0KU,M+_ 斐索
干涉仪是工业中常见的
光学计量
设备,它们通常用于光学表面质量的高
精度测试。 借助
VirtualLab Fusion中的非顺序追迹,我们构建了一个菲索
干涉仪,并利用它测试了不同的光学表面,例如圆柱形和球形。 可以看出,产生的干涉条纹对表面轮廓具有敏感性。
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M[@).4h *5.s@L( VU 倾斜平面下的观测条纹 9bq#&~+ N-4LdC
2*F["E <eI7xifD 圆柱面下的观测条纹 nW!rM($q )9{?C4NQ
<Y9((QSM4 f[!N]* 球面下的观测条纹 %}x/fq wQlK[F]!>
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