益平坦滤波器 193 zn5U(>=c 8.38 啁啾反射镜 1 196 \ C^fi}/] 8.39 啁啾反射镜2 198 ~;m3i3D 8.40 啁啾反射镜3 199 XiP xg[; 8.41 带保护层的铝膜层 200 zli@X Z# 8.42 增加铝反射率膜 201 };rxpw>ms 8.43 参考文献 202 O26'|w@$ 9 多层膜 204 DK!QGATh 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 jacp':T 9.2 内部透过率 204 -pWnO9q 9.3 内部透射率数据 205 m@|0iDS 9.4 实例 206 ba=-F4? 9.5 实例2 210 v' x)AbbC 9.6 圆锥和带宽计算 212 |sQC:y> 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 $L~?!u&N 10 光学薄膜的颜色 216 qs96($ 10.1 导言 216 U"Gg
, 10.2 色彩 216 = F!_ivV 10.3 主波长和纯度 220 \v7->Sy8 10.4 色相和纯度 221 i|- 6 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 3^ct;gz 10.6 色差 226 r2KfZ>tWg" 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 '}\#bMeObg 10.8 颜色渲染指数 234 MfX1&/Z+ 10.9 色差计算 235 m :6. 10.10 参考文献 236 R)p+#F(s 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 })I_@\q 11.1 短脉冲 238 ,BUDo9h 11.2 群速度 239 9-Y.8:A` 11.3 群速度色散 241 &8w
MGahp 11.4 啁啾(chirped) 245 Vr|sRvz 11.5 光学薄膜—相变 245 bhqV2y*' 11.6 群延迟和延迟色散 246 \$Jz26
-n 11.7 色度色散 246 2^V/>|W>w 11.8 色散补偿 249 pA~eGar_J 11.9 空间光线偏移 256 u0s25 JY.% 11.10 参考文献 258 jDyG~de 12 公差与误差 260 D^\gU-8M 12.1 蒙特卡罗模型 260
KF.d: 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 9fj8r3 F# 12.2.1 误差工具 267 K6..N\7 12.2.2 灵敏度工具 271 A9 D vU)1 12.2.2.1 独立灵敏度 271 lD K<gd 12.2.2.2 灵敏度分布 275 9i8 ~ 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 *(w#*,lv 12.3 参考文献 276 bvR0?xnq 13 Runsheet 与Simulator 277 Z(~v{c %< 13.1 原理介绍 277 WxgA{q7: 13.2 截止滤光片设计 277 t>Ot)d 14 光学常数提取 289 E
U#
M. 14.1 介绍 289 (mR;MC 14.2 电介质薄膜 289 $-J=UT2m 14.3 n 和k 的提取工具 295 n0T>sE-9 14.4 基底的参数提取 302 fG`<L;wi 14.5 金属的参数提取 306 Z1&<-T_ 14.6 不正确的模型 306 &3_S+.JO 14.7 参考文献 311 usFhcU 15 反演工程 313 fxcCz 5 15.1 随机性和系统性 313 A4|L;z/A[h 15.2 常见的系统性问题 314 fRow@DI\ 15.3 单层膜 314 DO5H(a 15.4 多层膜 314 S0zk< |