电子枪主要技术指标： )4m_A p\
(O0byu}
t^U^T r
eGvOA\y:
1、 电子束偏转角：270°； EEwWu cQ
CA*~2|
X~L!e}Rz
2*'c iH37
2、 高压输出：－4KV ~ －10KV；输出稳定性小于±2%；纹波小于±5%； $3\,h; y
z_n \ 5.
3{RL \gh$"
EO:avH.*0
3、 发射电流：0 ~ 1000mA（10KV时），稳定性±2%； ="(>>C1-
!y[3]8Xxv
x7$ax79ly
kOI
!~Qk
4、 最大输出功率：10KW； 'RLOV
$^h?:L:1n
5、 灯丝电压：8V y-a|Lu*
onnugj3
6、 电子溯流变化率：±3% !*vBW/
&<0ZUI |S3
7、 可以使用的真空度：7x10-2~5x10-5Pa Yqj+hC6>,
9/3;{`+[a
8、 XY位置移动： ±20mm +t"j-}xzE
-;Uj |^
9、 XY扫描宽度： ±20mm "+h/-2rA
L~&" aF/b
10、X扫描频率：50Hz Y扫描频率：500Hz G~!C =l
l$M +.GB<
此电子枪工作稳定，运行可靠，采用日本技术和进口元件，枪头为开放式，电子束偏转靠的是永磁铁，枪体关键部件采用进口原材料。开放式结构可以安装任意多穴位、任意大直径的坩埚，使用户在选择时非常方便。束流和高压均是双路反馈控制，以确保束流和高压具有高稳定性。束流和高压的稳定度远超过上述的指标，数字仪表在全量程范围内束流、高压变动不超过2个字，且高压在束流调整中因有反馈稳压电路的作用不会变动。扫描均匀、稳定，使蒸发面平整，不会出现“扎坑”现象。 AC4 l<:Yh
lT ,+bU
扫描光斑大小可以任意调整，形状为方型，可根据用户镀膜工艺要求，蒸镀高料和低料调整电子枪扫描光斑大小存储在工控机内，在镀膜时自动提取扫描方式，实现自动镀膜。有存储扫描方式15种， [W;[v<E;
