切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • Zemax光学设计从入门到精通 《杂散光抑制与评估技术》 Zemax光学设计实践基础(陈家璧) 光学设计与光学元件
    讯技光电:VirtualLab Fusion独家供应商 现代光学设计及应用(Zemax) CODE V,LightTools,RSoft,LucidShape 计算光学带来的成像革命(第2季)
    发帖 回复
    返回列表
    • 830阅读
    • 0回复

    [技术]用于微结构晶片检测的光学系统 [复制链接]

    		 上一主题 下一主题
    离线infotek
    科学家
     
    发帖
    6922
    光币
    28760
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-02-15
    在半导体产业中，晶片检测系统用于检查晶片上的缺陷并找到它们的位置。为保证微结构的图像解析度，检测系统常使用一个高NA的物镜，工作在紫外波长范围。作为一个例子，模拟了一个完整的晶片检测系统，包括高NA聚焦效应和光与微结构的互作用，并演示了图像的形成。 V h k _  
     H.W E6  
    i-'9AYyw  
    建模任务 qpsv i.S  
    TU GNq  
    KrXdnY8  
    结果 svuq gSn  
    Pf_S[ sm  
    UH"#2< |b  
    结果 .-IkL |M  
    c1_5, 1U'  
    $YXMI",tt<  
    结果 r)1'ePI"  
    ;i"*Ll>Q)  
     
    回复
    举报
    分享到
    发帖 回复
    返回列表