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Essential Macleod中文手册》 ZcN0:xU e~]P _53 目 录 T}&A-V$ 74Jx \(d ESSENTIAL MACLEOD光学薄膜设计与分析 16iTE-J_ 第1章 介绍 ..........................................................1 kL'4m 第2章 软件安装 ..................................................... 3 $*C
}iJsF 第3章 软件快速浏览 ....................................................... 6 Kxsd@^E 第4章 软件中的约定 ......................................................... 17 x{1 v(n8+= 第5章 软件结构 ............................................................... 21 LT%~Cuf 第6章 应用窗口 ................................................................. 44 Y&6jFT_ 第7章 设计窗口 .................................................................. 62 QVT0.GzR 第8章 图形窗口 .................................................................. 100 '12m4quO 第9章 3D图形窗口 .................................................................. 106 q8{Bx03m6 第10章 激活的图形窗口 .................................................... 111 xV>
.] 第11章 表格窗口 ................................................................. 116 #{6VdWZ 第12章 优化和综合 ..................................................................120 O*u
第13章 材料管理 ........................................................................ 149 Et 0gPX- 第14章 多层膜 ........................................................................... 167 S5).\1m h[ 第15章 分析和设计工具 ........................................................180 8{>|%M 第16章 逆向工程 ................................................................ 200 G4|C227EO 第17章 报告生成器 ............................................................. 208 (HAdr5 第18章 堆栈 ......................................................................... 213 -'&l!23a~ 第19章 功能扩展 .................................................................. 229 {!I`EN] 第20章 运行表单 .................................................................... 251 x1@,k=qrd 第21章 模拟器 ...................................................................... 271 .x=abA$!9 第22章 DWDM助手 ............................................................. 284 f7&ni#^Ztj 第23章 MONITORLINK for EDDY LMC-10 .................................... 289 4@{;z4*` 第24章 MONITORLINK for INFICON XTC .......................................... 297 MT{1/A;`) 第25章 MONITORLINK for LEYCOM IV with OMS3000 ..............301 ]3v)3Wp 第26章 MONITORLINK for Sycon STC .................................................307 Hk}P 第27章 MONITORLINK for SC Technology 820 ..................................... 311 Ftyxz&-4$p 第28章 MONITORLINK for APPLIED VISION PLASMACOAT ............... 312 <aPZE6z D1RQkAZS 第29章 软件授权(License)系统 ............................................................... 316 L'wR$ %w&+o.k/ 价 格:400元 4rhHvp 4-bM90&1t 镀膜工具书原价400元,限时特惠368元 l"J#Pvi 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(第二版 精装) k)+{Y v* 8(? &=>@ 内容简介 )v(rEY Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 (cVIjo+:: 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 )a^&7 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 /
