电子枪主要技术指标: oX@nWQBc_
.P.TqT@)r
:-7`Lfi@%
D`PnY&ffT
1、 电子束偏转角:270°; l~Je]Qt
RekTWIspT/
QN:gSS{30
S#dkJu]]#
2、 高压输出:-4KV ~ -10KV;输出稳定性小于±2%;纹波小于±5%; 7!.%HhU0
h"cLZM:6
DbFTNoVR
Xjc{={@p3
3、 发射电流:0 ~ 1000mA(10KV时),稳定性±2%; /~V.qisZ
pUki!TA
O79;tA<k
(-DA%
4、 最大输出功率:10KW; t=J\zyX!
fg"@qE-;
5、 灯丝电压:8V }2-<}m9}
m{Jo'*%8f
6、 电子溯流变化率:±3% dHc38zp
I^sWf3'db
7、 可以使用的真空度:7x10-2~5x10-5Pa |\"vHt?@G
Ffk$8"
8、 XY位置移动: ±20mm h[72iVn
ork/:y9*y
9、 XY扫描宽度: ±20mm R4GmUCKB=
<T{2a\i 4f
10、X扫描频率:50Hz Y扫描频率:500Hz ^:W.R7|
xnWCio>M
此电子枪工作稳定,运行可靠,采用日本技术和进口元件,枪头为开放式,电子束偏转靠的是永磁铁,枪体关键部件采用进口原材料。开放式结构可以安装任意多穴位、任意大直径的坩埚,使用户在选择时非常方便。束流和高压均是双路反馈控制,以确保束流和高压具有高稳定性。束流和高压的稳定度远超过上述的指标,数字仪表在全量程范围内束流、高压变动不超过2个字,且高压在束流调整中因有反馈稳压电路的作用不会变动。扫描均匀、稳定,使蒸发面平整,不会出现“扎坑”现象。 SHS:>V
`X]TIMc:Ad
扫描光斑大小可以任意调整,形状为方型,可根据用户镀膜工艺要求,蒸镀高料和低料调整电子枪扫描光斑大小存储在工控机内,在镀膜时自动提取扫描方式,实现自动镀膜。有存储扫描方式15种, X9C)FS