[讨论]镀膜稳定性的讨论1-充氧 [复制链接]

首先声明一下，在这里表达的只是个人看法，并不一定有道理。 )',R[|<  
关于镀膜，大家都追求的是镀膜的连续性和稳定性。 +tB=OwU%0  
甚至为了稳定性，一些镀膜机厂家宁可牺牲性能。 "%)qRe  
比如说镀膜过程中使用APC充氧： "2!&5s,1p  
很多人认为APC充氧只是为了给类似于TiO2这些易失氧膜料进行补氧。 Z<oaK  
其实不然。使用离子源的情况下，氧其实是足够的。 aNsBcov3O  
APC充氧还有一个重要的目的，维持镀膜环境的稳定性。 n>z9K')  
APC是自动压力控制的英文缩写，它能起到稳定真空腔体真空度的作用。 Nd4f^Y  
EZgwF=lO  
在真空中，有个平均自由程的概念，一个粒子平均运动多远才能和其他粒子碰撞。 #-rH1h3*q  
真空度越高，平均自由程越长，电子枪和离子源发出来原子或者离子就会更多的到达基板表面。 <(#(hDwy  
但是随着腔体的逐渐变脏，镀膜时候的真空度会变差，到达基板的原子和离子就会变少。 _!#@@O0p/h  
一般会表现为外圈和内圈的分布变化，还有折射率的变化。 _=>He=v/  
为了让分布和折射率稳定，在镀膜过程中使用APC是个解决的办法。 `K"L /I9  
3F"lXguS  
APC充氧口（也有充氮，充其他气体的）的位置也很重要。 e v}S+!|U  
如果是补氧和维持真空度兼而有之的，一般充氧口放在底板的中心位置。 'B$
yo]  
如果有其他特殊原因（比如说工艺和外观的要求），会有在伞圈下方100mm处放置一个充氧环， cbjs9bu  
均匀开孔以便于均匀充氧。

补充几个和真空相关的因素： Ha#=(9.  
1，真空计污染：皮拉尼真空计容易受污染， pp?D7S  
所以清扫机台的时候最好拆掉。清扫完再装上。 2YL?,uLS  
qw301]y  
2，扩散泵返油：使用劣质回收油，或者扩散泵口冷却板冷却不好的时候， E,Z$pKL?  
扩散泵容易返油，返油也会造成脱膜，膜质不好，分布问题。

我都關掉鍍膜,因為NBPF蒸鍍機開了鍍膜DWDM鍍不出來 1q\\5A<V  

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coldking:我都關掉鍍膜,因為NBPF蒸鍍機開了鍍膜DWDM鍍不出來
 (2023-04-04 15:28)  ,KZ~?3$yj  

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w-M9z  
APC不開也是可以,但是對於開或不開我還是沒弄明白

coldking:我都關掉鍍膜,因為NBPF蒸鍍機開了鍍膜DWDM鍍不出來
 (2023-04-04 15:28)  nFCC St$  

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f$a  
光驰机做的比较高，镀膜距离比较长，没有充氧的余量了。

谢谢分享 6@!`]tSCK  

支持楼主！

大佬，扩散泵返油一般怎么去排查呢？或者说有设备/产品哪些异常的现象 A)!*]o>U  

取掉百叶窗，进入高真空室查看高阀周围是否存在有漏油、渗油迹象？设备检查 
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产品 \8cx6 G'  
膜层脱落。干拉/水煮百格NG

jzdxzw:大佬，扩散泵返油一般怎么去排查呢？或者说有设备/产品哪些异常的现象 TLH1>pY&  
 (2023-05-19 16:06)  Bzf^ivT3L  

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取掉百叶窗，进入高真空室查看高阀周围是否存在有漏油、渗油迹象？设备检查 {Sh ;(.u^  
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产品 E1 2uZ$X  
膜层脱落。干拉/水煮百格NG