B!j`UK Ox)<"8M 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 DcxT6[ 目录 O]IAIM Preface 1 (\qf>l+* 内容简介 2 m+M^we*R 目录 i U R^r> 1 引言 1 .nY}_& 2 光学薄膜基础 2 &DW !$b 2.1 一般规则 2 ?<J~SF Tt 2.2 正交入射规则 3 56Lxr{+X 2.3 斜入射规则 6 PVi;h%>Y 2.4 精确计算 7 Ifp8oL? S; 2.5 相干性 8 2H;#L`Z* 2.6 参考文献 10 _E9[4%f 3 Essential Macleod的快速预览 10 VK/L}^=GOO 4 Essential Macleod的特点 32 ^4IJL", 4.1 容量和局限性 33 hrX/,D -c 4.2 程序在哪里? 33 b\\lEM>o1 4.3 数据文件 35 0s8fF"$ 4.4 设计规则 35 N(i.E5&9 4.5 材料数据库和资料库 37 ce$[H}rDB 4.5.1材料损失 38 q>+!Ete1p 4.5.1材料数据库和导入材料 39 y:E$n! 4.5.2 材料库 41 gR/?MJ(v 4.5.3导出材料数据 43 yFm88 4.6 常用单位 43 k/F#-},Q. 4.7 插值和外推法 46 9<&*iIrM 4.8 材料数据的平滑 50 [VX5r1-F 4.9 更多光学常数模型 54 otaRA 4.10 文档的一般编辑规则 55 MHp:".1 4.11 撤销和重做 56 a,fcKe&B 4.12 设计文档 57 J<0sT=/2$ 4.10.1 公式 58 +L=Xc^ 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 $J4)z&%dr 4.10.3 沉积密度 59 ;Mmu} 4.10.4 平行和楔形介质 60 gDJ} <^ 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 y ~-v0/ 4.10.4 性能 61 E#d~.#uH 4.10.5 保存设计和性能 64 `#ff`j|a 4.10.6 默认设计 64 |"}7)[BW} 4.11 图表 64 M4|ION 4.11.1 合并曲线图 67
D\;5{,:d 4.11.2 自适应绘制 68 { Mf-?_% 4.11.3 动态绘图 68 ,n%b~.$:v5 4.11.4 3D绘图 69 Pc?"H!Hkn 4.12 导入和导出 73 'JgCl'k, 4.12.1 剪贴板 73 'PrBa[% 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 hKg +A 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 cD9U^SOS 4.13 背景 77 e2fv% 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 "([gN: 4.15 生成Rugate 84 d %FLk=] 4.16 参考文献 91 3zmbx~| =\ 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 rosD)]I7 5.1 Jobs 92 %*K zP{ 5.2 创建一个新Job(工作) 93 J(8?6&=ck 5.3 输入材料 94 EXbZ9 o* 5.4 设计数据文件夹 95 #""T>+ 5.5 默认设计 95 b{&'r~ 6 细化和合成 97 )zy;! 6.1 优化介绍 97 Xhyn! &H5 6.2 细化 (Refinement) 98 #%%!r$UL 6.3 合成 (Synthesis) 100 Jza?DhSAZ 6.4 目标和评价函数 101 Z{t `f[ 6.4.1 目标输入 102 TC2%n\GH* 6.4.2 目标 103 @ G!Ir"Q 6.4.3 特殊的评价函数 104 W!"QtEJ, 6.5 层锁定和连接 104 <5Ll<0 6.6 细化技术 104 I5QtPqB> 6.6.1 单纯形 105 2z$!} 6.6.1.1 单纯形参数 106 X.
Ur`X 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 @@-TW`G7 6.6.2.1 Optimac参数 108 @*|UyK. 6.6.3 模拟退火算法 109 .nNZdta&= 6.6.3.1 模拟退火参数 109 IMM+g]#e 6.6.4 共轭梯度 111 ,cS_687o 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 Xf"<
>M 6.6.5 拟牛顿法 112 j( k%w 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 /kw;q{>?o 6.6.6 针合成 113 p(="73 6.6.6.1 针合成参数 114 Yv)c\hm(7j 6.6.7 差分进化 114 uzmYkBv 6.6.8非局部细化 115 f.%3G+ 6.6.8.1非局部细化参数 115 Zl'/Mxg 6.7 我应该使用哪种技术? 116 T.')XKP)1N 6.7.1 细化 116 ai?N!RX%H 6.7.2 合成 117 SHB'g){P 6.8 参考文献 117 hbr3.<o1lY 7 导纳图及其他工具 118 V
)UtU
L 7.1 简介 118 IG\Cj7{K^ 7.2 薄膜作为导纳的变换 118
@PLJ)RL 7.2.1 四分之一波长规则 119 {98e_z w 7.2.2 导纳图 120 Q {~$7J 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 dIh+h|: 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 ^~vM*.j~j 7.5 斜入射导纳图 141 lIx./Nf 7.6 对称周期 141 L<iRqayn 7.7 参考文献 142 XHdhSFpm 8 典型的镀膜实例 143 IC8%E3 8.1 单层抗反射薄膜 145 ~:0w% 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 zkqn>
