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    [分享]Ansys Zemax | 如何使用 Zenike 系数对黑盒光学系统进行建模 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-04-03
    通常需要在设计中表示光学系统,即使您没有详细的处方数据,如曲率半径、眼镜等。本文展示了如何使用 Zernike 系数来描述系统的波前像差,并在无法使用 Zemax 黑匣子表面文件的情况下生成光学系统的简单但准确的表示。如果您依赖于使用光学系统测量的实验数据,但您无法获得其处方数据,则通常会出现这种情况。(联系我们获取文章附件) rJM/.;Ag  
     ?8/T#ox  
    介绍 "?M)2,:A  
    Y6E0-bL@Fe  
    有时需要表示光学子系统,而不详细了解其处方。对于一阶计算,近轴透镜就足够了,但是当也需要波前像差时,可以使用Zernike相位系数来提供光学系统产生的波前的精确模型。 V<i_YLYmJe  
    Y-s6Z \  
    /8? u2 q  
    OpticStudio支持全面的黑盒功能,建议用于此目的。但是,如果无法提供 Zemax 黑匣子文件,则可以使用以下过程。 6QYHPz  
    96d&vm~m1  
    Djr/!j  
    泽尼克相位数据 $vLGX>H  
    q&kG>  
    如果您想在不透露处方数据的情况下将像差数据分发给客户,则可以由 OpticStudio 生成这些 Zernike 相位系数,或者如果您正在测量没有处方数据的镜头,则可以通过干涉仪生成。根据您的干涉仪软件,您可能已经拥有OpticStudio Zernike格式的数据,网格相位数据或.INT文件。OpticStudio可以处理所有这些,但在本文中,我们将仅使用Zernike数据。 _B?Hw[cc  
    pt%*Y.)az  
    +Ym#!"  
    Zernike相位数据表示光学系统在特定场和特定波长下性能的测量。因为有关玻璃、曲率半径、非球面系数等的信息。不是 Zernike 数据的一部分,无法将 Zernike 数据缩放到不同的场或波长。因此,对于要模拟性能的每个(场、波长)对,您将需要一组 Zernike 相位数据。这些可以通过为每个(场,波长)组合提供一个单独的文件或(更有可能)为每个(场,波长)对提供单独的配置来输入OpticStudio。 Ul Mc8z  
    aT~=<rEDy  
    有一个重要的例外:当被建模的系统是全反射系统时,可以使用Zernike标准SAG表面来模拟给定场点的所有波长下的性能。下一期将详细介绍此特殊情况。
    )B9/P>c  
    >H,5MM!  
    起始设计
    FmhT^  
    @x@wo9<Fc  
    本文中使用的所有示例文件都包含在一个 zip 文件中,可以从本文顶部的链接下载该文件。我们将要看的第一个文件是“Cooke one field, one wavelength.zmx”,它基于 OpticStudio 分发的 Cooke 三元组示例文件。顾名思义,此文件基于单个(场,波长)对。 emMk*l,  
    v:gdG|n"  
    "H\R*\-0  
    它的波前看起来像这样:
    yTR5*{?j  
    pM-mZ/?  
    ~hb;kc3  
    它的光斑大小是这样的: .^wBv 'Y  
    "#.L\p{Zy  
    A\})H  
    2t;3_C  
    现在,泽尼克系数是描述光学系统产生的波前误差的紧凑方法。为了产生“黑匣子”模型,我们必须首先生成具有相同一阶特性的近轴光学系统,然后用Zernike数据像差该近轴系统产生的波前。 E^B3MyS^^  
    b=kY9!GN,v  
    我们需要的关键近轴数据是出口瞳孔位置和出口瞳孔直径。所有波前数据都是在出射瞳孔中测量的,因此我们的黑匣子系统必须具有相同的瞳孔数据。对于此文件,瞳孔数据如下所示:
    +O4//FC-"  
    出口瞳孔直径 = 10.2337 mm T[- %b9h>  
    出口瞳孔位置 = -50.9613 mm Dn48?A[v  
    6t{G{ ]  
    近轴当量 p+;;01Z+_  
    o0_H(j?  
