切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • Zemax光学设计从入门到精通 Zemax光学设计从基础到实践 Zemax光学设计实践基础(陈家璧) ZEMAX光学系统设计实战
    讯技光电:VirtualLab Fusion独家供应商 微小光学与微透镜阵列 CODE V,LightTools,RSoft,LucidShape 计算光学带来的成像革命
    发帖 回复
    返回列表
    • 479阅读
    • 0回复

    [技术]用于微结构晶片检测的光学系统 [复制链接]

    		 上一主题 下一主题
    离线infotek
    科学家
     
    发帖
    5797
    光币
    23137
    光券
    0
    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2023-02-15
    在半导体产业中，晶片检测系统用于检查晶片上的缺陷并找到它们的位置。为保证微结构的图像解析度，检测系统常使用一个高NA的物镜，工作在紫外波长范围。作为一个例子，模拟了一个完整的晶片检测系统，包括高NA聚焦效应和光与微结构的互作用，并演示了图像的形成。 ^SEdA=!  
     K|W^l\Lt  
    x}fn 'iUnm  
    建模任务 %;`>`j5  
    'f?.R&sCA  
    ^[TV;9I*  
    结果 T+"f]v  
    zIQzmvf  
    Al)$An-  
    结果 lD;'tqaC  
    B%<e FFV\  
    ~WVO  
    结果 HN5W@5m: .  
    vnX  
     
    回复
    举报
    分享到
    发帖 回复
    返回列表