8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 z%T|L[(6 8.4 W-膜层 148 $`%Om WW{ 8.5 V-膜层 149 3OKs?i3A 8.6 V-膜层高折射基底 150 zG/? wP" 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 _emW#*V 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 .m\0<8C 8.9 四层抗反射薄膜 153 KZ#\ > 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 <HN{.p{ 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 m__pQu: 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 .,#H]?Wil 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 X's<+hK& 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 eV(9I v[ 8.15十五层宽带抗反射膜 159 KUm?gFh 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 goF87^M 8.17 1/4波长堆栈 162 34N~<-9AY 8.18 陷波滤波器 163 E]m?R 4 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 1iLU{m9 8.20 褶皱 165 f{[0;qDJ 8.21 消偏振分光器1 169 `]@=Hx( 8.22 消偏振分光器2 171 (C).Vj~ 8.23 消偏振立体分光器 172 z5~W
>r 8.24 消偏振截止滤光片 173 Suo$wZ7J 8.25 立体偏振分束器1 174 nP*% N|0 8.26 立方偏振分束器2 177 cL03V? }
~ 8.27 相位延迟器 178 k 9z9{ 8.28 红外截止器 179 1(:!6PY 8.29 21层长波带通滤波器 180 -TG ="U 8.30 49层长波带通滤波器 181 {i8zM6eC 8.31 55层短波带通滤波器 182 gJrWewEe 8.32 47 红外截止器 183 @@{5]Y 8.33 宽带通滤波器 184 J>nBTY,_< 8.34 诱导透射滤波器 186 ,5ZQPICF 8.35 诱导透射滤波器2 188 q-_!&kDK" 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 NV9JMB{q 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 6'@ {
*
u 8.35 增益平坦滤波器 193 t8xXGWk0 8.38 啁啾反射镜 1 196 NT5'U 8.39 啁啾反射镜2 198 02*qf:kTnA 8.40 啁啾反射镜3 199 ~gMt
U 8.41 带保护层的铝膜层 200 gOW8!\V 8.42 增加铝反射率膜 201 vW vu&3tx 8.43 参考文献 202 S7PWP<9 9 多层膜 204 66" 6> 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 $8HiX6r 9.2 内部透过率 204 Yb/*2iWX 9.3 内部透射率数据 205 nQ_{IO8/6W 9.4 实例 206 P#XV_2 9.5 实例2 210 -rm[. 9.6 圆锥和带宽计算 212 T:m"
eD; 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 kC
6*An_f 10 光学薄膜的颜色 216 324XoMO 10.1 导言 216 h !R=t 10.2 色彩 216 7X/t2Vih@ 10.3 主波长和纯度 220 pe+h8 10.4 色相和纯度 221 7dACbqba 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 fPPP| 10.6 色差 226 0*rD'?)K+ 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 +s"6[\H1d 10.8 颜色渲染指数 234 `V\?YS} 10.9 色差计算 235 <EN9s 10.10 参考文献 236 :Ez,GA k 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 p`c_5!H 11.1 短脉冲 238 |llJ%JhF 11.2 群速度 239 h3k>WNT7 11.3 群速度色散 241 KAFR.h:p9 11.4 啁啾(chirped) 245 1nskf*Z 11.5 光学薄膜—相变 245 1d]F$> 11.6 群延迟和延迟色散 246 !@8i(!xb 11.7 色度色散 246 :Z6j5V;s 11.8 色散补偿 249 VLkAsM5}% 11.9 空间光线偏移 256 zN|k*}j1J 11.10 参考文献 258 1H/I- 12 公差与误差 260 l$/lbwi% 12.1 蒙特卡罗模型 260 kv3Dn&<rJ 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 _J W|3q 12.2.1 误差工具 267 I_u/ 12.2.2 灵敏度工具 271 Y6sX|~Zy 12.2.2.1 独立灵敏度 271 #m{*]mY@ 12.2.2.2 灵敏度分布 275 HRDpFMA/~ 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 y3s+.5; 12.3 参考文献 276 '"\M`G 13 Runsheet 与Simulator 277 M]/aW 13.1 原理介绍 277 |9c~kTjK 13.2 截止滤光片设计 277 /]xa}{^B 14 光学常数提取 289 cpltTJFg 14.1 介绍 289 `!HD.
