[讨论]镀膜稳定性的讨论1-充氧 [复制链接]

首先声明一下，在这里表达的只是个人看法，并不一定有道理。 x7$ax79ly  
关于镀膜，大家都追求的是镀膜的连续性和稳定性。 ;4kT?3$l  
甚至为了稳定性，一些镀膜机厂家宁可牺牲性能。 W.[BPR  
比如说镀膜过程中使用APC充氧： 6tm\L  
很多人认为APC充氧只是为了给类似于TiO2这些易失氧膜料进行补氧。 S{:Cu}o  
其实不然。使用离子源的情况下，氧其实是足够的。 U=m=1FYaG  
APC充氧还有一个重要的目的，维持镀膜环境的稳定性。 Ep ">v>"  
APC是自动压力控制的英文缩写，它能起到稳定真空腔体真空度的作用。 (Ilsk{aB;A  
vpLMhf`  
在真空中，有个平均自由程的概念，一个粒子平均运动多远才能和其他粒子碰撞。 doLNz4W  
真空度越高，平均自由程越长，电子枪和离子源发出来原子或者离子就会更多的到达基板表面。 yU_9a[$V  
但是随着腔体的逐渐变脏，镀膜时候的真空度会变差，到达基板的原子和离子就会变少。 >| m.?{^  
一般会表现为外圈和内圈的分布变化，还有折射率的变化。 ]w[ThHRJ  
为了让分布和折射率稳定，在镀膜过程中使用APC是个解决的办法。 6fGK(
r  
(U9a@1  
APC充氧口（也有充氮，充其他气体的）的位置也很重要。 3U;1D2"AE  
如果是补氧和维持真空度兼而有之的，一般充氧口放在底板的中心位置。 e U;jP]FA  
如果有其他特殊原因（比如说工艺和外观的要求），会有在伞圈下方100mm处放置一个充氧环， M-Sv1ZLh  
均匀开孔以便于均匀充氧。

镀钛开APC产品很容易发白，镀钽没必要充APC，所以我选择不开

谢谢分享

jzdxzw:大佬，扩散泵返油一般怎么去排查呢？或者说有设备/产品哪些异常的现象 ]]y[t|6  
 (2023-05-19 16:06)  iNLDl~uU  

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取掉百叶窗，进入高真空室查看高阀周围是否存在有漏油、渗油迹象？设备检查 Wr#~GFg  
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产品 '!@A}&]  
膜层脱落。干拉/水煮百格NG

取掉百叶窗，进入高真空室查看高阀周围是否存在有漏油、渗油迹象？设备检查 %ET # z!  
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产品 G<fS(q  
膜层脱落。干拉/水煮百格NG

大佬，扩散泵返油一般怎么去排查呢？或者说有设备/产品哪些异常的现象 )*W=GY*  

支持楼主！

谢谢分享 m^'~&!ba  

coldking:我都關掉鍍膜,因為NBPF蒸鍍機開了鍍膜DWDM鍍不出來
 (2023-04-04 15:28)  Pa3{Ds  

0K&_D)  
光驰机做的比较高，镀膜距离比较长，没有充氧的余量了。

coldking:我都關掉鍍膜,因為NBPF蒸鍍機開了鍍膜DWDM鍍不出來
 (2023-04-04 15:28)  !x`;>0  

);0<Odw%.  
APC不開也是可以,但是對於開或不開我還是沒弄明白