切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • Zemax光学设计从入门到精通 《杂散光抑制与评估技术》 Zemax光学设计实践基础(陈家璧) 光学设计与光学元件
    讯技光电:VirtualLab Fusion独家供应商 先进光刻机曝光系统光学设计 CODE V,LightTools,RSoft,LucidShape 计算光学带来的成像革命(第2季)
    发帖 回复
    返回列表
    • 1019阅读
    • 0回复

    [技术]用于微结构晶片检测的光学系统 [复制链接]

    		 上一主题 下一主题
    离线infotek
    科学家
     
    发帖
    7377
    光币
    31026
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-02-15
    在半导体产业中，晶片检测系统用于检查晶片上的缺陷并找到它们的位置。为保证微结构的图像解析度，检测系统常使用一个高NA的物镜，工作在紫外波长范围。作为一个例子，模拟了一个完整的晶片检测系统，包括高NA聚焦效应和光与微结构的互作用，并演示了图像的形成。 _Di";fe?  
     t+2!"Jr  
    ++Z,U  
    建模任务 9q4%s?)j  
    Ki8]+W37  
    9"#,X36  
    结果 &B;M.sz~C4  
    figCeJ!W4  
    `<3/k  
    结果 A-8[8J  
    ]csfK${  
    8 <~E;:  
    结果 tbNIl cAWS  
    d/m.VnW  
     
    回复
    举报
    分享到
    发帖 回复
    返回列表