E[2c 14.2 电介质薄膜 289 NEri{qxm 14.3 n 和k 的提取工具 295 Wa<<"x$ 14.4 基底的参数提取 302 f;zNNx<
; 14.5 金属的参数提取 306 "}fweCBgo 14.6 不正确的模型 306 tZ9i/ =S 14.7 参考文献 311 "/i$_vl 15 反演工程 313 UGhEaKH~R 15.1 随机性和系统性 313 gtA34iw 15.2 常见的系统性问题 314 1" cv5U 15.3 单层膜 314 uD&B{c+a 15.4 多层膜 314 s51$x M 15.5 含义 319 k*hl"oL"X 15.6 反演工程实例 319 #lP8/-s^ 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 LJ(WU)CPc 15.6.2 反演工程提取折射率 327 2(xC| 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 2Kz+COP+ 16.1 光学性质的热致偏移 329 : OY~Q3
@ 16.2 应力工具 335 +&`W\?.~ 16.3 均匀性误差 339 L9D`hefz 16.3.1 圆锥工具 339 k k3^m1 16.3.2 波前问题 341 sV 16.4 参考文献 343 MCT1ZZpPr 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 M`Er&nQs 17.1 引言 345 7mi!yTr} 17.2 操作数 345 mUh]`/MK$ 18 如何在Function中编写脚本 351 #]@HsVXh7 18.1 简介 351 d qn5G!fI 18.2 什么是脚本? 351
KeQcL4< 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 \j>7x 18.4 基础 352 e{P v:jl 18.4.1 Classes(类别) 352 WD[eoi 18.4.2 对象 352 aKbmj 18.4.3 信息(Messages) 352 C8}:z\A_@Z 18.4.4 属性 352 v~P,OP("c 18.4.5 方法 353 Z .6dL 18.4.6 变量声明 353 "#j}F u_! 18.5 创建对象 354 $RPW/Lyiq 18.5.1 创建对象函数 355 F1t( P 8 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 ^"/^)Lb!@M 18.5.3 丢弃对象 356 >M,oyM"s 18.5.4 总结 356 &r5q,l&@n 18.6 脚本中的表格 357 2d !'9mA 18.6.1 方法1 357 h4?x_"V" 18.6.2 方法2 357 #@S%?`4, 18.7 2D Plots in Scripts 358 86r5!@WN 18.8 3D Plots in Scripts 359 !Lf<hS^ 18.9 注释 360 x%G3L\5 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 B[t^u\Fk 18.11 一个更高级的脚本 362 N4!`iS Y 18.12 <esc>键 364 .V?:&_}_I6 18.13 包含文件 365 ):D"LC 18.14 脚本被优化调用 366 =Ph8&l7~sp 18.15 脚本中的对话框 368 |"3<\$[ 18.15.1 介绍 368 E
$@W~).! 18.15.2 消息框-MsgBox 368 +2~kHrv 18.15.3 输入框函数 370 du3f'=q6| 18.15.4 自定义对话框 371 :]^e-p!z 18.15.5 对话框编辑器 371 !_<6}:ZB 18.15.6 控制对话框 377 IHl q27O 18.15.7 更高级的对话框 380 c3A\~tHW 18.16 Types语句 384 &],uD3:5O 18.17 打开文件 385 "s*-dZO 18.18 Bags 387 vT'Bs;QR 18.13 进一步研究 388 yB*,)x0
@ 19 vStack 389 )+E[M!34 19.1 vStack基本原理 389 BM%wZ:
s 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 WNjwv/ 19.3 五棱镜 393
157_0 19.4 光束距离 396 H",B[
YK 19.5 误差 399 n_8[bkbi 19.6 二向分色棱镜 399 /0h
*(nL 19.7 偏振泄漏 404 kNEEu!G 19.8 波前误差—相位 405 b'H'QY
19.9 其它计算参数 405 -Mt
5< s 20 报表生成器 406 RgE`H r 20.1 入门 406 24mdhT| 20.2 指令(Instructions) 406 ?9b9{c'an 20.3 页面布局指令 406 ^URCnJ67Se 20.4 常见的参数图和三维图 407 %`vzQt`> 20.5 表格中的常见参数 408 'Ts:. 20.6 迭代指令 408 BT$p~XB 20.7 报表模版 408 W?
iA P 20.8 开始设计一个报表模版 409 .J"N} 21 一个新的project 413 {|+Y;V` 21.1 创建一个新Job 414 IUcL* 21.2 默认设计 415 5jdZC(q5a 21.3 薄膜设计 416 JE?p'77C 21.4 误差的灵敏度计算 420 h6
\P&Z 21.5 显色指数计算 422 ;t`
?| 21.6 电场分布 424 N+-Tp&:wY 后记 426 bf3!|Um 原价598元,限时特惠550.16元,有兴趣扫码加微联系 Q M,!-~t G1"iu89d
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