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    [分享]Ansys Zemax | 如何使用 Zenike 系数对黑盒光学系统进行建模 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-04-03
    通常需要在设计中表示光学系统,即使您没有详细的处方数据,如曲率半径、眼镜等。本文展示了如何使用 Zernike 系数来描述系统的波前像差,并在无法使用 Zemax 黑匣子表面文件的情况下生成光学系统的简单但准确的表示。如果您依赖于使用光学系统测量的实验数据,但您无法获得其处方数据,则通常会出现这种情况。(联系我们获取文章附件) W0+u)gDDz  
    /^NJ)9IB  
    介绍 8 `yB  
    0VG^GKmx  
    有时需要表示光学子系统,而不详细了解其处方。对于一阶计算,近轴透镜就足够了,但是当也需要波前像差时,可以使用Zernike相位系数来提供光学系统产生的波前的精确模型。 n2H&t>N  
    "ngSilH?D  
    kK08W3@&t  
    OpticStudio支持全面的黑盒功能,建议用于此目的。但是,如果无法提供 Zemax 黑匣子文件,则可以使用以下过程。 s-fKh`  
    wbo{JQ  
    '! #On/  
    泽尼克相位数据 7ucx6J]c  
    1mAUEQ!  
    如果您想在不透露处方数据的情况下将像差数据分发给客户,则可以由 OpticStudio 生成这些 Zernike 相位系数,或者如果您正在测量没有处方数据的镜头,则可以通过干涉仪生成。根据您的干涉仪软件,您可能已经拥有OpticStudio Zernike格式的数据,网格相位数据或.INT文件。OpticStudio可以处理所有这些,但在本文中,我们将仅使用Zernike数据。 p^}L  
    Z+OAs0}mV  
    0oXK&Z  
    Zernike相位数据表示光学系统在特定场和特定波长下性能的测量。因为有关玻璃、曲率半径、非球面系数等的信息。不是 Zernike 数据的一部分,无法将 Zernike 数据缩放到不同的场或波长。因此,对于要模拟性能的每个(场、波长)对,您将需要一组 Zernike 相位数据。这些可以通过为每个(场,波长)组合提供一个单独的文件或(更有可能)为每个(场,波长)对提供单独的配置来输入OpticStudio。 ~>lOl/n5  
    f;&` 9s| 1  
    有一个重要的例外:当被建模的系统是全反射系统时,可以使用Zernike标准SAG表面来模拟给定场点的所有波长下的性能。下一期将详细介绍此特殊情况。
    /YS@[\j4  
    -Cg`x=G;z  
    起始设计
    LNWqgIq  
    &9S8al 8"  
    本文中使用的所有示例文件都包含在一个 zip 文件中,可以从本文顶部的链接下载该文件。我们将要看的第一个文件是“Cooke one field, one wavelength.zmx”,它基于 OpticStudio 分发的 Cooke 三元组示例文件。顾名思义,此文件基于单个(场,波长)对。 +?ws !LgF  
    5+o 2 T]  
    B!$V\Gs  
    它的波前看起来像这样:
    CD*f4I#d  
    !k4 }v'=  
    (K!M*d+  
    它的光斑大小是这样的: 7g {g}  
    -9hp+0 <  
    5)h+(u C3  
    -Y5YCY!`  
    现在,泽尼克系数是描述光学系统产生的波前误差的紧凑方法。为了产生“黑匣子”模型,我们必须首先生成具有相同一阶特性的近轴光学系统,然后用Zernike数据像差该近轴系统产生的波前。 }(8D!XgWa  
    T2;v<(  
    我们需要的关键近轴数据是出口瞳孔位置和出口瞳孔直径。所有波前数据都是在出射瞳孔中测量的,因此我们的黑匣子系统必须具有相同的瞳孔数据。对于此文件,瞳孔数据如下所示:
    yd\5Z[iEp  
    出口瞳孔直径 = 10.2337 mm f$~ _FX  
    出口瞳孔位置 = -50.9613 mm cg>!<T*  
    FF5tPHB  
    近轴当量 UwvGr h  
    <L[T'ZE+  
    打开文件“Paraxis Equivalent.zmx”。它模拟了相同的系统,只有一个近轴透镜表面: ]Om'naD  
    BT y]!%r'  
    WRN8#b  
    ~xsb5M5  
    请注意以下几点: tg4LE?nv  
    ·它使用与原始设计相同的场和波长。 u&hDjE  
    ·其入射瞳孔直径设置为与原始系统的出射瞳孔直径相同的值。在此文件中,入射瞳孔、停止曲面和出射瞳孔都位于同一位置。  m^W*[ ^p  
    ·近轴透镜的焦距和到图像表面的厚度均设置为等于原始文件的-1*出瞳位置。-1因子是因为EXPP是从图像到瞳孔测量的,但表面厚度是从瞳孔到图像的距离,因此需要改变符号。 R!:eYoQ  
    ·系统具有与原始系统相同的一阶属性。
    Vu_7uSp,)  
    \<0G kp  
    yf0vR%,\  
    该系统的出瞳与原始系统的出瞳大小完全相同,位置相同。为了在近轴透镜输出上添加像差,我们在近轴透镜之后使用Zernike标准相位表面。我们的目标是获取原始透镜的泽尼克系数,并将它们添加到近轴等效透镜的泽尼克表面上。 C}dKbs^g|  
