[讨论]镀膜稳定性的讨论1-充氧 [复制链接]

首先声明一下，在这里表达的只是个人看法，并不一定有道理。 +z;*r8d<X  
关于镀膜，大家都追求的是镀膜的连续性和稳定性。 @](vFb  
甚至为了稳定性，一些镀膜机厂家宁可牺牲性能。 '_c/
CNs  
比如说镀膜过程中使用APC充氧： .+:iAnf  
很多人认为APC充氧只是为了给类似于TiO2这些易失氧膜料进行补氧。 9j2t|D4uT  
其实不然。使用离子源的情况下，氧其实是足够的。 :j&enP5R(q  
APC充氧还有一个重要的目的，维持镀膜环境的稳定性。 t13V>9to  
APC是自动压力控制的英文缩写，它能起到稳定真空腔体真空度的作用。 \g}]u(zg%  
y7HFmGM  
在真空中，有个平均自由程的概念，一个粒子平均运动多远才能和其他粒子碰撞。 f?5>V   
真空度越高，平均自由程越长，电子枪和离子源发出来原子或者离子就会更多的到达基板表面。 6 U.Jaai:  
但是随着腔体的逐渐变脏，镀膜时候的真空度会变差，到达基板的原子和离子就会变少。 9?l a5  
一般会表现为外圈和内圈的分布变化，还有折射率的变化。 5u$.!l8Nl  
为了让分布和折射率稳定，在镀膜过程中使用APC是个解决的办法。 R"t#dG]1t  
h@%Xy(/m'  
APC充氧口（也有充氮，充其他气体的）的位置也很重要。 s#X/ F  
如果是补氧和维持真空度兼而有之的，一般充氧口放在底板的中心位置。 )iN;1>  
如果有其他特殊原因（比如说工艺和外观的要求），会有在伞圈下方100mm处放置一个充氧环， CS[]T9|_  
均匀开孔以便于均匀充氧。

补充几个和真空相关的因素： l(>6Yq  
1，真空计污染：皮拉尼真空计容易受污染， !5*VBE\  
所以清扫机台的时候最好拆掉。清扫完再装上。 dseI~}  
j yHa}OT  
2，扩散泵返油：使用劣质回收油，或者扩散泵口冷却板冷却不好的时候， f{9+,z   
扩散泵容易返油，返油也会造成脱膜，膜质不好，分布问题。

我都關掉鍍膜,因為NBPF蒸鍍機開了鍍膜DWDM鍍不出來 opa/
+V3E4  
wv\X  
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coldking:我都關掉鍍膜,因為NBPF蒸鍍機開了鍍膜DWDM鍍不出來
 (2023-04-04 15:28)  e=LrgRy+  

J`g5Qn@S  
APC不開也是可以,但是對於開或不開我還是沒弄明白

coldking:我都關掉鍍膜,因為NBPF蒸鍍機開了鍍膜DWDM鍍不出來
 (2023-04-04 15:28)  Um/l{:S  

emQc%wd{  
光驰机做的比较高，镀膜距离比较长，没有充氧的余量了。

谢谢分享 S\ak(
<X  

支持楼主！

大佬，扩散泵返油一般怎么去排查呢？或者说有设备/产品哪些异常的现象 ?6"U('y>n  

取掉百叶窗，进入高真空室查看高阀周围是否存在有漏油、渗油迹象？设备检查 {oAD;m`  
\0Xq&CG=E  
产品 Mk9J~'C_  
膜层脱落。干拉/水煮百格NG

jzdxzw:大佬，扩散泵返油一般怎么去排查呢？或者说有设备/产品哪些异常的现象 vqVwo\oEdU  
 (2023-05-19 16:06)  pI.8Ip_r  

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取掉百叶窗，进入高真空室查看高阀周围是否存在有漏油、渗油迹象？设备检查 <eS+3,  
}fef*>>}  
产品 aMT=pGU  
膜层脱落。干拉/水煮百格NG