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在半导体产业中,晶片检测系统用于检查晶片上的缺陷并找到它们的位置。为保证微结构的图像解析度,检测系统常使用一个高NA的物镜,工作在紫外波长范围。作为一个例子,模拟了一个完整的晶片检测系统,包括高NA聚焦效应和光与微结构的互作用,并演示了图像的形成。 n U0 ,{tz%\,% BWtGeaW/sr 建模任务 hn$l<8=Q_ e}F1ZJz `5J`<BPs 结果 M/!5r Xs,[Z2_iq ';HNQe?vT
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