[技术]用于光波导耦合的倾斜光栅的分析 [复制链接]

摘要 T@k&YJ  
Tk+\Biq   
4W^0K|fq  
因为倾斜光栅在特定衍射级中具有高效率，故通常被用于将光耦合到光学光波导中。 如今，它们经常应用于增强和混合现实应用中。 本案将展示如何使用VirtualLab Fusion对文献中的某些倾斜光栅的几何形状，具体参数如倾斜角度，填充因子和调制深度进行分析。 此外，本案例还研究了不同入射角对衍射效率的影响。 (&X"~:nm2  
\Lh,dZ}d  
建模任务 >-oa`im+  
|nocz]yU$  
衍射效率与相对深度 ^S, "iV  
     +F 5Dc  
在VirtualLab Fusion中通过傅里叶模态法（FMM）（也称为RCWA）进行仿真。 V ;>{-p  
{J|P2a[  
     Sqfa,3?L  
Wx:_F;  
参考文献：J. Michael Miller, Nicole de Beaucoudrey, Pierre Chavel, Jari Turunen, and Edmond )w/f 'fq  
    Cambril, "Design and fabrication of binary slanted surface-relief gratings for a planar optical interconnection," Appl. Opt. 36, 5717-5727 (1997) yhUc]6`V.H  
     }eB\k,7L  
衍射效率与倾斜角度 p>R F4  
   i 0L7`TB  
在VirtualLab Fusion中通过傅里叶模态法（FMM）（也称为RCWA）进行仿真。 8f29Hj+  
)\^%w9h  
参考文献：J. Michael Miller, Nicole de Beaucoudrey, Pierre Chavel, Jari Turunen, and Edmond Cambril, "Design and fabrication of binary slanted surface-relief gratings for a planar optical interconnection," Appl. Opt. 36, 5717-5727 (1997) E
8IWHh_  
     =XoNk1  
衍射效率与填充因子 {)F-US  
   q9Fc0(&Vf  
在VirtualLab Fusion中通过傅里叶模态法（FMM）（也称为RCWA）进行仿真。 @W^g(I(w  
FeCQGT  
参考文献：J. Michael Miller, Nicole de Beaucoudrey, Pierre Chavel, Jari Turunen, and Edmond 3ON]c13  
    Cambril, "Design and fabrication of binaryslanted surface-relief gratings for a planar optical interconnection," Appl. Opt. 36, 5717-5727 (1997). $ar:5kif  
     sW=@G'}3  
衍射效率与变化的入射角 R HF;AX n  
#|$7. e  
光栅衍射效率通常受入射角影响较大。 0<i~XN0g  
iY(hGlV  
走进VirtualLab Fusion Y*"%;e$tg  
     +mxsjcq0  
VirtualLab Fusion中的工作流程 -=g`7^qa>  
•光波导耦合光栅结构的配置 Jl5<9x  
- 倾斜光栅的高级配置 rJNf&x%6  
c#G(7.0MU  
l~f +h?cF  
     - 使用特殊介质配置光栅结构 vTB*J,6.  
9|#h )*  
EBebyQcon  
     - 使用接口配置光栅结构 S - 7JDE>  
#XmN&83_  
8YYY *>  
•分析耦合光栅衍射效率 6^ KDc  
- 用于光导耦合光栅评估的自定义探测器 V7^?jy&&  
^5GS!u"  
%:oGyV7a  
•通过扫描特定参数来检查效率 NT8%{>F`  
)6AOP-M.9  
VirtualLab Fusion 技术 o-x_[I|@