摘要 '-nuH;r @w#gRQCl S5*~r@8h 因为倾斜
光栅在特定
衍射级中具有高效率，故通常被用于将光耦合到
光学光波导中。 如今，它们经常应用于增强和混合现实应用中。 本案将展示如何使用
VirtualLab Fusion对文献中的某些倾斜光栅的几何形状，具体
参数如倾斜
角度，填充因子和调制深度进行分析。 此外，本案例还研究了不同入射角对衍射效率的影响。
]AFM Y<mB p5twL 建模任务 ;EE&~&*w H3/Y 衍射效率与相对深度 K-"HcHuF 
2-c U -i4 在VirtualLab Fusion中通过傅里叶模态法（FMM）（也称为RCWA）进行
仿真。
>'2w\Uk~: j &0fC!k YaY;o^11/ = h<? /Krs 参考文献：J. Michael Miller, Nicole de Beaucoudrey, Pierre Chavel, Jari Turunen, and Edmond
zP{<0o Cambril, "Design and fabrication of binary slanted surface-relief gratings for a planar optical interconnection," Appl. Opt. 36, 5717-5727 (1997)
Fl#VK U3h ! 5E%W[ 衍射效率与倾斜角度 {P<BJ52= 
f)AW ! / 在VirtualLab Fusion中通过傅里叶模态法（FMM）（也称为RCWA）进行仿真。
z`xz~9a< cvs"WX 3 参考文献：J. Michael Miller, Nicole de Beaucoudrey, Pierre Chavel, Jari Turunen, and Edmond Cambril, "Design and fabrication of binary slanted surface-relief gratings for a planar optical interconnection," Appl. Opt. 36, 5717-5727 (1997)
v'bd.eqw "zeJ4f 衍射效率与填充因子 }VGI Y>v &, Zz 在VirtualLab Fusion中通过傅里叶模态法（FMM）（也称为RCWA）进行仿真。
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~*cY& 9 参考文献：J. Michael Miller, Nicole de Beaucoudrey, Pierre Chavel, Jari Turunen, and Edmond
M c$v~|i6 Cambril, "Design and fabrication of binaryslanted surface-relief gratings for a planar optical interconnection," Appl. Opt. 36, 5717-5727 (1997).
cO=UswIkwO f@;>M9)< 衍射效率与变化的入射角 ~Q$c!=
3 R:7bex 光栅衍射效率通常受入射角影响较大。
Xb +if .X<"pd*@e 走进VirtualLab Fusion 6(<~1{
X% wsb=[$C VirtualLab Fusion中的工作流程 Lm*LJ_+ B •光波导耦合光栅
结构的配置
>;' 1k' - 倾斜光栅的高级配置
xeP;"J} N5w]2xz! uZ2v;]\Y6 - 使用特殊介质配置光栅结构
&;@b&p+ R0YC:rAt Z_OqXo= - 使用接口配置光栅结构
e/HX,sf_g /P8eI3R [[66[;
•分析耦合光栅衍射效率
[@. jL0> - 用于光导耦合光栅评估的自定义
探测器 R SWB!- ?D
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"p •通过扫描特定参数来检查效率
$OFFH[_z sei!9+bZr VirtualLab Fusion 技术 W}e[.iX;
