[讨论]镀膜稳定性的讨论1-充氧 [复制链接]

首先声明一下，在这里表达的只是个人看法，并不一定有道理。 =2)$|KC  
关于镀膜，大家都追求的是镀膜的连续性和稳定性。 wp GnS  
甚至为了稳定性，一些镀膜机厂家宁可牺牲性能。 M9jo<+  
比如说镀膜过程中使用APC充氧： s=Q*|  
很多人认为APC充氧只是为了给类似于TiO2这些易失氧膜料进行补氧。 +C;#Qf  
其实不然。使用离子源的情况下，氧其实是足够的。 Vyq<T(5  
APC充氧还有一个重要的目的，维持镀膜环境的稳定性。 *k]S{]Y  
APC是自动压力控制的英文缩写，它能起到稳定真空腔体真空度的作用。 XoiYtx53  
$AhX@|?z  
在真空中，有个平均自由程的概念，一个粒子平均运动多远才能和其他粒子碰撞。 7^TXlWn^G  
真空度越高，平均自由程越长，电子枪和离子源发出来原子或者离子就会更多的到达基板表面。 3[i!2iL.  
但是随着腔体的逐渐变脏，镀膜时候的真空度会变差，到达基板的原子和离子就会变少。 3udIe$.Q  
一般会表现为外圈和内圈的分布变化，还有折射率的变化。 Ty:Ir  
为了让分布和折射率稳定，在镀膜过程中使用APC是个解决的办法。 ~dr1Qi#j?  
y-q?pqt  
APC充氧口（也有充氮，充其他气体的）的位置也很重要。 SFgIY]  
如果是补氧和维持真空度兼而有之的，一般充氧口放在底板的中心位置。 L[r0UXYLV  
如果有其他特殊原因（比如说工艺和外观的要求），会有在伞圈下方100mm处放置一个充氧环， U7%pOpO!  
均匀开孔以便于均匀充氧。

补充几个和真空相关的因素： `e=n(D  
1，真空计污染：皮拉尼真空计容易受污染， =\7p
0cq&*  
所以清扫机台的时候最好拆掉。清扫完再装上。 CWsv#XOg]  
JJ=is}S|  
2，扩散泵返油：使用劣质回收油，或者扩散泵口冷却板冷却不好的时候， zP'pfBgbJW  
扩散泵容易返油，返油也会造成脱膜，膜质不好，分布问题。

我都關掉鍍膜,因為NBPF蒸鍍機開了鍍膜DWDM鍍不出來 <7] Y\{+  
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coldking:我都關掉鍍膜,因為NBPF蒸鍍機開了鍍膜DWDM鍍不出來
 (2023-04-04 15:28)  ovFfTP<3V  

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APC不開也是可以,但是對於開或不開我還是沒弄明白

coldking:我都關掉鍍膜,因為NBPF蒸鍍機開了鍍膜DWDM鍍不出來
 (2023-04-04 15:28)  C%"@|01cO  

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光驰机做的比较高，镀膜距离比较长，没有充氧的余量了。

谢谢分享 Sob+l'U$  

支持楼主！

大佬，扩散泵返油一般怎么去排查呢？或者说有设备/产品哪些异常的现象 &E~7ty'  

取掉百叶窗，进入高真空室查看高阀周围是否存在有漏油、渗油迹象？设备检查 L/shF}<  
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产品 ,PnEDQ|l  
膜层脱落。干拉/水煮百格NG

jzdxzw:大佬，扩散泵返油一般怎么去排查呢？或者说有设备/产品哪些异常的现象 jA6:-Gz  
 (2023-05-19 16:06)  kfn5y#6NZ  

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取掉百叶窗，进入高真空室查看高阀周围是否存在有漏油、渗油迹象？设备检查 !Y5O3^I=u  
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产品 G|.>p<q  
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