    打开文件“Paraxis Equivalent.zmx”。它模拟了相同的系统,只有一个近轴透镜表面: Zm vtUma  
    tN;^{O-(V  
     N8)]d  
    -FS! v^  
    请注意以下几点: e\._M$l  
    ·它使用与原始设计相同的场和波长。 `-g$ 0lm7  
    ·其入射瞳孔直径设置为与原始系统的出射瞳孔直径相同的值。在此文件中,入射瞳孔、停止曲面和出射瞳孔都位于同一位置。 cv_t2m  
    ·近轴透镜的焦距和到图像表面的厚度均设置为等于原始文件的-1*出瞳位置。-1因子是因为EXPP是从图像到瞳孔测量的,但表面厚度是从瞳孔到图像的距离,因此需要改变符号。 e> Dux  
    ·系统具有与原始系统相同的一阶属性。
    y/>Nx7C0=2  
    J4Ca0Ag  
    }_D{|! !!T  
    该系统的出瞳与原始系统的出瞳大小完全相同,位置相同。为了在近轴透镜输出上添加像差,我们在近轴透镜之后使用Zernike标准相位表面。我们的目标是获取原始透镜的泽尼克系数,并将它们添加到近轴等效透镜的泽尼克表面上。 N}Or+:"O:q  
    P6)d#M  
    \Rw^&;\1  
    P! P` MX  
    R@KWiV  
    在镜头之间复制泽尼克数据 JyePI:B&)j  
    p\}!uS4 (  
    返回“Cooke One Field One Wavelength.zmx”文件,然后单击“分析…波…泽尼克标准系数”。OpticStudio计算系统的波前,然后拟合一系列Zernike多项式。 (ZP e{;L.  
    2RdpVNx\y  
    s >k4G  
    波前的采样和Zernike项的数量都可以由用户通过“设置”对话框定义。确定波前是否充分采样或泽尼克项数量的关键参数是RMS拟合误差和最大拟合误差。此设计使用采样和项数的默认参数,可提供
    hyY^$p+  
    "?6R"Vk?:  
    . |`)k  
    I7C+XUQkQ  
    |M EJ)LE7  
    这意味着,当我们从从泽尼克系数重建的波前中减去真实的波前时,误差是百万分之一波的数量级。这已经足够接近了!但是,一般来说,您可能需要调整波前采样和最大 Zernike 项才能达到可接受的拟合。
    hVdGxT]6  
    !Pu7%nV.  
    我们现在需要将泽尼克系数数据从这个设计转移到近轴等效设计中。这可以通过打印出 Zernike 数据并重新键入来完成,但这很乏味。对于宏来说,这是一个很好的工作。
    -|P7e  
    c^R "g)gr  
    以下宏(也包含在文章附件中),称为Zernike Readout.zpl,从此镜头获取Zernike数据,并将其以Tools…在额外数据编辑器上导入数据可以读取。它经历的步骤如下: Pr,C)uch  
    X*a7`aL  
    %;#9lkOXWH  
    首先,它定义了它需要的所有变量(L1-19)。 N6v*X+4JH  
    ! This macro writes out the Zernike standard coefficients #fF D|q  
    ! of a lens file in a format that can be directly imported eGUe#(I /  
    ! into the Extra data Parameters of a Zernike Standard Phase surface qv`:o `  
    ! First define the variables we need w$`u_P|@E:  
    ! Enter whatever values are appropriate #2+hu^Q-  
    ! Use INPUT statements if you prefer 5a/3nsup5  
    max_order = 37 # can be up to 231 xOZvQ\%  
    sampling = 2 #sampling is 1 for 32×32, 2 for 64×64 etc 7o-}86x#  
    field = 1 wKJK!P  
    wavelength = 1 PAiVUGp5[  
    zerntype = 1 # Get standard, not fringe or Annular coefficients G }M!  
