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    [分享]Ansys Zemax | 如何使用 Zenike 系数对黑盒光学系统进行建模 [复制链接]

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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2023-04-03
    通常需要在设计中表示光学系统,即使您没有详细的处方数据,如曲率半径、眼镜等。本文展示了如何使用 Zernike 系数来描述系统的波前像差,并在无法使用 Zemax 黑匣子表面文件的情况下生成光学系统的简单但准确的表示。如果您依赖于使用光学系统测量的实验数据,但您无法获得其处方数据,则通常会出现这种情况。(联系我们获取文章附件) y!?l;xMS  
    _oJq32  
    介绍 P2;I0 !  
    jPf*qe>U  
    有时需要表示光学子系统,而不详细了解其处方。对于一阶计算,近轴透镜就足够了,但是当也需要波前像差时,可以使用Zernike相位系数来提供光学系统产生的波前的精确模型。 uM<6][^`  
    -O-qEQd  
    X#*|_(^  
    OpticStudio支持全面的黑盒功能,建议用于此目的。但是,如果无法提供 Zemax 黑匣子文件,则可以使用以下过程。 yPqZ ,  
    .OC{,f+  
    #]!0$z|Z  
    泽尼克相位数据 &18CCp\3)c  
    XABI2Ex  
    如果您想在不透露处方数据的情况下将像差数据分发给客户,则可以由 OpticStudio 生成这些 Zernike 相位系数,或者如果您正在测量没有处方数据的镜头,则可以通过干涉仪生成。根据您的干涉仪软件,您可能已经拥有OpticStudio Zernike格式的数据,网格相位数据或.INT文件。OpticStudio可以处理所有这些,但在本文中,我们将仅使用Zernike数据。 <H)I06];  
    @fWmz,Ngl  
    dT9!gNvQ  
    Zernike相位数据表示光学系统在特定场和特定波长下性能的测量。因为有关玻璃、曲率半径、非球面系数等的信息。不是 Zernike 数据的一部分,无法将 Zernike 数据缩放到不同的场或波长。因此,对于要模拟性能的每个(场、波长)对,您将需要一组 Zernike 相位数据。这些可以通过为每个(场,波长)组合提供一个单独的文件或(更有可能)为每个(场,波长)对提供单独的配置来输入OpticStudio。 S@a#,,\[  
    v8xNtUxN  
    有一个重要的例外:当被建模的系统是全反射系统时,可以使用Zernike标准SAG表面来模拟给定场点的所有波长下的性能。下一期将详细介绍此特殊情况。
    N{<=s]I%x  
    &[hq !v  
    起始设计
    R~],5_|  
    duKR;5:  
    本文中使用的所有示例文件都包含在一个 zip 文件中,可以从本文顶部的链接下载该文件。我们将要看的第一个文件是“Cooke one field, one wavelength.zmx”,它基于 OpticStudio 分发的 Cooke 三元组示例文件。顾名思义,此文件基于单个(场,波长)对。 t3)nG8> )  
    '<C I^5^  
    HV??B :  
    它的波前看起来像这样:
    jK^'s6i#  
    yjbqby7  
    \HB4ikl  
    它的光斑大小是这样的: |*im$[g=-  
    ^p0BeSRiy;  
    / ` 7p'i  
    TB gD"i-  
    现在,泽尼克系数是描述光学系统产生的波前误差的紧凑方法。为了产生“黑匣子”模型,我们必须首先生成具有相同一阶特性的近轴光学系统,然后用Zernike数据像差该近轴系统产生的波前。 Et=N`k _gO  
    qxsK-8KT<  
    我们需要的关键近轴数据是出口瞳孔位置和出口瞳孔直径。所有波前数据都是在出射瞳孔中测量的,因此我们的黑匣子系统必须具有相同的瞳孔数据。对于此文件,瞳孔数据如下所示:
    iG1vy'J#o  
    出口瞳孔直径 = 10.2337 mm 0~\Dd0W/:`  
    出口瞳孔位置 = -50.9613 mm _tg&_P+kV  
    ?[\(i)]  
    近轴当量 &r6VF/  
    0.+"K}  
    打开文件“Paraxis Equivalent.zmx”。它模拟了相同的系统,只有一个近轴透镜表面: s wdW70  
    MEQ :[;1  
    #KonVM(`  
    DdTTWp/  
    请注意以下几点: hN6j5.x%  
    ·它使用与原始设计相同的场和波长。 {@u;F2?  
