切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • Zemax光学设计从入门到精通 《杂散光抑制与评估技术》 Zemax光学设计实践基础(陈家璧) 光学设计与光学元件
    讯技光电:VirtualLab Fusion独家供应商 现代光学设计及应用(Zemax) CODE V,LightTools,RSoft,LucidShape 计算光学带来的成像革命(第2季)
    发帖 回复
    返回列表
    • 969阅读
    • 0回复

    [技术]用于微结构晶片检测的光学系统 [复制链接]

    		 上一主题 下一主题
    在线infotek
    科学家
     
    发帖
    7176
    光币
    30021
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-02-15
    在半导体产业中，晶片检测系统用于检查晶片上的缺陷并找到它们的位置。为保证微结构的图像解析度，检测系统常使用一个高NA的物镜，工作在紫外波长范围。作为一个例子，模拟了一个完整的晶片检测系统，包括高NA聚焦效应和光与微结构的互作用，并演示了图像的形成。 hQNe;R5  
     L4L2O7  
     JMdPwI  
    建模任务 Ma| qHg  
    4~U'TE @  
    e6_ZjrQf  
    结果 ;E ec5w1  
    f3|@|' ;  
    -l}IZY  
    结果 @xc',I  
    MQ)L:R` L  
    w{k)XY40sW  
    结果 ttXjn  
    p\{-t84n  
     
    回复
    举报
    分享到
    发帖 回复
    返回列表