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测量系统 i,;a( Sy4 应用示例简述 @D["#pe,} 1. 系统说明 S,|ZCl>+ 光源 "7fEL:|j — 氙气灯(部分相干白光) 1bz^$2/k 组件 ^v5]Aq~X — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,平面反射镜,待测样品 X16O9qsh 探测器 Nv0a]Am — 强度分布表现出不同的干涉效应 DIP%*b#l$\ 建模/设计 T.QJ#vKO0 — 光线追迹:初始系统概览 r.u\qPT& — 几何场追迹Plus(GFT+): |
h "$ 部分相干白光会减少干涉条纹的对比度 it>Bf; 扫描样品的高度轮廓时光强会发生变化 Ma{@b$> jL)Y' 2. 系统说明 e&A3=a~\s 参考光路 4!3<[J;N;  f]sR4mhO 3. 建模/设计结果 Bn.R,B0PL W4#DeT n0K+/}m 4. 总结 ]m&Ss 迈克尔逊干涉仪装置白光干涉图案的研究以及作为高度扫描装置的应用 t\2-7Ohj6 1. 仿真 03 iy[~Y2 以光线追迹对干涉仪仿真。 ,'<NyA>< 2. 计算 TZn5s~t 采用几何场追迹Plus引擎以计算干涉图样。 5&A' +] 3. 研究 "9X(.v0ze 测绘扫描仪的仿真和样本高度轮廓的测量 DP *$@5 .;U?%t_7 利用VirtualLab软件可对迈克尔逊干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 5yJ~ q I@Yk &aU 应用示例详细内容 *Br
}U 系统参数 s/3sOb}sA q)@;8Z=_c 1. 仿真任务:迈克尔逊干涉仪 Gw6Odj .W9
*- 通过使用这种干涉仪装置,可测量两光束间的相对光程差。 1 K^-tms wT3D9N. 事实上,结合白光光源的有限相干长度可以研究样品的高度轮廓(轮廓扫描干涉仪)。 *ni0. eH*i_g' 2. 参数:光源 ht+wi5b p Zxx 39~WP$GM 为仿真部分相干光,采用一个白光光源(氙气灯)。 t82*rCIB{ 应用氙气灯用于模仿太阳光。 u^2/:L 这种气体放电灯的辐射的光谱与黑体极其相似。 1?"Zrd 由于41个波长,光谱的形状是离散的,并具有相应的振幅。 R+U*]5~R 由于输出区域较小,氙气灯可视为点光源,并输出近似球面波。 ojJua c4 a>y e %rl<%%T#.M 3. 参数:消色差准直透镜 3+C;zDKa ={p< |