    ·其入射瞳孔直径设置为与原始系统的出射瞳孔直径相同的值。在此文件中,入射瞳孔、停止曲面和出射瞳孔都位于同一位置。 xFpMn}CD  
    ·近轴透镜的焦距和到图像表面的厚度均设置为等于原始文件的-1*出瞳位置。-1因子是因为EXPP是从图像到瞳孔测量的,但表面厚度是从瞳孔到图像的距离,因此需要改变符号。 #L{QnV.3  
    ·系统具有与原始系统相同的一阶属性。
    `":ch9rK  
    38dXfl  
    &P%3'c}G  
    该系统的出瞳与原始系统的出瞳大小完全相同,位置相同。为了在近轴透镜输出上添加像差,我们在近轴透镜之后使用Zernike标准相位表面。我们的目标是获取原始透镜的泽尼克系数,并将它们添加到近轴等效透镜的泽尼克表面上。 L[d 7@  
    W^W^5-'"D,  
    `/'Hq9$F<"  
    zA&lJD $0  
    wwS{V  
    在镜头之间复制泽尼克数据 vMXS%Q  
    Y?2I /  
    返回“Cooke One Field One Wavelength.zmx”文件,然后单击“分析…波…泽尼克标准系数”。OpticStudio计算系统的波前,然后拟合一系列Zernike多项式。 t)LD-%F  
    +k'5W1e  
    q@ >s#  
    波前的采样和Zernike项的数量都可以由用户通过“设置”对话框定义。确定波前是否充分采样或泽尼克项数量的关键参数是RMS拟合误差和最大拟合误差。此设计使用采样和项数的默认参数,可提供
    FrO)3 1z  
    =Uta5$\a)  
    hbhh m  
    8? 4j-  
    K+D`U6&  
    这意味着,当我们从从泽尼克系数重建的波前中减去真实的波前时,误差是百万分之一波的数量级。这已经足够接近了!但是,一般来说,您可能需要调整波前采样和最大 Zernike 项才能达到可接受的拟合。
    pq6}q($Rk  
    8oG0tX3i  
    我们现在需要将泽尼克系数数据从这个设计转移到近轴等效设计中。这可以通过打印出 Zernike 数据并重新键入来完成,但这很乏味。对于宏来说,这是一个很好的工作。
    1O1/P,u+  
    , e{kC  
    以下宏(也包含在文章附件中),称为Zernike Readout.zpl,从此镜头获取Zernike数据,并将其以Tools…在额外数据编辑器上导入数据可以读取。它经历的步骤如下: 2l#Ogn`k  
    BF2,E<^A  
    K vC`6  
    首先,它定义了它需要的所有变量(L1-19)。 udDhJ?  