    epsilon = 0 # only used for Annular Zernike coefficients ]@qD4:  
    reference = 0 # reference to the chief ray oTA'=<W?D  
    vector = 1 # use the built-in VEC1 array to store the data nb@<UbabW}  
    output$ = “zernike.dat” P.~sNd oJ  
    path$ = $PATHNAME() # save the data in the same location as the file we are using G~NhBA9  
    file$ = path$ + “\” + output$ P d(n|t3[8  
    PRINT “Writing data to “, file$ Si|8xq$E;  
    {9hhfI#3_  
    (请注意,采样和最大 Zernike 项应设置为您用于上述 Zernike 分析的值。然后,宏获取出口瞳孔直径和 Zernike 数据 (L21-27):
    ">s0B5F7  
    ! Then get the Exit Pupil Diameter. Use VEC1 to store the data %Ip=3($Ku[  
    GETSYSTEMDATA 1 |\]pTA$2  
    EXPD = VEC1(13) # see the manual for the data structure eh*F/Gu  
    normalization_radius = EXPD/2 ltd'"J/r  
    ! Then get the Zernike coefficients up to the maximum required order
    eoPoG C  
    GETZERNIKE max_order, wavelength, field, sampling, vector, zerntype, epsilon, reference N]|U-fN\  
    +*RpOtss  
    请注意,泽尼克曲面的归一化半径是出口瞳孔直径的一半。然后,宏将数据打印到 .DAT 文件的正确格式,以便 Zernike 标准相表面读取它 (L29-43):
    e co=ia  
    o#IWH;ck.  
    ! Then write them out to file in the format needed for the Import Tool
    / `w'X/'VJ  
    OUTPUT file$ ND5E`Va5R  
    FORMAT 1 INT ) |hHbD^V  
    PRINT max_order 4;w# mzd  
    FORMAT 9.8 .|K\1qGW0  
    PRINT normalization_radius *1}vn%wvn  
    FOR order = 1, max_order, 1 !" : arK  
    z_term = order + 8 # offset to the correct location in the data structure, see manual! 6:\z8fYD  
    PRINT VEC1(z_term) T f^O(  
    NEXT order YGLR%PYv"  
    OUTPUT SCREEN 4W+nS v  
    ! End y)Lyo'`  
    PRINT “Program End” /h@rLJ)o>  
    END *tT5Zt/&Sr  
    Sq 2yQSd  
    Zernike 数据输入到“Zernike 标准相”曲面的“参数”列中,如下所示:
    N?Ss/by8Sg  
    =`%%*  
    ,@2d4eg 4  
    将此宏放入 {Zemax}/宏文件夹中,单击编程…ZPL宏…刷新列表,以便宏显示在菜单列表中,然后运行它。它将在与原始OpticStudio文件相同的文件夹中创建一个名为“zernike.dat”的文件。如果在记事本中打开此文件,您将看到:
    5xG/>f n  
    %P]-wBJw  
    5TdI  
    i)e)FhEY6  
    fGLOXbsA  
    此文件包含泽尼克标准相表面所需的所有数据。第一个数字是 Zernike 项的数量,然后是归一化半径,然后是每个 Zernike 项。额外数据编辑器的导入工具可以直接读取此文件。 E9[8th,t  
    F~O! J@4]  
    ;:gx;'dm5  
    返回到近轴等效透镜文件。在 Surface 2 属性的“导入”选项卡中浏览并打开 zernike.dat 文件: ?rV c}  
    SHPZXJ{  
    9a_(_g>S  
    Z8Clm:S  
    YJwz*@l  
    按“导入”按钮,成功导入数据后将出现Zemax消息框:
    6UJBE<ntj  
    -OP5v8c f  
    +<I1@C  
    B6vmBmN  
    d_Vwjv&@/"  
    波前错误现在显示: ^A$~8?f  
    >Y/1%Hp9  
    %x7l`.) N  
    和点图显示  ?hpk)Qu  
    **O4"+Xi8  
    yc5n   
    'C*NyHc  
    X]*W +  
    此文件生成与原始文件相同的光线追踪结果!在随附的zip中,文件“Zernike Equivalent.zmx”显示了完成的系统。此外,文件“Direct Comparison.zmx”将同一文件的原始版本和Zernike版本显示为两种不同的配置。这允许在文件的两个版本之间轻松进行比较。
    `o*g2fW!  
     
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