    ~ z-?rW  
    +xoyKP!  
    -N /8Ho  
    /h.:br?M#P  
    在镜头之间复制泽尼克数据 =%:n0S0C"  
    bUY:XmA  
    返回“Cooke One Field One Wavelength.zmx”文件,然后单击“分析…波…泽尼克标准系数”。OpticStudio计算系统的波前,然后拟合一系列Zernike多项式。 ^+.+I cH  
    e _SoM!;  
    %RfY`n  
    波前的采样和Zernike项的数量都可以由用户通过“设置”对话框定义。确定波前是否充分采样或泽尼克项数量的关键参数是RMS拟合误差和最大拟合误差。此设计使用采样和项数的默认参数,可提供
    F``EARG)iu  
    [RGC!}"mr  
    E< io^  
    kx;xO>dC  
    s K""  
    这意味着,当我们从从泽尼克系数重建的波前中减去真实的波前时,误差是百万分之一波的数量级。这已经足够接近了!但是,一般来说,您可能需要调整波前采样和最大 Zernike 项才能达到可接受的拟合。
    E.zYi7YUKK  
    K#m\ qitb  
    我们现在需要将泽尼克系数数据从这个设计转移到近轴等效设计中。这可以通过打印出 Zernike 数据并重新键入来完成,但这很乏味。对于宏来说,这是一个很好的工作。
    n',9#I(!L  
    {Oc?C:aI=  
    以下宏(也包含在文章附件中),称为Zernike Readout.zpl,从此镜头获取Zernike数据,并将其以Tools…在额外数据编辑器上导入数据可以读取。它经历的步骤如下: IL8'{<lM  
    + Tgy,oD0  
    YG}p$\R  
    首先,它定义了它需要的所有变量(L1-19)。 ( FjsN5  
    ! This macro writes out the Zernike standard coefficients Kd AR)EU>  
    ! of a lens file in a format that can be directly imported .>AFf9P  
    ! into the Extra data Parameters of a Zernike Standard Phase surface /Gh x2B  
    ! First define the variables we need EA%#/n  
    ! Enter whatever values are appropriate 6I5[^fv45G  
    ! Use INPUT statements if you prefer JWUv H  
    max_order = 37 # can be up to 231 ur~Tql  
    sampling = 2 #sampling is 1 for 32×32, 2 for 64×64 etc n##w[7B*  
    field = 1 +Zty}fe  
    wavelength = 1 $h|I7`  
    zerntype = 1 # Get standard, not fringe or Annular coefficients H$=h-  
    epsilon = 0 # only used for Annular Zernike coefficients C[J`x>-K  
    reference = 0 # reference to the chief ray O;&yA<  
    vector = 1 # use the built-in VEC1 array to store the data ino7!T`  
    output$ = “zernike.dat” o%N0K   
    path$ = $PATHNAME() # save the data in the same location as the file we are using gOES2 4$2  
    file$ = path$ + “\” + output$ ]6i_d  
    PRINT “Writing data to “, file$ YDZ1@N}^B  
    m\}\RnZu  
    (请注意,采样和最大 Zernike 项应设置为您用于上述 Zernike 分析的值。然后,宏获取出口瞳孔直径和 Zernike 数据 (L21-27):
    I2Or& _  
    ! Then get the Exit Pupil Diameter. Use VEC1 to store the data |~=?vw< W  
    GETSYSTEMDATA 1 Gr"2G,,VI  
    EXPD = VEC1(13) # see the manual for the data structure ^~YmLI4  
    normalization_radius = EXPD/2 tswG"1R  
    ! Then get the Zernike coefficients up to the maximum required order
    -6 7f33  
    GETZERNIKE max_order, wavelength, field, sampling, vector, zerntype, epsilon, reference mXN1b!  