    ! This macro writes out the Zernike standard coefficients 15_OtK  
    ! of a lens file in a format that can be directly imported mvI[=e*  
    ! into the Extra data Parameters of a Zernike Standard Phase surface Au$|@  
    ! First define the variables we need ^c}Z$V  
    ! Enter whatever values are appropriate RF 4u\ \  
    ! Use INPUT statements if you prefer ^WP`;e  
    max_order = 37 # can be up to 231 F_=RY ]  
    sampling = 2 #sampling is 1 for 32×32, 2 for 64×64 etc o~,dkV  
    field = 1 RV5X0  
    wavelength = 1 Lc6Wj'G G  
    zerntype = 1 # Get standard, not fringe or Annular coefficients zCT Wi  
    epsilon = 0 # only used for Annular Zernike coefficients 7_taqcj  
    reference = 0 # reference to the chief ray h8oG5|Y  
    vector = 1 # use the built-in VEC1 array to store the data <Brq7:n|  
    output$ = “zernike.dat” 3hr&p{/  
    path$ = $PATHNAME() # save the data in the same location as the file we are using OWFLw  
    file$ = path$ + “\” + output$ M"2Tuwz  
    PRINT “Writing data to “, file$ gvO}u2.:  
    U[=VW0  
    (请注意,采样和最大 Zernike 项应设置为您用于上述 Zernike 分析的值。然后,宏获取出口瞳孔直径和 Zernike 数据 (L21-27):
    c4oQ4  
    ! Then get the Exit Pupil Diameter. Use VEC1 to store the data gmy$_4+6o  
    GETSYSTEMDATA 1 *,~d!Fc  
    EXPD = VEC1(13) # see the manual for the data structure v' 7,(.E  
    normalization_radius = EXPD/2 m UpLD+-j  
    ! Then get the Zernike coefficients up to the maximum required order
     2&O!<C j  
    GETZERNIKE max_order, wavelength, field, sampling, vector, zerntype, epsilon, reference " 4#V$V  
    1q<BYc+z  
    请注意,泽尼克曲面的归一化半径是出口瞳孔直径的一半。然后,宏将数据打印到 .DAT 文件的正确格式,以便 Zernike 标准相表面读取它 (L29-43):
    m5SJB]a/  
    zRdL-u%(#  
    ! Then write them out to file in the format needed for the Import Tool
    <\GP\G  
    OUTPUT file$ `3^ *K/K\  
    FORMAT 1 INT D)XF@z;  
    PRINT max_order EA9`-xs|  
    FORMAT 9.8 >6Y\CixN  
    PRINT normalization_radius y^tuybpZY<  
    FOR order = 1, max_order, 1 @FKNB.>  
    z_term = order + 8 # offset to the correct location in the data structure, see manual! %geiJ z  
    PRINT VEC1(z_term) ";yCo0*  
    NEXT order "tB"C6b  
    OUTPUT SCREEN -! Hn,93  
    ! End \Q<c Y<  
    PRINT “Program End” 08{0i,Fs  
    END W"+*%x  
    Enn7p9&  
    Zernike 数据输入到“Zernike 标准相”曲面的“参数”列中,如下所示:
    e5_a.c  
    ~~k_A|&  
    6Y0k}+j|>E  
    将此宏放入 {Zemax}/宏文件夹中,单击编程…ZPL宏…刷新列表,以便宏显示在菜单列表中,然后运行它。它将在与原始OpticStudio文件相同的文件夹中创建一个名为“zernike.dat”的文件。如果在记事本中打开此文件,您将看到:
    6U6,Wu  
    $^?"/;8P5  
    %N_5p'W  
    }z1aKa9  
    6lOT5C eJ"  
    此文件包含泽尼克标准相表面所需的所有数据。第一个数字是 Zernike 项的数量,然后是归一化半径,然后是每个 Zernike 项。额外数据编辑器的导入工具可以直接读取此文件。 0P^RciC f  
    xGTVC=q  
    =.O8G=;DOA  
    返回到近轴等效透镜文件。在 Surface 2 属性的“导入”选项卡中浏览并打开 zernike.dat 文件: Ql^I$5&  
    6gV-u~j[#  
    J3gJSRT@P  
    Meo(|U  
    oBiJiPE=`  
    按“导入”按钮,成功导入数据后将出现Zemax消息框:
    [ZU6z?Pf  
    ec+&K?T  
    ~wf&78  
    #4iSQ$0  
    hRTw8-wy:  
    波前错误现在显示: }Tf~)x  
    &?flH;  
    /]m5HW(P7K  
    和点图显示 SYd4 3P A  
    42E]&=Cet  
    b HRH2Ss  
    WG>Nm89  
    ;+] mcgN!  
    此文件生成与原始文件相同的光线追踪结果!在随附的zip中,文件“Zernike Equivalent.zmx”显示了完成的系统。此外,文件“Direct Comparison.zmx”将同一文件的原始版本和Zernike版本显示为两种不同的配置。这允许在文件的两个版本之间轻松进行比较。
    G(W/.*  
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