切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • Zemax光学设计从入门到精通 《杂散光抑制与评估技术》 Zemax光学设计实践基础(陈家璧) 光学设计与光学元件
    讯技光电:VirtualLab Fusion独家供应商 现代光学设计及应用(Zemax) CODE V,LightTools,RSoft,LucidShape 计算光学带来的成像革命(第2季)
    发帖 回复
    返回列表
    • 900阅读
    • 0回复

    [技术]用于微结构晶片检测的光学系统 [复制链接]

    		 上一主题 下一主题
    离线infotek
    科学家
     
    发帖
    7036
    光币
    29325
    光券
    0
    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2023-02-15
    在半导体产业中，晶片检测系统用于检查晶片上的缺陷并找到它们的位置。为保证微结构的图像解析度，检测系统常使用一个高NA的物镜，工作在紫外波长范围。作为一个例子，模拟了一个完整的晶片检测系统，包括高NA聚焦效应和光与微结构的互作用，并演示了图像的形成。 WDkuB  
     K"\MU  
    R{?vQsLk  
    建模任务 GX?*1  
    rk|a5-i  
    f8'MP9Lv  
    结果 v$Uhm</|19  
    O4L#jBa+  
    m!O;>D  
    结果 26L~X[F  
    W%o|0j\1GU  
    q+ pOrGh  
    结果 Bu3T/m  
    gg^1b77hT  
     
    回复
    举报
    分享到
    发帖 回复
    返回列表