电子枪主要技术指标: QTjOLK$e$
Zc57] ~
7<%Rx19L*
Y/w) VV
1、 电子束偏转角:270°; h\^> s$
7c Gq.U
yy-\$<j
Kq`"}&0b\
2、 高压输出:-4KV ~ -10KV;输出稳定性小于±2%;纹波小于±5%; )SYZ*=ezl.
yi/jZX
U[8Cg
:cK;|{f
3、 发射电流:0 ~ 1000mA(10KV时),稳定性±2%; dSBW&-p
n"{oj7E0a
eX>X=Ku
^6
sT$set
4、 最大输出功率:10KW; kV Z5>D$
;.r >
5、 灯丝电压:8V U"v}br-kb
s(I7}oRWsL
6、 电子溯流变化率:±3% v#`Wf}G
<ST#<
$%
7、 可以使用的真空度:7x10-2~5x10-5Pa ?$^qcpJCp
4GRmo"S
8、 XY位置移动: ±20mm mckrR$>
hOx">yki
9、 XY扫描宽度: ±20mm t9()?6H\
N{G+|WmQ
10、X扫描频率:50Hz Y扫描频率:500Hz YA>du=6y\
0|:Ic,
此电子枪工作稳定,运行可靠,采用日本技术和进口元件,枪头为开放式,电子束偏转靠的是永磁铁,枪体关键部件采用进口原材料。开放式结构可以安装任意多穴位、任意大直径的坩埚,使用户在选择时非常方便。束流和高压均是双路反馈控制,以确保束流和高压具有高稳定性。束流和高压的稳定度远超过上述的指标,数字仪表在全量程范围内束流、高压变动不超过2个字,且高压在束流调整中因有反馈稳压电路的作用不会变动。扫描均匀、稳定,使蒸发面平整,不会出现“扎坑”现象。 b\w88=|
/-39od0
扫描光斑大小可以任意调整,形状为方型,可根据用户镀膜工艺要求,蒸镀高料和低料调整电子枪扫描光斑大小存储在工控机内,在镀膜时自动提取扫描方式,实现自动镀膜。有存储扫描方式15种, (dF4F4`{