r0$9c 斐索
干涉仪是工业中常见的
光学计量
设备,它们通常用于光学表面质量的高
精度测试。 借助
VirtualLab Fusion中的非顺序追迹,我们构建了一个菲索
干涉仪,并利用它测试了不同的光学表面,例如圆柱形和球形。 可以看出,产生的干涉条纹对表面轮廓具有敏感性。
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{^19.F fvBC9^3 倾斜平面下的观测条纹 [,A' q2U"k
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Ehgn?6' jeuNTDjeL 圆柱面下的观测条纹 N4]6LA6x6 H><mcah
PQ#-.K Hr,lA( 球面下的观测条纹 E#V-F-@2 ^l2d?v8
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