[技术]用于光波导耦合的倾斜光栅的分析 [复制链接]

摘要 `3Gjj&c  
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因为倾斜光栅在特定衍射级中具有高效率，故通常被用于将光耦合到光学光波导中。 如今，它们经常应用于增强和混合现实应用中。 本案将展示如何使用VirtualLab Fusion对文献中的某些倾斜光栅的几何形状，具体参数如倾斜角度，填充因子和调制深度进行分析。 此外，本案例还研究了不同入射角对衍射效率的影响。 ydCVG,"  
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建模任务 K +oFu%  
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衍射效率与相对深度 qV%t[>  
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在VirtualLab Fusion中通过傅里叶模态法（FMM）（也称为RCWA）进行仿真。 ps#+i  
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参考文献：J. Michael Miller, Nicole de Beaucoudrey, Pierre Chavel, Jari Turunen, and Edmond GbC-6.~  
    Cambril, "Design and fabrication of binary slanted surface-relief gratings for a planar optical interconnection," Appl. Opt. 36, 5717-5727 (1997) L~yu  
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衍射效率与倾斜角度 SCClD6k=V  
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在VirtualLab Fusion中通过傅里叶模态法（FMM）（也称为RCWA）进行仿真。 EK^B=)q6:W  
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参考文献：J. Michael Miller, Nicole de Beaucoudrey, Pierre Chavel, Jari Turunen, and Edmond Cambril, "Design and fabrication of binary slanted surface-relief gratings for a planar optical interconnection," Appl. Opt. 36, 5717-5727 (1997) <MhjvHg  
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衍射效率与填充因子 #"^F:: b-  
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在VirtualLab Fusion中通过傅里叶模态法（FMM）（也称为RCWA）进行仿真。 5:mS~  
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参考文献：J. Michael Miller, Nicole de Beaucoudrey, Pierre Chavel, Jari Turunen, and Edmond (R_#lRaQ  
    Cambril, "Design and fabrication of binaryslanted surface-relief gratings for a planar optical interconnection," Appl. Opt. 36, 5717-5727 (1997). 2\flTO2Ny  
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衍射效率与变化的入射角 Yx21~:9}  
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光栅衍射效率通常受入射角影响较大。 cTO\
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走进VirtualLab Fusion `C~RA,M  
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VirtualLab Fusion中的工作流程 HS{a^c%  
•光波导耦合光栅结构的配置 Vy;f4;I{  
- 倾斜光栅的高级配置 2IgTB|2  
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     - 使用特殊介质配置光栅结构 5T?esF<  
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     - 使用接口配置光栅结构 I g/SaEF  
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•分析耦合光栅衍射效率 T:ye2yg  
- 用于光导耦合光栅评估的自定义探测器 W=v4dy]B  
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•通过扫描特定参数来检查效率 q=bW!.#?  
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VirtualLab Fusion 技术 )3_I-Ia