    EkgN6S`}  
    请注意,泽尼克曲面的归一化半径是出口瞳孔直径的一半。然后,宏将数据打印到 .DAT 文件的正确格式,以便 Zernike 标准相表面读取它 (L29-43):
    Rm[rQ }:  
    ,Rr&.  
    ! Then write them out to file in the format needed for the Import Tool
    wzLiVe-  
    OUTPUT file$ ~; O= 7  
    FORMAT 1 INT :+Z>nHe  
    PRINT max_order ;03*qOYc  
    FORMAT 9.8 =%nqMV(y  
    PRINT normalization_radius [u9S+:7"  
    FOR order = 1, max_order, 1 ,uqbS  
    z_term = order + 8 # offset to the correct location in the data structure, see manual! rTH[?mkf4  
    PRINT VEC1(z_term) /="D]K)%b8  
    NEXT order g^<q L|  
    OUTPUT SCREEN 2}xFv2X  
    ! End S#%JSQo:  
    PRINT “Program End” V"Y Fu^L  
    END gp|7{}Q{  
    'mY,>#sT  
    Zernike 数据输入到“Zernike 标准相”曲面的“参数”列中,如下所示:
    C}DG'z9  
    >FMT#x t  
    83 ^,'Z  
    将此宏放入 {Zemax}/宏文件夹中,单击编程…ZPL宏…刷新列表,以便宏显示在菜单列表中,然后运行它。它将在与原始OpticStudio文件相同的文件夹中创建一个名为“zernike.dat”的文件。如果在记事本中打开此文件,您将看到:
    NId~| &\  
    t2-zJJf8  
    t73Z3M  
    5+Zx-oWq_  
    iHG:W wM&  
    此文件包含泽尼克标准相表面所需的所有数据。第一个数字是 Zernike 项的数量,然后是归一化半径,然后是每个 Zernike 项。额外数据编辑器的导入工具可以直接读取此文件。 X-2S*L'  
    9|kEq>d  
    smLD m  
    返回到近轴等效透镜文件。在 Surface 2 属性的“导入”选项卡中浏览并打开 zernike.dat 文件: |yl0}. ()  
    +EB,7<5<  
    |Nx!g fU  
    2O)Kn q  
    51(`wo>LS  
    按“导入”按钮,成功导入数据后将出现Zemax消息框:
    Z=/L6Zb  
    [XU{)l  
    F*jj cUk  
    Jv{"R!e"P  
    ]2s Zu7  
    波前错误现在显示: Qj~W-^/ -  
    0|+hm^'_  
    {pJ@I=q  
    和点图显示 s"Pk-Dv  
    4;~lpty  
    kKk |@  
    02 c.;ka3  
    e !x-:F#4j  
    此文件生成与原始文件相同的光线追踪结果!在随附的zip中,文件“Zernike Equivalent.zmx”显示了完成的系统。此外,文件“Direct Comparison.zmx”将同一文件的原始版本和Zernike版本显示为两种不同的配置。这允许在文件的两个版本之间轻松进行比较。
    Px?At5  
     
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