电子枪主要技术指标: Q'Q^K
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1、 电子束偏转角:270°; $?7}4u,
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2、 高压输出:-4KV ~ -10KV;输出稳定性小于±2%;纹波小于±5%; @?z*:
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3、 发射电流:0 ~ 1000mA(10KV时),稳定性±2%; (URWicaB
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4、 最大输出功率:10KW; SJL?(S*
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5、 灯丝电压:8V NcdOzx>
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6、 电子溯流变化率:±3% 6B&':N98
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7、 可以使用的真空度:7x10-2~5x10-5Pa A^G%8 )\
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8、 XY位置移动: ±20mm r@ ]{`qA
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9、 XY扫描宽度: ±20mm rZ<@MV|d
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10、X扫描频率:50Hz Y扫描频率:500Hz Bc$t`PI
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此电子枪工作稳定,运行可靠,采用日本技术和进口元件,枪头为开放式,电子束偏转靠的是永磁铁,枪体关键部件采用进口原材料。开放式结构可以安装任意多穴位、任意大直径的坩埚,使用户在选择时非常方便。束流和高压均是双路反馈控制,以确保束流和高压具有高稳定性。束流和高压的稳定度远超过上述的指标,数字仪表在全量程范围内束流、高压变动不超过2个字,且高压在束流调整中因有反馈稳压电路的作用不会变动。扫描均匀、稳定,使蒸发面平整,不会出现“扎坑”现象。 /S%{`F=
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扫描光斑大小可以任意调整,形状为方型,可根据用户镀膜工艺要求,蒸镀高料和低料调整电子枪扫描光斑大小存储在工控机内,在镀膜时自动提取扫描方式,实现自动镀膜。有存储扫描方式15种, v#F.FK