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此案例演示了设计和优化衍射光学元件的(DOE)作为光扩散器,来生成矩形高帽图样。 K;(t@GL? k|_LF[* Z 1.建模任务 *
n>YS (
ESmP 14rX:z DOE:扩散器 o7s<G8;? 直径:1.4mm X 1.4mm EcmyY,w 相位等级:2 TInp6w+u 像素尺寸:>1um w<=-n;2 x?-kt.M
%KmhR2v 2.照明光束参数 L)/^%/! >WW5;7$
83YQ c [5jXYqD=vj g2&P 波长:632.8nmm V']1j 激光光束直径(1/e2):700um cP (is! l(
0:CM 3.期望输出场参数 PsoW:t nM&UdKf3
Sc3 B*. /c-%+Xd 8AVG pL • 直径:1° 7e`h,e= • 分辨率:≤0.03° S?LUSb • 效率:>70% /s~&$(d59o • 杂散光:<20% Av^<_`L: wDS(zG 4.设计和优化方法 3k?|-js d7Devs
k • VirtualLab Fusion可以使用不同的设计和优化方法。 ^B7C8YP • 对于此案例,迭代傅里叶变换算法(IFTA)用于设计和优化(DOE)期望的衍射光学元件。 >qjV(_?F- e`D? x1- 5.配置方法 :s'hXo *f( e`3E ?>o|H-R~5Z 你可以 kv'gs+,e • 使用辅助会话编辑器,进行光学系统的设置并且配置优化和设计文档。 Cu+u'&U! • 或手动进行一切配置(更高级的方法)。 p*S;4+># : yC|Q) 通过点击Start→Diffractive Optics→Regular Shape Diffuser 看可以打开会话编辑器的开开始页面。如下图所示。 07tSXl5! 0}y-DCuQ
)MJy r:uW(<EP^ 6.设置输入光束参数 ZRo-=/1 maTZNzy
iKN800^u BY^5z<^. 腰束和发散角的定义:1/e2 Waist Diameter,Divergence Full Angle。 GLIP;)h1 $y&1.caMa
-$m?ShDd hz_F^gF 设置波长为632.8nm,腰束直径为700um。 $*i"rlJC 5!)_"u3 7.光学系统 esVZ2_eL d8Kxtg
Y
bkfk9P SR\F2@u 选择光学系统为角谱(Angular Spectrum)。 9K`uGu ngHPOI16
trC+Etc nzK"eNDN. 光学系统周围介质默认为空气。 gELb(Y\ak *X4$'LSx1 8.期望输出场设置 ^U4|TR6mub y3vm+tJc{
~NtAr1 DfQD!}= 维度设置为二维高帽(2D Top Hat),高帽(Top Hat)形状设置为矩形(Rectangular Shape)。 kbkq.fYr b_JW3l 9.参数确认过程中的提示 =wy 3h0k^ 2i3& 3oz]O
';z5]O~ 2dF:;k k WaRYrTDv64 • 指定要创建光图样的期望光学分辨率。 !bi}9w • VirtualLab Fusion给出了一些有用的建议。 axW4cS ? • 考虑到在相干照明下,光图案由散斑组成。为了获得清晰的期望光图案,散斑尺寸应该小于光图案的最小细节。 Q5s?/r • 散斑大小由分辨率影响,但不能任意控制。 YQ+Kl[ec >O{/%(9 10.警告 :>t?^r( }@V,v[&e D< |